激光全息干涉测量技术.doc
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1、激光全息干涉测量技术1 激光全息干涉测量技术发展史 全息技术是英国科学家丹尼斯 盖伯(Dennis Gabor)在1948年首先提出的。但是直到1960年初,激光器的出现才为这种方法提供了适用的、具有足够相干性同时又具有高度单色性的照明光源。1962年利思(Leith)和厄帕特尼克斯(Upatnieks)提出离轴全息图,全息术的研究进入了一个极为活跃的阶段,相继出现了多种全息方法,开辟了全息应用的新领域,成为光学的一个重要分支。光学全息术的发展到现在经历了三个阶段。第一阶段是盖伯用水银灯记录同轴全息图,这是全息术的萌芽时期。其主要问题是再现原始像和共轭像不能分离,以及没有理想的相干光源。第二阶
2、段是利用厄帕特尼克斯提出离轴全息图,把原始像和共轭像分离,同时激光器的出现为全息术提供了理想的光源。这一阶段全息术在理论上建立了基础,在可能的应用方面作了大量的实验,取得了丰硕的成果,在全息记录材料方面也得到了相应的发展。第三阶段是激光记录白光再现全息术,主要有反射全息图、像全息图、彩虹全息图及合成全息图,使全息术在显示方面展示其优越性。反射全息图,特别是真彩色全息全息图一成为已成为一种高贵的艺术品,在科学技术上亦有较重要的应用价值。浮雕彩虹全息图的研制成功,发展了全息图模压大批量复制技术,现已形成全息印刷产业。经过近十几年的发展,全息术被应用于许多领域:如全息干涉计量、全息三维显示、全息显微
3、术、光学信息编码存储、光学信息处理等等。目前随着实时记录材料和性能优良的光聚合材料的发展以及全息术和光电技术,计算机技术相结合,全息术在科学技术上的应用也扩展到实时全息干涉自动测量、光学图像实时处理、光计算等新的应用领域。一些有特殊功能的全息光学元件如光学互连元件、二元光学元件、多功能全息成像元件空间光调制器、空间滤波器等全息方法来制作有其优越性。特别是计算机全息图的实现,补充了照相记录全息图的不足。2 激光全息干涉测量原理全息技术分两步成像,即全息图的纪录和物光波的再现。2.1 全息图的纪录用相干光照射物体,物体散射出来的光投射到全息干板上,同时用同一光源发出的另一部分相干光波作为参考光也投
4、射到全息干板上,于是两束光在全息干板上形成干涉。在感光乳胶的作用下,干涉条纹被记录下来。这样曝光后的干板再经过适当的显影,定影处理就成为全息底片。这个过程就是记录过程。设参考光束以一定入射角照射干板,其电矢量为 设物体光束的电矢量为 参考光波是一个强度均匀的平面波,它以入射角i照射到记录介质上,介质上各点的强度分布是相同的。而相位分布则随y值而变化。如果以入射到o点的光波的相位为参考,那么入射到记录介质上任一点P(x,y)的光线的相位将比入射到o点的光线相位延迟, 则在任一点P(x,y)的参考光波为 对物体光波由于入射到记录介质上各点的振幅和相位均为x,y的函数,所以在点P(x,y)物体光波为
5、 于是参考光波和物体光波在P点的合成分布为 记录介质记录的是光强信息,即 参考光是固定不动的,所以全息底片上的干涉条纹主要由物体光束调制,即干涉条纹的亮度和形状主要由物体光波决定。因此物体光波的振幅和相位就以光强的形式记录在全息底片上。全息底片经过显影和定影处理之后,就成为一张全息图。2.2 物体光波的再现全息底片经处理后有一定的振幅透过率t(x,y),振幅透过率t(x,y)和曝光量E在一定范围内是线性关系。当记录介质的曝光使用这线性部分时,所得到的透过率就和曝光光强成线性关系。 t(x,y)=mI(x,y) 用和参考光波一样的光波作为照射光波来照射处理后的全息图,得到的透射光波为 如果参考光
6、波是充分均匀的,即为常数,则就表示一个与物体光波相同的透射光波,这个光波具有原来物体光波的一切性质。如果我们迎着这个光波观察就会看到一个和原来一模一样的物体,这个透射光波就好像是原物体发出的。所以我们称这个透射波是原始物体波前的再现。 由于再现时实际物体并不存在,该像只是由衍射光线的反向延长线构成的,所以我们称这个像为原始物体的虚像。2.3 全息干涉条纹的调制度物体光波和参考光波在记录介质上相干叠加后所得到的强度分布特点方程为:由上式看出,光强分布是在一个均匀项上加一个余弦调制,即全息图上的光强调制是按正弦变化的,这种正弦变化的纪录就得到干涉条纹,如下图所示: 光强分布曲线图再现时起到正弦光栅
7、的作用。物体光波振幅对参考光波调幅,物光波位相对参考光波调相。振幅调制度为:;当Ar=Ao时,有最大调制度为1。如果干涉条纹的强度分布是单纯的正弦型分布,则这个调制度有时也成为条纹的对比度。2.4 全息干涉测量中的光源和底片光源:在全息干涉测量中,由同一光源发出两部分相同的相干光波;其中一部分用来照射物体,然后由物体散射出来即为物波,投射到全息干板上,另一部分相干光波作为参考光也照射到全息干板上,于是在干板上形成物波与参考光波的干涉。全息底片:曝光后的干板经过适当的显影、定影处理就成为全息底片。全息图的底片就是用来记录全息图的地方。大多数全息图记录在由悬浮在明胶层的细微银卤化物晶体粒构成的高分
8、辨率照相乳剂上。这些乳剂大多数涂敷在玻璃板上,也有一些用粗酸纤维基的底片。3 激光全息干涉测量技术3.1 全息干涉测量技术全息干涉测量技术是全息技术应用于实际的最早也是最主要的技术之一,1965年首先由 PPowell及 KStetsen提出。它把普通的干涉测量同全息技术结合起来,有如下特点。(1)一般干涉测量只可用来测量形状比较简单的高度抛光表面的工件,而全息干涉测量能够对具有任意形状和粗糙表面的三维表面进行测量,精度可达光波波长数量级。(2)由于全息图再现的像具有三维性质,故用全息技术就可以通过干涉测量方法从许多不同视角去观察一个形状复杂的物体,一个干涉测量全息图就相当于用一般干涉测量进行
9、的多次观察。(3)全息干涉测量可以对一个物体在两个不同时刻的状态进行对比,因而可以探测物体在一段时间内发生的任何改变。这样,将此一时刻物体与较早时刻的物体本身加以比较,在许多领域的应用中将有很大优点,特别是适用于任意形状和粗糙表面的测量。(4)全息干涉测量的不足之处是其测量范围小,仅几十微米左右。3.2 常用的全息干涉测量方法。1实时法实时法是物体曝光一次的全息图,经显影和定影处理后在原来摄影装置中精确复位,再现全息图时,再现像就重迭在原来物体上,若物体稍有位移或变形,就看到干涉条纹。由于这种干涉测量方法是即刻发生的,因而称为实时全息干涉计量法,简称实时法。实时法通过观察干涉条纹的变化情况来研
10、究物体的变形趋势和状况,探测和检查物体内部的缺陷。其原理如图实时法原理图实时法只用一张全息图,能够随时改变物体的变形条件(如应力、温度),实时地观察不同条件下物体的变形情况。但在实际应用中要求全息图必须严格复位,如果复位精度不高,将直接影响测量精度;乳胶收缩会产生少许附加条纹,也会影响精度。但实时法使用方便,节省测量时间,特别适用于测试透明物体中的一些现象。2二次曝光法二次曝光法全息图的制作和实时法全息图的制作在第一步是完全类似的,只是在第二步二次曝光法拍摄了第一次未变形物体的全息图后,全息底片并不立刻进行处理,而是在原来的位置不动,让加载系统对物体加载使物体变形,当物体变形到所要观察的状态时
11、,再在同一张全息干板上对变形后的物体进行第二次曝光记录,然后将干板进行处理。这样全息干板上就记录了物体在两个状态时的全息图。当用和记录时参考光束入射方向相同的照明光波照明二次曝光全息图后,再现的原物体光波和变形后的物体光波发生干涉,在再现像上会看到由变形或位移引起的干涉条纹。二次曝光法的原理如图所示。2 (a)为全息图记录过程,物体在两种状态下的位置分别为Oo1和Oo2,波阵面分别为Uo1和Uo2,在同一张底片H上进行二次曝光,获得一张二次曝光的全息图。(b)为再现过程,再现像Oo1和Oo2之间存在相位关系,在Oo1和Oo2重合处出现干涉条纹,干涉条纹便记录下了物体在两个状态下的位移或变形量。
12、由于二次曝光法的干涉条纹是两个再现光波之间的干涉,故不必考虑物体与全息图的位置精度,而且获得的是物体两个状态变化的永久记录。二次曝光法用于研究许多材料的性能参数,如检查材料内部缺陷,在两个不同时刻材料或物体的变形量等。若采用脉冲激光,二次曝光法就可以应用于瞬态现象的研究,如冲击波、高速流体、燃烧过程等,可以计量到1/10波长的微小变化。图2 二次曝光法的原理(a)全息记录过程(b)再现过程另外,二次曝光中干涉条纹往往是由两个因素引起的,一个因素是两次曝光中间物体状态的变化,另一个因素是两次曝光时光波频率的变化。后一种因素往往使问题复杂化,有时频率的变化甚至使干涉条纹消失,所以为保证测量的准确性
13、,要严格控制激光器输出光波频率的稳定性。3时间平均法多次曝光全息干涉测量技术的概念可以推广到连续曝光这一极限情况,结果得到所谓“时间平均全息干涉测量技术”。这种方法常用来研究特殊振动的物体,对周期振动物体作一次曝光。当记录的曝光时间远大于物体振动周期时,全息图上记录的是振动物体各个状态在这段时间中的平均干涉条纹。当这些光波又重新再现出来时,它们在空间必然要相干迭加,由于物体不同点振幅不同而引起的再现波位相不同,迭加结果是再现像上必然会呈现和物体的振动状态相对应的干涉条纹,亦即产生和振动的振幅相关的干涉条纹。时间平均法可用非接触方法来获得振动体的振动模,能对整个二维扩散的表面精密地测出振动的振幅
14、。测量对象以粗糙面较为适宜,同时,可对小至晶体振子大至扩音器、乐器、涡轮机翼等进行振动分析。3.3 激光全息干涉测量的应用领域与实例(一) 尺寸和形状检测 利用激光全息干涉测量技术可对近似相同的形状和尺寸进行机密比较,测量精度可达到0.10.51 全息长度比较仪2 测量表面粗糙度3 测量汽缸内孔4 测量发动机活塞的热变形为正确地确定汽缸活塞的设计尺寸,提高发动机的效率,必须知道活塞受热后变形的情况。图是全息干涉测量活塞热变形的光路图。透镜 L和 L组成准直系统,把细的激光束扩展成大孔径的平行光束。分光器 犅 把这个光束的一部分投向活塞,经活塞表面漫反射后,返回并穿过B,由视场透镜L投射到全息底
15、片 H上,这是物光。穿过分束器 B的另一束光经反射镜L反射到底片上,这是参考光。物光和参考光的光程差尽量要小,在实际应用中,它小于cm。在底片 H 上,物光和参考光的光强比为。在这个比例下,通过视场透镜L在观察屏E 上二次曝光法和实时法都能观察到清晰的干涉条纹。(二)缺陷检测 利用被测件在承载或应力下表面微小变化的信息,就可以判定被测件某些参量的变化,发现缺陷部位。(三)振动的测量振动的测量是由振动物体拍摄的全息图再现后观测的,最基本的方法是时间平均法。此方法准确度和灵敏度都很高,特别是利用三维信息来研究振动物体的振型,是振动测量从来没有达到的。因此,在工业和科学研究上得到很多应用,全息测振已
16、经成为解决振动问题的一种工具(四)粒子与流场分布测量全息干涉技术对粒子尺寸和流场三维分布可进行很有效的测量,是获得整个流场定量信息的理想方法,目前已在空气动力学、气动传输、蒸汽涡轮机测试、雾场水滴微粒尺寸分布、透明体的均匀性分布、温度分布、流速分布等方面得到应用。3.4 激光全息干涉测量仪器的生产厂家及特点1、 南京慧波理工科教仪器研究所JC-1D型多功能激光全息测试仪简要说明:JC-1D型多功能激光全息测试仪是一种大工作台大光学件型的多功能激光仪器,它能拍摄面全息、反射全息、两次曝光全息、时间平均全息,可用全息干涉计量和散斑干涉计量定量测量物体的位移场,此外还可测激光波长、相干长度、透明介质
17、厚度、折射率等。本仪器可开设多个物理实验。2、 挪威Optonor公司 VibroMap 1000 & VibroMap 5000用于零件和机构的设计中振动特性的测试评价,非破坏性试验,微机电机构振动测试,声学测试等。被测对象从零点几毫米到几米,实时和事后的3D全息模态分析。3中国科学院上海光学精密机械研究所 型激光全息干涉仪是一种原理新、口径大、精度高的用于光学材料均匀性测量的大型精密测试仪器。其测量原理是将全息成象原理和经典干涉原理相结合,运用二次曝光全息差分干涉技术,获得被测件的反射和透射干涉条纹,由组合干涉图求得两组干涉条纹的级序,联立求解两组条纹的干涉方程,即可得到折射率微差和厚度微
18、差。该仪器可同时测定和,因而易于实现高精度测量:一般可达。仪器口径为毫米,易于制造,且造价较低。4激光全息干涉测量技术的其他应用自半个世纪激光全息技术发明以来,其应用领域和范围不断开拓,对相关技术和行业的影响越来越大,尤其是近年来随着激光全息技术与其它学科技术的综合运用,更展现了它巨大的应用前景。1瞬态激光全息干涉计量技术的应用领域及近几年来开发研制的相关仪器设备瞬态激光全息干涉计量涵盖了超短脉冲激光、全息术、光电图象传感器、光敏材料和计算机图象处理等新兴学科领域,实现对瞬态过程的记录、再现和判读,做到对如位移、转动、应变、应力、振动、温度、压力、质量密度、电子密度等物理量的精确测量,从而达到
19、对应力场、流场、燃烧场、冲击波、生物过程及无损探伤等超快物理现象的可见化诊断。近几年新开发和研制的典型瞬态激光全息干涉计量测试设备主要有:(1)用于测试火箭发动机喷嘴雾化特性的YSCl型运动粒子瞬态激光全息测试仪;(2)用于激光热核聚变稠密等离子体电子密度测量的SPQ-1型四分幅皮秒紫外线激光全息探测仪;(3)包括记录、再现、图象处理三部分的瞬态激光全息干涉计量测试系统;(4)用于对航空、航天、石油化工等部门常用的膜盒进行位移检测的激光全息光栅精密测试系统。(1)水平偏置椭圆管自然对流放热的激光干涉测量。激光实时全息干涉法是一种非接触式的全场性的测量新技术,对流体无扰动,使用方便。当改变实验工
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