第三章零维纳米材料(-精品)课件.ppt
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1、纳米材料学基础(第三章),王晓冬河南理工大学 材料学院,2,第三章 零维纳米材料,本章内容,3,第三章 零维纳米材料,1、零维纳米材料,4,第三章 零维纳米材料,零维纳米材料是指在三个维数上都进入了纳米尺度的范围的材料零维纳米材料主要包括:1、团簇(clusters)2、纳米微粒(nanoparticle),5,第三章 零维纳米材料,原子团簇,团簇作为一类新的化学物种,直到20世纪80年代才被发现。团簇是指几个至几百个原子的聚集体,其粒径小于或等于1 nm,如Fen,CunSm,CnHm和碳族(C60,C70)等等。从结构上,既不同于分子,也不同于块体。在性质上,既不同于单个原子和分子,又不同
2、于固体和液体,而是介于气态和固态之间的物质结构的新形态,常被称作“物质第五态”,6,第三章 零维纳米材料,原子团簇,7,第三章 零维纳米材料,原子团簇,原子团簇的独特性质:1)具有硕大的比表面积而呈现出表面或界面效应;2)幻数效应;形状和对称性多种多样 3)“库伦爆炸”是自然界中的一种与电荷相关的基本相互作用之一。例如当一个金属球充电以后,电荷与电荷之间的相互排斥作用会导致系统的能量升高。当电荷量超过了临界值(瑞利不稳定极限)时,金属球会发生爆炸而分裂成几个小球,并以此来降低系统的库仑排斥能。4)原子团逸出功的振荡行为等。,8,第三章 零维纳米材料,原子团簇,纳米碳球 主要代表就是C60,亦称
3、作富勒碳60个C原子组成的封闭的球形,32面体,20个六边形和12个五边形构成一个完成富勒碳。其结构与常规的碳的同素异性体金钢石和石墨完全不同,物化性质非常奇特,如电学、光学和超导特性。,9,第三章 零维纳米材料,原子团簇,10,第三章 零维纳米材料,原子团簇,11,第三章 零维纳米材料,纯C60固体是绝缘体,用碱金属掺杂之后就成为具有金属性的导体,适当的掺杂成分可以使 C60固体成为超导体Hebard等首先发现了临界温度(Tc)为18K的K3C60超导体随后改变掺杂元素,获得了Tc更高的超导体。因此C60的研究热潮立即应运而来,12,第三章 零维纳米材料,纳米微粒(nanoparticle)
4、,13,第三章 零维纳米材料,纳米颗粒,纳米颗粒(也称作纳米微粒、超微粒子或纳米粉)颗粒尺度为纳米量级的超微颗粒,尺度大于原子团簇,一般在100nm以内。纳米颗粒是肉眼和一般光学显微镜看不见的微小粒子。通常纳米颗粒小于红血球的千分之一、是细菌的几十分之一,与病毒大小相当。日本上田良二教授:用电子显微镜(TEM)能看到的微粒称为纳米颗粒,14,第三章 零维纳米材料,15,第三章 零维纳米材料,纳米晶,16,第三章 零维纳米材料,17,第三章 零维纳米材料,SiO2胶体微球 PS胶体微球,18,第三章 零维纳米材料,2、零维纳米材料的制备技术,19,第三章 零维纳米材料,制备方法评述,纳米粉末又称
5、为超微粉或超细粉,一般指粒度在100纳米以下的粉末或颗粒,是一种介于原子、分于与宏观物体之间处于中间物态的固体颗粒材料,20,第三章 零维纳米材料,自从1984年德国科学家Gleiter等人首次用惰性气体凝聚法成功地制得铁纳米微粒以来,纳米材料的制备、性能和应用等各方面的研究取得了重大进展其中纳米材料合成方法的研究是十分重要的研究领域,21,第三章 零维纳米材料,纳米材料的研究现已从最初的单相金属发展到了合金、化合物、金属-无机载体、金属-有机载体和化合物-无机载体、化合物-有机载体等复合材料以及纳米管、纳米纤维(丝或棒)等一维材料合成方法日新月异,22,第三章 零维纳米材料,纳米粒子的合成目
6、前已发展了多种方法,制备的关键是控制颗粒的大小和获得较窄的粒径分布,有些需要控制产物的晶相,所需的设备尽可能简单易行,23,第三章 零维纳米材料,2.1 制备方法评述,制备方法的分类:物理方法:由大到小的方法 化学方法:由小到大的方法近十几年来,各种高科技手段应用于纳米粒子的制备研究:激光技术、等离子体技术、电子束技术和粒子束技术等等,24,第三章 零维纳米材料,制备方法分类,制备方法,气相法液相法固相法,物理气相沉积(PVD)化学气相沉积(CVD),25,第三章 零维纳米材料,气相法制备,气相法合成纳米颗粒的思路:直接利用气体,或通过各种手段将物质变成气体,使之在气体状态下发生物理变化或化学
7、反应,最后在冷却中凝聚、长大,形成纳米颗粒气相法中物质经历相变化,而相变中能量变化是主要决定因素,26,第三章 零维纳米材料,气相成核理论,纳米微粒的形成源自一个生长核心,其形成分为两种机制:(1)异相成核:以进入蒸气中的外来离子、粒子等杂质或固体表面上的台阶等缺陷作为核心,进行微粒的成核和长大(2)均相成核:无外来杂质和缺陷的参与,过饱和蒸气中的原子相互碰撞而失去动能,聚集形成核心,当核心半径大于临界半径rc时,可不断吸收撞击到表面的其他原子、继续长大、最终形成微粒,27,第三章 零维纳米材料,物理气相沉积生长,物理气相沉积(physical vapor depositon-PVD)是指在凝
8、聚、沉积的过程中,最后得到的材料组分与蒸发源或溅射靶的材料组分一致,在气相中不发生化学反应,只是物质转移和形态改变的过程PVD过程中气相的产生主要包括蒸发和溅射两种方法,28,第三章 零维纳米材料,物理制备方法,物理气相沉积(PVD),真空蒸发溅射沉积,单源单层蒸发单源多层蒸发多源反应共蒸发,单离子束(反应)溅射双离子束(反应)溅射多离子束反应共溅射,离子束溅射,直流溅射射频溅射磁控溅射,真空溅射,29,第三章 零维纳米材料,真空蒸发沉积,蒸发:在高真空中用加热蒸发的方法使源物质转化为气相在蒸法沉积中,有3种加热方式:(1)电阻加热(2)高频感应加热(RF)(3)等离子体加热(4)电子束加热,
9、30,第三章 零维纳米材料,(1)电阻加热,基板,膜原监控,档板,蒸发源,排气,加热器,电阻加热示意图,31,第三章 零维纳米材料,(2)高频加热,坩埚,RF线圈,RF电源,高频加热示意图,32,第三章 零维纳米材料,(3)等离子体加热法,原理:温度高,达2000K以上,包含大量的高活性原子、离子。等离子体粒子流高速作用到原料表面,可使原料迅速熔融,并大量迅速地溶解于原料熔体中 这些原子、离子或分子与金属熔体对流与扩散使金属蒸发。特点:1、采用等离子体加热蒸发法制备纳米粒子的优点在于产品收率大,特别适合制备高熔点的各类超微粒子。2、等离子体喷射的射流容易将金属熔融物质本身吹飞,这是工业生产中应
10、解决的技术难点。,33,第三章 零维纳米材料,(4)电子束加热,灯丝,偏转线圈,阳极,e-,HV,电子束加热示意图,34,第三章 零维纳米材料,蒸发源类型,三种典型的蒸发源:克努森(Knudsen)盒型 自由发挥性 坩埚型,35,第三章 零维纳米材料,物理制备方法,物理气相沉积(PVD),真空蒸发 溅射法,单源单层蒸发单源多层蒸发多源反应共蒸发,单离子束(反应)溅射双离子束(反应)溅射多离子束反应共溅射,离子束溅射,直流溅射磁控溅射射频溅射,真空溅射,36,第三章 零维纳米材料,溅射法,基本概念:溅射法是指在真空室中,利用荷能粒子轰击靶材表面,使被轰击出的粒子与惰性气体分子碰撞、冷却而凝结,或
11、与活性气体反应而形成纳米微粒。发展历史:溅射现象早在19世纪就被发现,历史悠久。50年前有人利用溅射现象在实验室中制成薄膜。60年代制成集成电路的钽(Ta)膜,开始了它在工业上的应用。1965年,IBM公司研究出射频溅射法,使绝缘体的溅射制膜成为可能,37,第三章 零维纳米材料,溅射法原理,溅射原理:入射离子的能量在l00eVl0000eV范围时,离子会从固体表面进入固体的内部,与构成固体的原子和电子发生碰撞 碰撞的结果会使原子脱离其原来位置,成为反冲原子 如果反冲原子的一部分到达固体的表面,且具有足够的能量,那么这部分反冲原子就会克服逸出功而飞离固体表面,这种现象即离子溅射,38,第三章 零
12、维纳米材料,溅射沉积,依据荷能粒子产生方法的不同,溅射沉积分成2类:1、真空溅射 在真空室中,利用低压气体放电、利用处于等离子状态下的离子轰击靶表面,溅射出粒子并堆积在基片上2、离子束溅射 也是在真空室中,利用离子束轰击靶表面,溅射出的离子在基片表面成膜 离子束要由特制得离子源产生,其结构复杂,价格昂贵,较少采用,39,第三章 零维纳米材料,溅射沉积的关键问题溅射产额,溅射产额:是指一个入射离子所溅射出的中性原子的数目溅射产额是离子溅射研究中的一个重要问题。它与入射离子的能量、靶材、入射角等因素有关,溅射产额与入射离子能量的关系,40,第三章 零维纳米材料,1、真空溅射,41,第三章 零维纳米
13、材料,物理制备方法,物理气相沉积(PVD),真空蒸发 溅射法,单源单层蒸发单源多层蒸发多源反应共蒸发,单离子束(反应)溅射双离子束(反应)溅射多离子束反应共溅射,离子束溅射,直流溅射磁控溅射射频溅射,真空溅射,42,第三章 零维纳米材料,1、直流二级溅射,1.钟罩 2.阴极屏蔽 3.阴极 4.阳极 5.加热器 6.高压 7.高压屏蔽 8.高压线路 9.基片,直流二极溅射装置(左)和工作(过程)原理图(右),直流二级溅射是最基本最简单的溅射装置。,43,第三章 零维纳米材料,2、磁控溅射,磁控溅射是70年代迅速发展起来的新型溅射技术,目前已在工业生产中应用与二级直流溅射相比,由于磁控溅射的速率提
14、高了一个数量级,具有高速、低温、低损伤等优点,44,第三章 零维纳米材料,磁控溅射的原理,在阴极靶面上建立一个环状磁靶,来控制二次电子能多产生几次碰撞电离,以提高溅射效率。磁控溅射所采用的环形磁场对二次电子的控制更加严密。环状磁场迫使二次电子跳跃式地沿着环状磁场转圈,环状磁场控制的区域是等离子体密度最高的部位。溅射时,溅射气体氩气在这部位发出强烈的淡蓝色辉光,形成光环,光环下的靶材是被离子轰击最严重的部位,会溅射出一条环状的沟槽,45,第三章 零维纳米材料,磁控溅射的优缺点,能量较低的二次电子在靠近靶的封闭等离子体中做循环运动,路程足够长,每个电子使原子电离的机会增加,而且只有在电子的能量耗尽
15、以后才能脱离靶表面落在阳极(基片)上,这是基片升温低、损伤小的主要原因。高密度等离子体被电磁场束缚在靶面附近,不与基片接触。这样电离产生的正离子能十分有效地轰击靶面,基片又免受等离子体的轰击。电子与气体原子的碰撞几率高,因此气体离子化率大大增加。磁控溅射靶的溅射沟槽一旦穿透靶材,就会导致整块靶材报废,所以靶材的利用率不高,一般低于40,这是磁控溅射的主要缺点。,46,第三章 零维纳米材料,3、射频溅射,问题?当靶材为绝缘体,若使用直流溅射,则Ar+离子会在靶表面积蓄,从而使靶面电位升高,结果导致放电停止射频(简称RF):射频就是指射频电流,它是一种高频交流变化电磁波的简称 频率104Hz的称为
16、高频电流,而射频就是这样一种高频电流,47,第三章 零维纳米材料,3、射频溅射(RF溅射),RF溅射的原理 在绝缘材料背面的金属板电极上通以10MHz以上的射频电源,由于在靶上的电容偶合,就会在靶前面产生高频电压,使靶材内部发生极化而产生位移电流,靶表面交替接受正离子和电子轰击 因此,射频溅射可以适用于各种材料,包括石英、玻璃、氧化铝、蓝宝石、金刚石、氮化物、硼化物薄膜等。但大功率的射频电源不仅价格高(成本高),而且对于人身防护也成问题。因此,射频溅射不适于工业生产应用,48,第三章 零维纳米材料,物理制备方法,物理气相沉积(PVD),真空蒸发 溅射法,单源单层蒸发单源多层蒸发多源反应共蒸发,
17、单离子束(反应)溅射双离子束(反应)溅射多离子束反应共溅射,离子束溅射,直流溅射磁控溅射射频溅射,真空溅射,49,第三章 零维纳米材料,离子束溅射,问题?前面介绍的各种方法都是将靶和基片置于等离子体中,因此膜面都要受到气体和带电粒子的冲击,膜的性能受等离子体状态的影响很大。,50,第三章 零维纳米材料,离子束溅射的工作原理,离子束溅射是采用单独的离子源产生轰击靶材的离子 宽束离子源是用热阴极电弧放电产生等离子体。阴极灯丝发射的电子加速到4080eV飞向阳极,并使气体(氩气)电离为等离子体,51,第三章 零维纳米材料,离子束溅射的特点,离子束溅射的优点是能够独立控制轰击离子的能量和束流密度,并且
18、基片不接触等离子体,这些都有利于控制膜层质量。此外,离子束溅射是在真空度比磁控溅射更高的条件下进行的,这有利于降低膜层中的杂质气体的含量离子束镀膜的缺点是镀膜速率太低,只能达到10nm/min左右。这比磁控溅射低一个数量级,所以离子束镀膜不适于镀制大面积工件。这些缺点限制了离子束溅射在工业生产中的应用,52,第三章 零维纳米材料,溅射制膜技术的应用,(一)溅射制膜法的广泛应用性 溅射制膜法适用性非常之广。组成:单质膜、合金膜、化合物膜 结构:多晶膜、单晶膜、非晶膜 物性:光、电、声、磁或优良力学性能的各类功能材料膜,53,第三章 零维纳米材料,溅射制膜技术的应用,(二)高温材料的低温合成。利用
19、溅射技术可在较低温度下制备许多高温材料的薄膜。如TiN、TiC、B4C、BiC、PbTiO3及金刚石薄膜等 以SiC为例,熔点超过2700。通常需在1300-1800 的高温条件下合成,采用气相化学沉积(CVD)也要1330 左右。若用溅射法,则可在约500 得到,54,第三章 零维纳米材料,溅射制膜技术的应用,(三)多层结构的连续形成 用溅射法容易制备化学组成按层变化的多层膜 1、变换放电气体法 同一种靶在不同的放电气体中溅射,就能连续形成纳米多层薄膜。2、多靶轮换法 多靶轮换溅射即在同一个工作室内安装2个以上的不同靶阴极。有的是阳极可以转动,转到与某个靶子相对应的位置进行溅射。也有的是安装
20、主、辅靶,以电路的通断来控制靶子是否被溅射,55,第三章 零维纳米材料,制备方法,气相法液相法固相法,物理气相沉积(PVD)化学气相沉积(CVD),56,第三章 零维纳米材料,化学气相沉积(CVD),基本概念:化学气相沉积是利用气态化合物或化合物的混合物在基体受热面上发生化学反应,从而在基体表面上生成不挥发的涂层CVD技术的优点:沉积层纯度高,沉积层与基体的结合力强,可以沉积各种单晶、多晶或非晶态无机薄膜材料,设备简单,操作方便,工艺上重现性好,适用于批量生产和成本低廉缺点:由于CVD技术是热力学条件决定的热化学过程,一般反应温度多在1000C以上,因此限制了这一技术的应用范围,57,第三章
21、零维纳米材料,CVD的工艺过程,CVD工艺,产生挥发性运载化合物,把挥发性化合物运到沉积区,发生化学反应形成固态产物,由此可见,VCD反应必须满足的三个挥发性条件:反应物必须具有足够高的蒸气压,要保证能以适当的速度被引入 反应室;除了涂层物质之外的其它反应产物必须是挥发性的;沉积物本身必须有足够低的蒸气压,以使其在反应期间能保持在 受热基体上。,58,第三章 零维纳米材料,CVD新技术,金属有机物化学气相沉积(MOCVD)热解化学气相沉积(热解CVD)等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)激光化学气相沉积(LCVD)微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)超声波化学气相沉积(UWCVD)纳米薄膜
22、的低能团簇束沉积(LEBCD),59,第三章 零维纳米材料,制备方法,气相法液相法固相法,物理气相沉积(PVD)化学气相沉积(CVD),60,第三章 零维纳米材料,液相成核机理,液相成核过程涉及在含有可溶性或悬浮盐的水或非水溶液中的化学反应当液体饱和时,沉积借助均相和异相成核机制而生成 均相成核:溶液自发地生成核心的过程 非均相成核:溶液在外来物(如大气中的微尘)的诱导下生成晶核的过程,非均相成核也包括二次成核:在含有溶质晶体的溶液中的成核过程成核后,由扩散控制生长为形成单分散的颗粒,要求所有的核心必须几乎是在同时生成,且进一步生长过程中,无二次核心和团聚出现,61,第三章 零维纳米材料,液相
23、法分类,沉淀法,溶胶-凝胶法,均匀沉淀法,共沉淀法,电解生长,液相法,沉淀转化法,金属醇盐水解法,62,第三章 零维纳米材料,共沉淀法,在含有多种阳离子的溶液中加入沉淀剂后,所有离子完全沉淀的方法称为共沉淀法。根据沉淀的类型可分为单相共沉淀和混合共沉淀。例如:1.在Ba,Ti的硝酸盐溶液中加入草酸沉淀剂后,形成了单相化合物BaTiO(C2H4)24H2O沉淀。经高温分解,可制得BaTiO3的纳米粒子。2.将Y2O3用盐酸溶解得到YCl3,然后将ZrOCl2.8H2O和YCl3配成一定浓度的混合溶液,在其中加入NH4OH后便有Zr(OH)4和Y(OH)3的沉淀形成,经洗涤、脱水、煅烧可制得ZrO
24、2(Y2O3)的纳米粒子。,关键在于:如何使组成材料的多种离子同时沉淀?,高速搅拌过量沉淀剂调节pH值,63,第三章 零维纳米材料,均匀沉淀法,在溶液中加入某种能缓慢生成沉淀剂的物质,使沉淀均匀产生优点:克服了由外部向溶液中加入沉淀剂而造成的沉淀剂局部不均匀的问题,进而沉淀不能在整个溶液中均匀出现的情况例如:在金属盐溶液中采用尿素热分解产生沉淀剂NH4OH,从而促使沉淀均匀生成,64,第三章 零维纳米材料,金属醇盐沉淀法,金属醇盐(溶解在有机溶剂中)与水反应,水解反应生成氢氧化物和氧化物,焙烧后得到氧化物的纳米微粒。例如:,65,第三章 零维纳米材料,液相法分类,沉淀法,溶胶-凝胶法,均匀沉淀
25、法,共沉淀法,电解生长,液相法,沉淀转化法,金属醇盐水解法,66,第三章 零维纳米材料,电解生长,电解法包括水溶液电解和熔盐电解该方法通常可制备很多通常方法不能制备或难以制备的金属超微粉,氧化物纳米微粒,67,第三章 零维纳米材料,液相法分类,沉淀法,溶胶-凝胶法,均匀沉淀法,共沉淀法,电解生长,液相法,沉淀转化法,金属醇盐水解法,68,第三章 零维纳米材料,溶胶-凝胶法,溶胶凝胶法是制备纳米粒子的一种湿化学法。基本原理:将金属醇或无机盐经水解直接形成溶胶或经解凝形成溶胶,然后使溶质聚合凝胶化,再将凝胶干燥、焙烧去除有机成分,最后得到无机纳米材料基本概念:溶胶:胶体颗粒彼此独立地分布在分散介质
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