纳米复合金属制备中粒度的控制技术研究毕业论文.doc

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1、纳米复合金属制备中粒度的控制技术研究摘 要新材料是科学技术发展的基础和载体，纳米科技作为2l世纪的主导科学技术，将会给人类带来一场前所未有的新的工业革命，纳米材料是纳米技术应用的基础，纳米材料表现出常规块体材料不具备的物理和化学性质，以及在许多领域展示的潜在的重要应用前景已经成为当今纳米材料的前沿和热点。近年来，受到广泛的关注和研究。本文采用等离子体自由弧、强制气流输运、风冷的方式来满足纳米金属粉末生成的温度梯度条件，避免了液氮冷却和等离子体压缩弧的复杂设备要求，大大降低了制粉成本；引入高纯氢气氛成倍地提高了制粉产率；从单因素工艺实验全面探讨了冷态总压、氢氩比、电流强度、气流循环强度等工艺参数

2、对粉体产量和质量的影响规律。实验表明，随着冷态总压和气流循环强度的增大，纳米粒度逐渐减小；随着氢氩比和电流强度的增加，纳米粒度逐渐增大。在此基础上设计试验,最终获得纳米金属粉体材料的等离子体制备最佳工艺方案，制备出平均粒径为50nm55nm的NiAl纳米粒子。关键词：纳米金属粉末，制备，等离子体，粒度控制The Size Controlling Technology Research on Preparation of Nano Composite Metal ParticleAbstractNew materials are the basic and carriers of the dev

3、elopment of science and technology,Nanotechnology will absolutely be dominant in all scientific fields in 21st century,which will bring all unprecedented industrial revolution,The nanomaterial is the basis of the application of nanotechnology, nanomaterials have received steadliy growing intersts as

4、 a result of their peaculiar and fascinating properties,applications superior to their bulk counterparts,but also their potential application in the fields of eleclronic,magnetic recording,optoclectronic and so on.The temperature gradient request for obtaining nano particles is met by plasma non-con

5、fined arc,compulsive air current conveyance and air-cooling,which avoids complicated equipment requirement for liquid nitrogen & confined plasma arc and reduce cost greatly.On the other hand,the high pure hydrogen is imported to improve productive efficiency remarkably.The influence rule to powder q

6、uality and quantity from some technical parameters such as gas pressure, the ratio between hydrogen and argon,current intensity and gas circulate intensity were discussed by single-factor experiment. The experiments indicated:with the increase in gas pressure and gas circulate intensity, Nano-partic

7、le size decreases gradually; with the increase in the ratio between hydrogen and argon,current intensity and current intensity,Nano-particle size increase gradually.on the base of which the experiment scheme was arranged.At last,the best optimized preparing technical scheme for nano metal materials

8、were studied, prepared the NiAl nano-powder at the average size from 50nm to55nm.Key Words: nano metal, preparation,plasma,particle size control目 录1 绪论11.1 引言11.2 纳米材料制备的国内外研究概况11.2.1 气相法21.2.2 液相法41.2.3 模板合成法51.2.4 自组装技术51.2.5 固相法51.3 当前纳米金属粉末制备技术中存在的问题及发展趋势61.4 纳米材料的应用81.5 本课题研究的主要内容及研究方法92 直流电弧等离

9、子体制备纳米材料的形成机理分析102.1 电弧现象102.1.1 基本概念24102.1.2 电弧放电122.1.3 辉光放电132.1.4 气氛对电弧放电的影响142.2 等离子体基本概述152.2.1 等离子体的概念152.2.2 气体的热电离和等离子体152.3 等离子弧的特性162.3.1 等离子弧162.3.2 等离子弧的热特性162.3.3 等离子弧的电特性172.3.4 等离子弧燃烧的稳定性172.4 等离子体弧光放电182.4.1 等离子体弧光放电与电弧等离子体182.4.2 电弧等离子体技术制备纳米材料的特点192.4.3 氢电弧等离子体法192.5 等离子体法制备纳米金属粉

10、体的基本条件202.5.1 纳米金属粉末制备中温度梯度的作用202.5.2 纳米金属粉末制备中氢气氛的作用212.6 电弧等离子体法在纳米材料制备方面的应用212.6.1 纳米粉末的制备212.6.2 薄膜的制备222.6.3 纳米管等准一维纳米材料的制备233 实验部分243.1 实验原理243.1.1 实验主要技术线路243.1.2 NiAl纳米粒子的生长机理253.1.3 等离子体法制备纳米金属粉体的影响因素253.1.4 纳米金属粉体材料的评定指标263.2 实验设备介绍273.2.1 SNH-IV-B型实验室用金属纳米粉制取设备介绍273.2.2 设备参数及各部分构成273.2.3

11、各元件的作用和操作顺序283.3 实验过程303.4 实验结果分析323.4.1 单因素变量分析323.4.2 最优化实验方案设计344 结论37参考文献38致 谢401 绪论1.1 引言纳米科学技术（Nano-ST）是20世纪80年代诞生并逐渐崛起的新科技,基本内涵是:在纳米尺寸（1100nm）范围内认识和改造自然，通过直接操作和安排原子、分子创造具有特定功能的新物质材料。纳米粒子是由数目较少的原子和分子组成的原子群或分子群，其尺寸一般在1100nm之间。纳米粒子具有表面效应、体积效应、量子尺寸效应以及宏观量子隧道效应1，使得粒子在保持其原有物质物理和化学性质的同时，在电学、磁学、化学、光学

12、、力学等方面表现出奇特的性能2，而且随着纳米粒子的尺寸不同，其性质差别很大。例如，粒径的大小影响磁性纳米粒子的磁性，当粒径小于10nm时粒子呈超顺磁性，同时其各向异性能（KV）、矫顽力、比饱和磁化强度、剩余磁化强度、居里温度等均有明显的尺寸效应。既然纳米粒子的粒径与其性能的关系如此密切，在纳米粒子制备过程中，预测和控制粒径就显得尤为重要。纳米粒子的粒径指标值通常是通过改变实验条件的反复实验而获得。通过实验条件来预测纳米粒子粒径的模型不仅能增强我们控制粒径的能力，而且有利于工业化生产具有理想粒径的纳米粒子。现今，纳米粒子通过“自下而上”的构建模式，有望制备出高性能的电子、磁学、光学器件，在宇航技

13、术、电子、陶瓷、轻工、医药、冶金和化学等领域有广泛的应用前景，因而对纳米粒子结构、形态及制备技术的研究已成为一个热门课题3。1.2 纳米材料制备的国内外研究概况纳米材料的研究最早源于十九世纪六十年代对粒径约（1100nm）的胶体粒子的研究，其间历经了三个阶段：孕育萌生阶段（1984年以前）、探索研究阶段（1993年以前）、应用开发阶段（1993年到现在）。进入20世纪90年代以来，纳米材料及其技术开始蓬勃发展，研究的内涵不断扩大，领域也逐渐拓宽45。人工制备纳米材料的历史可以追溯到1000多年前，我国古代利用燃烧蜡烛的烟雾制成碳黑作为墨的原料以及用于着色的染料，这可能就是最早的纳米颗粒材料。人

14、们有意识地合成纳米材料是在20世纪60年代，著名的物理学家诺贝尔物理奖获得者Richard Feynman率先提出了人工合成纳米粒子的设想。70年代美国康奈尔大学Granqvist和Buhrman曾利用气相凝集的手段制备纳米材料。1984年,德国H.Gleiter教授首次采用惰性气体蒸发原位加压法制备了具有清洁界面的三维块状试样纳米晶体钯、铜、铁等。1987 年美国Argonne实验室的R.W.Siegel博士用同样方法制备了纳米氧化钛多晶体。随着科学与技术的不断进步，制备纳米材料的方法和技术也在不断拓宽，如应用激光技术、等离子技术等高科技手段制备高质量纳米材料。纳米材料的制备方法很多，分类也

15、各不相同，关键是如何合成具有特定尺寸，并且粒度均匀分布无团聚的纳米材料，所需的设备也尽可能结构简单、易于操作。制备要求一般要达到表面洁净、纳米材料的形貌及尺寸、粒度分布可控，易于收集、有较好的稳定性、产率高等方面。从理论上讲，任何物质都可以从块体材料通过超微化或从原子、分子凝聚而获得纳米材料。按照纳米微粒的制备原理，纳米材料的制备方法总体上可以分为物理方法和化学方法。物理方法有：蒸发冷凝法、离子溅射法、机械球磨法、低温等离子体法、电火花法和爆炸法等；化学方法有水热法、水解法、溶胶凝胶法、熔融法等。不论采取何种方法，根据晶体生长规律，都需要在制备过程中增加成核、抑制或控制生长过程，使产物符合要求

16、，成为所需的纳米材料。纳米材料结构的分析、物性的研究、应用和开发都须按一定的要求制备出可靠的纳米材料，所以在材料研究中占有重要的地位。下面简单介绍纳米材料的制备方法：1.2.1 气相法（1）等离子法利用惰性气氛或反应性气氛中通过直流放电使气体电离产生高温等离子体，从而使原料熔化和蒸发，蒸汽遇到周围的气体就会冷凝或发生化学反应形成纳米颗粒，等离子体温度高，能制备出难熔的金属或化合物，产物纯度高。可分如下两类：目前，国际上用来制备纳米粉体的等离子体发生器主要有高频等离子体发生器、直流电弧等离子体发生器和混合等离子体发生器。直流电弧等离子体发生器是目前使用最广泛的等离子体发生器。它的特点是热效率高，

17、电弧稳定性好，成本低，便于操作，适合于大规模的工业生产。利用氢电弧等离子体法制备纳米材料的方法是由日本人Tanka K等人6率先提出来的。国内青岛科技大学的张志焜和崔作林教授自行设计了可批量生产纳米金属粒子的多电极氢电弧等离子体法纳米材料制备装置7，并获得国家实用新型专利。使用该种方法已经制备出30多种纳米金属、合金和氧化物等、例如纳米铁、钴、镍、铜、锌、铝、银、铋、锡、锰、钼、铟、钛、钯、铯、CuZn、PdNi、CeNi、CeFe、CeCu、ThFe、氧化铝、氧化钇、氧化钛、氧化锆等。我国东北大学、南京工业大学、四川大学和日本技术研究所等单位进一步发展和完善了此技术。南京工业大学材料科学与工

18、程学院的王超等人在参考国内外有关设备的基础上，设计并造出另一种改进型的氢电弧等离子体法连续制备纳米材料的装置。四川大学材料科学与工程学院院的蒋渝博士，对氢电弧等离子体法制备纳米材料的设备和工艺进行更为系统的研究，并从理论上探讨了该制备方法所涉及的基本机理。东北大学材料与冶金学院的李志杰等人设计的氢电弧等离子体法制备纳米材料的装置成功的制备出平均粒径分别为75nm、56nm、81nm和77nm的纳米金属铝、铁、铜和铅粉末。（2）溅射法8在惰性气体或活性气氛下，在阳极板和阴极蒸发材料问加上几百伏的直流电压，使之产生辉光放电，放电中的离子撞击到阴极的蒸发材料靶上，靶材的原子就会由表面蒸发出来，蒸发原

19、子被惰性气体冷却凝结或与活性气体反应而形成超细颗粒，若将蒸发靶材做成几种元素的的组合，还可以制备出复合材料的超细粉。Lawrence Livemore国家实验室的Bwbee等人利用真空溅射技术制成了层状交替金属复合纳米材料。（3）惰性气体蒸发凝聚法该方法是制备金属纳米粒子最直接、最有效的一种方法。基本原理：将金属、合金或化合物在惰性保护气体（如He、Ar、N2等）中加热蒸发气化，利用与气体的碰撞而冷却和凝结，最终生产金属超微粉。其中蒸发源有电阻加热法、高频感应加热法、电子束加热法、激光束加热法。该制备方法具有纳米微粒表面光洁、纯度高、团聚体少、相对密度高的优点；同时也有工艺设备复杂、产量低的缺

20、点。据报道, 国外已经采用SiH4-CH3 NH2-NH3系统制备了Si/ C/ N复合粉末,微粒粒径30nm72nm9。（4）化学气相反应法（CVD）让一种或几种气体通过光、热、电、磁、化学等作用而发生热分解、还原或其它反应，从气相中析出纳米粒子。此法可制取金属纳米粉末以及金属与非金属的氧、氮、碳化合物的纳米材料。（5）反应性激光蒸发法在N2、NH3、CH4、C2H4、O2等反应性气氛中，将激光照射到金属块状靶上，金属被加热蒸发后与气体发生反应，从而得到这些金属的氧化物、氮化物、碳化物等纳米粒子。1.2.2 液相法（1）水热法高温高压下在水溶液中反应，再经分离以后处理得到纳米材料。通常是在特

21、别的反应器（高压釜）中，采用水作为反应体系，通过将反应体系加热至临界温度（或接近临界温度），在反应体系中产生高压环境而进行无机合成与材料制备。其中水作为液态或气态下传递压力的媒介。该方法工艺流程简单，条件温度易控制，适于金属氧化物和金属复合氧化物陶瓷纳米材料的制备10。目前已有SnO2 、BaTiO3 、ZrO2 等合成的报道11。（2）沉淀法化学沉淀法是目前应用较广泛的纳米粉体制备方法之一，如日本的石原产业公司和帝国化工公司、英国的Ti0xide集团公司、芬兰的凯米拉公司等以TiOSO4或H3TO3为原料生产纳米TiO2。沉淀法是指包括一种或多种离子的可溶性盐溶液，当加入沉淀剂（如OH-，C

22、2042-等）于一定温度下使溶液发生水解，形成不溶性的氢氧化物、水合氧化物或盐类从溶液中析出，将溶剂和溶液中原有的阳离子洗去，经热解或热脱即得到所需的氧化物粉料。沉淀法包括共沉淀法、直接沉淀法、均相沉淀法等。（3）溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是指前驱物质（水溶性盐或油溶性醇盐）溶于水或有机溶剂中形成均质溶液，溶质发生水解反应生成纳米级的粒子并形成溶胶，溶胶经蒸发干燥转变为凝胶，该法为低温反应过程，允许掺杂大剂量的无机物和有机物，可以制备出许多高纯度和高均匀度的材料，并易于加工成型。清华大学化学系的朱永法、张利等已经利用TiCl4溶胶凝胶法制备出TiO2纳米粉体。（4）喷雾法通过各种手段进行雾化，再

23、经物理、化学途径而转变为纳米粒子。基本过程有：溶液的制备、干燥、收集和热处理。据雾化和凝聚过程分为：喷雾干燥法、喷雾热解法、冷冻干燥法。（5）微乳液法两种互不相溶的溶剂在表面活性剂的作用下形成乳液，在微泡中经成核、聚结、团聚、热处理得到纳米材料。微乳液法能在极小微区内控制颗粒的生长，得到单分散性较好的纳米材料溶胶。已报道合成的有CaCO3、氧化物Fe3O4、TiO2、SiO2和半导体纳米粒子CdSe等。（6）超重力法超重力的技术实质是离心力场的作用，它是利用旋转产生强大的离心力-超重力，使气、固相的接触面提高，强化传质过程。张鹏远等以工业氢氧化铝为原料,应用超重力法成功制备出了平均粒径小于50

24、nm的超细氢氧化铝。刘建伟等以氨气和硝酸锌为原料,应用超重力技术制备出粒径20nm80nm、粒度分布均匀的ZnO纳米颗粒。（7）超临界法超临界法12是指以有机溶剂等代替水作溶剂，在水热反应器中，在超临界条件下制备纳米微粉的一种方法。在反应过程中，液相消失，这就更有利于体系中微粒的均匀成长与晶化，比水热法更为优越。1.2.3 模板合成法模板技术是指采用具有纳米孔洞的基质材料中的空隙作为模板，进行纳米材料的合成。模板可分为硬模板和软模板，以适宜尺寸和结构的模板，如多孔玻璃、沸石分子筛、大孔离子交换树脂、高分子化合物、表面活性剂等结构基质做主体，在其中合成所需要的纳米材料。根据所用模板中孔径的类型，

25、可以合成粒状、线状、管状和层状的纳米材料。1.2.4 自组装技术利用分子间的相互作用，如静电力、氢键以及疏水作用等，组装成有序纳米结构的过程。利用自组装技术，从分子水平上控制粒子的形状、尺寸、取向和结构。如LB膜技术便是利用两亲分子在气液界面上的定向吸附，再转移到固体载片上形成无机-有机纳米复合材料13。表面活性剂分子在溶液中的自组装及一些特殊结构的共聚物的自组装是近年来所谓仿生合成的研究热点之一。1.2.5 固相法常见的固相制备纳米材料的方法有：高能球磨法、压淬法14、深度塑性变形法、离子注入法、非晶晶化法、爆炸反应法等。至目前为止，人们制备纳米材料的各种方法已多达上百种。我国在20世纪80

26、年代中期对人工合成纳米材料的制备技术给予极大的关注，90年代初期掀起了纳米材料研究的热潮。目前纵观纳米材料世界研究的形势，美国、日本、德国、俄罗斯、荷兰、加拿大等国纳米材料研究处于世界前列。我国虽然起步稍晚，但部分材料研究水平也已步入世界的先进行列15。电弧等离子体法是目前实验室和工业上广泛采用的制备纳米粒子的方法之一。电弧等离子体法是一种在惰性气氛或反应性气氛下通过电弧放电使气体电离产生高温等离子体，从而在等离子体增强的气氛中发生物理或化学变化产生气相沉积的材料制备方法。电弧等离子体法作为一种材料制备方法，具有高的热性能、高的化学性能、极高的冷却速度和反应气氛可控等特点16，在制备各种纳米粉

27、末、纳米管、纳米薄膜等方面有重要的应用。本课题就是通过电弧等离子法制备纳米金属镍-铝粉的实验分析影响金属纳米粉体粒度的主要因素。1.3 当前纳米金属粉末制备技术中存在的问题及发展趋势总的来说，纳米金属粉末的制备研究已有很多报道，但是往往仅局限于实验室水平，产率小，质量不稳定，工业化水平低。各种制备方法的具体情况如下：气体蒸发法：在惰性气体中使金属蒸发，利用快速冷却作用使之凝结，从而生成纳米超细粉体。其蒸发热源手段有感应加热、电阻加热、激光加热、等离子加热等多种方式。其中的两种方法较有特色，一是电弧等离子体方法，其气氛可以产生集中、高能的温度场，制备的粉末具有较好特性17，粒度分布较窄，平均粒度

28、小；二是流动油面蒸发法，在真空中蒸发金属，使其在流动的油层基面上作真空沉积，制成的超细粒径粉范围窄、粒度小，但设备要求较高。爆炸法：把金属粉末和火药一起放入容器内，采用电火花方式引爆。爆炸瞬间产生的高温高压下使金属微粉形成超细的纳米粉体。俄罗斯对该种方法研究深入，粒径尺寸小于100纳米，工艺易于实现半自动化，制备种类也较多18。高能球磨法（合金化方法）：利用高能球磨，控制适当的研磨条件（一般研磨时间要在几十个小时以上），以制得纳米级晶粒的纯元素、合金或复合材料，操作简单，成本低，但是容易引入杂质，降低纯度，颗粒分布不均匀，粒度一般较大（70120纳米以上）。有机化合物热分解法：利用羰基镍/铁化

29、合物的分解反应，在温度为150200，压力为1020MPa的环境中热分解而生成纳米镍或铁粉。产物中有一定的碳和氧，须还原处理，一般Ni粉纯度99.9099.95%；铁粉纯度99.099.55%。如果用氢气进行后续还原处理，碳含量小于0.002%。氧含量小于0.2%，粒径分布为70110纳米19。超声电解沉积法：将溶液中的金属阳离子在电流的作用下向阴极移动，并在阴极表面还原沉积。通过超声的震动与空化作用产生的高压射流使形成的微小颗粒悬浮于电解液中，经过离心分离、真空干燥等获得所需粉末。铜粉平均粒度为90纳米，镍粉的平均粒度50纳米，粒度分布较好20。射线辐照水热处理法：在稳定金属胶体溶液中加入异

30、丙醇以清除氢氧自由基。在部分盐溶液中加入EDTA二钠盐以络合M+离子，所有配制好的溶液均通入高纯N2一小时以除去溶解的氧，然后在2.59x105Bq的60Co源场中辐照。辐照后的溶液装入内衬为聚四氟乙烯的高压釜中，在105210的恒温箱内水热处理数小时，冷却至室温后，收集金属粉末，用蒸馏水和25%氨水洗涤数次，干得纳米金属粉。该方法制备的Ag粉粒径范围为640nm，最大分布百分数（35%）是1015nm，平均粒径16nm；制备的Cu粉平均粒径为67nm，但产物中含有Cu2O的杂质21。激光诱导化学气相法：利用反应气体分子对特定波长激光束的吸收，引起反应气体分子激光光解，在一定工艺条件下获得纳米

31、粒子空间成核与生长。其粒径分布为30100纳米，粉体粒径分布较窄，产率高22。化学还原法（类似的溶胶-凝胶、液相沉淀、溶剂蒸发等方法）：一般工艺是采用金属盐溶液，分别溶于蒸馏水/1:2氨水/乙醇溶液中，并加入适量强碱溶液；然后加入化学计量二倍左右的N2H4H2O。在常温常压及高压釜内进行反应；或者用适量的NH2OHHCl还原至M2+，碱性条件下，加入N2H4H2O后，在高压釜内进行反应；所有产物用蒸馏水洗涤至中性，真空中干燥，即得到纳米金属粉末。其粒径一般为40100纳米，这种方法多适用于金属氧化物纳米材料的制取；对于纳米金属粉末，其活性和制备时的化学环境影响，其纯度和粒径不易较好地控制，杂质

32、不易除去，但是可以调节化学反应量而比较容易地获得较大产率23。从工程化角度，纳米金属粉末的高活性、平均粒度小、粒径分布范围要求窄、制备难度大等特点，造成目前国内外纳米金属粉末的制备中出现各种问题，比如产品杂质含量高、粒度分布不均匀、平均粒度偏大、收集封装难度大、产量不高等。同时，也造成纳米金属粉末产品价格居高不下，目前纳米金属粉末价格普遍在10000元/kg以上，这使纳米金属粉末的应用大大受限。目前我国对纳米金属粉末的研究主要在应用领域，比如纳米铁粉在磁性材料、纳米铜粉在润滑油、纳米银粉在医疗卫生等领域；但是纳米金属粉末的产品质量尚不过关，制备的粉末平均粒度大、粒径分布宽，团聚严重；真正进行高

33、纯度、窄粒径分布、较大批量地生产纳米金属粉末的单位很少。我国目前大多数纳米粉末生产单位事实上也均以纳米无机物的生产为主，纳米金属粉末制备多数停留在实验室少量合成水平上，质量也难以保证。纳米金属粉末制备的技术进步正趋于解决高纯度、窄粒径分布、提高产率和降低生产成本等技术难题。从科学研究的角度，虽然已有对纳米金属粉体材料制备的较多文献报道，但大多数均还停留在实验室制备、工艺优化的水平上；尤其对于等离子体方法制备纳米金属粉体材料，不仅其制备工艺的摸索尚浅，而且对其制备过程中纳米金属颗粒的生成控制因素、产率提高手段及超细粉体粒子的收集等关键过程均未查见相关研究报道。本文从纳米粉体生成的根本原因、粉体制

34、备中的产率控制因素、纳米粒子粒度控制等多方面对纳米金属粉体的等离子体制备过程进行系统性、完整性地研究。1.4 纳米材料的应用纳米材料主要具有量子尺寸效应、小尺寸效应、表面与界面效应，使其在磁、光、电、热、传感特性和表面稳定性等方面表现出常规材料不具备的特殊性能，因此在信息、航空航天、环境、生物、医学、能源等工业部门均有广泛的应用前景。下面是纳米材料在各领域中的具体应用情况：（1）纳米材料在电子信息领域中的应用：广泛用于单电子晶体管、单电子存储器、纳米芯片、纳米电脑、光子晶体和光子存储、量子点激发器、光电脑及磁记录等方面。（2）纳米材料在航空航天领域中的应用：制造各种纳米保护涂层、隐身涂层等；制

35、造航空航天飞行器、机身及其辅助装置、机翼、发动机及其部件；利用高温合金、纤维及纳米增韧补强的复合陶瓷材料制成发动机、气轮机等；利用纳米材料比表面大、响应速度快、敏感性高等优点制成各种传感器、航空仪表、通信装置、雷达装置与吸波材料。（3）纳米材料在环保和能源领域中的应用：利用纳米粒子的高效光催化性能净化空气、处理污水；利用它的超亲水性制成自清洁表面材料；用于制造高效无污染的储氢材料和燃料电池。（4）纳米材料在生物医药领域中的应用：应用于细胞分离、细胞染色及利用纳米微粒制成特殊药物或新型抗体进行局部定向治疗方面；用于癌症监测、治疗、蛋白质分离、免疫、靶向结构输送和缓控释药物等。1.5 本课题研究的

36、主要内容及研究方法为了在纳米粒子的基础上研究其特殊性能和制备可用的器件，首先要制备出具有稳定分散性且粒径可控的纳米粒子，因而纳米粒子制备方法的研究是其发展的先决条件。在纳米粒子的研究中人们最感兴趣的问题之一就是其粒度和形貌，可以人为地控制粒子的大小、粒度分布均匀和形状规则是高品质纳米粒子必须具备的基本特征，是制备过程中必须自始至终值得重点关注的问题。本课题研究的重点，就是通过电弧等离子法制备纳米金属镍-铝粉的实验研究影响金属纳米粉体粒度的主要因素。通过实验，掌握电弧等离子体法制备纳米金属的方法，研究电弧等离子法制备纳米金属时，在成核生长过程控制因素方面具有的特征和规律。从晶粒形成、生长的基本机

37、理出发，对纳米粒子的粒径分布和形状控制做探索，分析纳米粒子粒度及其分布的控制策略。掌握SNH-IV-B型实验室用金属纳米粉制取设备制备纳米复合金属的工艺、流程，包括开机前的准备、生产过程、钝化过程和收集包装过程。根据所掌握的理论知识设计实验，利用SNH-IV-B型实验室用金属纳米粉制取设备制备纳米复合金属镍-铝。通过实验，研究电弧等离子体制备纳米金属制备过程中，金属纳米粒子的平均粒径与制备的条件（等离子体电流强度、冷态总压、氢氩比、气流循环强度等）的关系。改变制备过程中外界条件（等离子体电流强度、冷态总压、氢氩比、气流循环强度等），观察对金属纳米产量和粒度的影响程度,同时对不同条件下的纳米材料

38、的生长机制进行研究,从而得到控制纳米粒度和提高纳米产量的最佳方法。2 直流电弧等离子体制备纳米材料的形成机理分析纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围（1100nm）或由它们作为基本单元构成的材料，这大约相当于10100个原子紧密排列在一起的尺度。纳米金属粉末制备分为物理法和化学法两大类。化学法产量大，纯度不高，而且由于纳米金属粉末极高的化学活性导致其后续干燥及脱液处理困难真空干燥后粉末颗粒团聚严重，难以满足工业化要求。物理法纯度高，团聚少，但设备昂贵产量低，导致当前中、高熔点纳米金属价格高昂，仅在少数国防、科研单位少量使用；物理法一般采用加热坩埚内的纯金属块使其气化蒸发，再用液氮

39、形成的急冷面进行强制冷却的方式，或采用水冷铜套压缩弧等离子体的方式，产率水平可达到几克/小时的水平，设备造价昂贵。本研究一方面采用等离子体自由弧、强制气流输运、风冷的方式来满足纳米金属粉末生成的必要急冷条件，避免了液氮冷却和等离子压缩弧的复杂设备要求，大大降低了制粉成本；另一方面，引入氢气氛，使等离子体中的活性氢以抢先分子蒸发机制的方式在熔融金属中大幅度提高其蒸发速率，从而成倍提高制粉产率。本章主要论述电弧等离子体法制备纳米金属的基础理论。2.1 电弧现象2.1.1 基本概念图2.1 电弧及电弧空间的电压分布示意图电流通过气体的现象叫做气体放电。气体通常是良好的绝缘体，但当两个电极之间的电场强

40、度足够大时，其间的自由电子可积聚足够的能量，在向阳极运动时撞击中性分子使其游离，并留下正离子。电场不平衡进一步加强了导电区域，因而有更多的电子扩散，就像雪崩一样发生击穿，使得气体的电离程度得以提高。电弧实质上是一种稳定的气体放电形式，在一定条件下使两电极间的气体空间导电，是电能转化为热能和光能的过程24。电弧放电需要的维持电压不高，电流则较大，温度很高。在两个电极之间施加很高的电压，使两极间产生火花放电，然后引燃电弧。引燃电弧时，电子从阴极放出，穿过电弧空间，进入阳极。在两电极之间，电场强度分布不均匀，在紧靠着两个电极的很小区域内电场强度很高，其余大部分长度上电场强度是相同的，且数值不大。电弧

41、根据图2.1所示电场强度沿电弧长度分布的示意图可将电弧分成三部分：（1）阴极及阴极区：阴极是发射电子的地方，电子从阴极表面不大的区域发出，这个区域称为阴极斑点。阴极斑点的电流密度约为103106A/cm2。靠近阴极附近的尺寸很小，但电场强度很大的区域称为阴极区，整个阴极区的电压降约为10V。根据阴极的工作状况阴极材料可以分为热阴极材料和冷阴极材料两类。例如，碳和钨属于热阴极材料，用它们作阴极时，很高的阴极温度（3000K）使阴极内部的自由电子获得足够的能量，从而克服了阴极内部正离子的引力，脱出阴极表面，叫做电子的热发射。为了维持阴极斑点的高温，它在阴极表面比较固定，不能快速移动；铜是冷阴极材料

42、，这时阴极温度低，但是阴极斑点的电流密度高，它能以很高的速度在铜电极表面上移动而仍然保持电弧稳定燃烧。在这种较低的阴极斑点温度下不足以造成电子的热发射。电子从这种阴极的脱出可能是由于阴极区的强电场造成的。电子从不同的阴极材料中逸出的难易程度不同，通常用材料的逸出电位表示。一般情况下，在阴极产生的热量要比在阳极产生的低。（2）阳极及阳极区：阳极只是接受电子，电子流入阳极也集中在阳极表面不大的面积上，称为阳极斑点。阳极斑点上的电流密度通常比阴极斑点上的小，因而阳极斑点的尺寸要比阴极斑点大。阳极电压降的变化范围很大，约在030V之间。当阳极附近的温度升高时，阳极电压降就降低。等离子弧的弧柱具有更高的

43、温度，它的阳极电压降要更低。电子到达阳极并把所获得的全部能量都交给了阳极，这些能量转变成熟能，并使阳极温度升高。阳极只是接受能量，其中一部分用于供给电子发射，因此阳极的温度和热量都要高于阴极。（3）弧柱：电弧中除去阴极区和阳极区，剩下的导电空间就是弧柱，弧柱是由在电弧长度上均匀分布的导电气体组成的，它的尺寸几乎占据了电弧的整个长度。在弧柱中，正离子和电子由于受到电场的作用而定向运动，正离子的质量远大电子，它运动速度比电子慢的多。由于弧柱中电场强度是均Y的，其数值等于弧柱中的电压降除以弧柱长度，即电场强度，单位为V/cm，式中U为电弧电压。为阳极电压降，为阴极电压降，l为电弧长度。2.1.2 电

44、弧放电（1）阳极弧放电80年代末期德国科学家II.Ehrich博士25首先提出了阳极弧设想，这样可以比较好的解决液滴流问题，进而达到提高膜的质量问题。通过接触法引燃电弧后，使接触的阴阳两极快速拉开，在阴极表面产生一个或几个光亮区域即阴极斑，几秒钟后阳极上的金属丝变成熔融状态的液滴，开始发亮变成一个亮点，形成阳极斑。同时，从观察窗看到色光出现，对于Al弧呈蓝紫色，Cu弧呈绿色，这决定于蒸发金属可见光光谱的最强谱线。此时，阴极表面明亮而缓慢移动的阴极斑分裂成大量的、小的快速移动的阴极斑，均匀分布在阴极表面。当阳极材料蒸发完时，小阴极斑又变成几个大阴极斑，接着阳极斑、色光、阴极斑消失。每次放电后，蒸

45、发室内壁和阴极表面可以看到一薄薄的阳极材料覆盖层，阳极表面也有一两个微坑。起弧过程包括电子发射、阴极斑、阳极斑的形成。给两电极加电压后，电路处于短路状态，较大的瞬时电流通过电路，由于接触处电阻较大，能量输入主要用于加热升温。快速拉开两电极瞬时，能量进一步集中，接触点温度升高到部分电子的热运动足以克服原子的束缚而挣脱原子，从阴极表面发射出来。发射处呈几个明亮的小斑点，则阴极斑点形成。发射出来的电子经电场加速，轰击阳极，使本来升温的阳极材料局部过热、气化、出现明亮的小斑点，形成阳极斑。蒸发出来的金属原子被电子碰撞电离，正离子轰击阴极，造成更多的大面积的电子发射。负粒子、电子轰击阳极，阳极斑越来越大

46、，直到阳极金属全部消耗用尽。阴极斑点是阴极表面放电集中的高电流密度的光亮区，斑点越大移动越慢，对阳极表面的侵蚀就越严重，并伴有液滴溅出，个别灼痕就是在起弧瞬时产生的。当电弧稳定后，大量小阴极斑点快速移动，对阴极表面就没有侵蚀作用了26。（2）阴极弧斑放电1903年Stark发现了水银阴极弧在放电过程中，弧斑在水平磁场作用下的运动方向与带电粒子所受的安培力方向相反，并定义了阴极弧斑。这种弧斑放电现象已经广泛应用于多弧离子镀膜、真空弧断路开关、金属粒子源和电子源等。其共同的特征以阴极弧斑放电为代表：放电集中在阴极表面出现的一个或多个运动的发光区（即阴极弧斑）上，弧斑局部处于极高的沸点温度2728。

47、阴极弧斑放电的机理：弧斑放电是由于极高电流密度的欧姆热效应加热了阴极表面微凸体而产生的一个个脉冲的爆裂过程；极高电流密度符合热场致发射理论；极高电流强度是由于蒸汽原子来源于阴极、离子层距阴极表面极近等原因造成的；磁场是通过弧坑内电子漂移层的作用而影响阴极弧斑运动的；电子漂移层影响电子密度分布、电场强度分布、电流密度分布、新弧斑的产生。放电气压是通过离子碰撞加热作用而影响弧斑运动的。阳极弧斑形成时，阳极表面电子的热发射使阳极电位降由负值转变为正值。（3）阴极弧斑放电的特征放电电压低（十几至几十伏），电流大（几安培至上千安培），电流随电压的增大而迅速增大，是一种弧光放电；电流集中在很小的运动的区域

48、（即弧斑）上，阴极表面局部电流密度超过1010A/m2（对于钨，电子发射的电流密度最大可达1013A/m2），在所有的放电形式中是最高的，其电子发射机理为热场致发射；阴极材料在弧斑处被气化烧蚀，阴极弧斑放电的介质为阴极蒸汽（金属原子的电离能较低）及其它低压气体，真空弧放电介质为阴极蒸汽；弧斑形成于弧坑边缘的微凸体处，微凸体爆裂形成新的弧坑和微凸体，并产生高速蒸汽流，发出强光，这就是弧斑。相邻弧斑的次第燃起和熄灭构成了弧斑的运动。弧斑在磁场中的运动更为不可思议：弧斑在没有磁场条件下在阴极表面作随机运动；在垂直于阴极表面的磁场下，弧斑随机运动速度加快；弧斑在平行于阴极表面的磁场下，沿洛仑兹力的反方向运动，而且磁场越强速度越大，气压越高速度越小，最后随着气压的增