半导体洁净厂房通风系统设计专业毕业论文.doc
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1、编号(学号):14944004毕 业 设 计 ( 2014届本科)题 目: 沈阳某半导体厂房通风系统设计 学 院: 工程学院 专 业: 建筑环境与设备工程 姓 名: 刘宇飞 指导教师: 孙清 副教授 完成日期: 2014年 05月30日毕业论文(设计)任务书论文(设计)题目沈阳某半导体厂房通风系统设计下发任务日期2013.12.23学生姓名刘宇飞指导教师孙清一.论文(设计)主要内容主要内容包括:(1)通过方案比较,选择送风系统气流组织形式;(2)通过方案比较,选择空调系统形式;(3)通过方案比较,选择送回风口系统形式;(4)通过方案比较,选择新风供给方式;(5)通过方案比较,确定空气吹淋室方案
2、。在确定了设计方案以后,进行设计计算。主要包括:(1)进行风量的计算,包括:新风量的计算、回风量的计算、排风量的计算以及房间所需的送风量的计算;(2)房间冷、热负荷的计算;(3)送回风系统管路水力计算;完成计算后的校核、选型设计内容:(1)对房间的空气温湿度参数进行处理分析以及校核计算;(2)空调机组选型;(3)风机选型;(4)高中低过滤器选型;(5)含尘度的校核计算;(6)风系统的校核计算。二.论文(设计)的基本要求1、有关资料的收集,要求尽量收集第一手资料,资料要真实、可靠、有代表性;2、资料的整理与分析,要求条理清晰,数据分析详尽;3、查阅相关文献,要求贴近主题,有参考价值;4、掌握有关
3、送风系统的设计方法,应包括:冷、热负荷的计算;送风量的计算;风机的选择等;5、掌握洁净厂房空调系统的设计,包括净化空调系统的选择;气流类型的选择等;6、提交一份与专业相关的外文翻译,外文原文不少于6000个印刷符号;提交一份与生物质压缩成型有关的文献综述,不少于3000字;7、认真撰写论文,字数在10000字以上。三.论文(设计)工作进度安排阶段论文(设计)各阶段名称日期1调查收集资料及查阅相关文献2013.12.23-2014.3.32外文翻译,撰写综述,完成开题2014.3.15-2014.4.123完成方案设计和设计计算2014.4.13-2014.4.274期中检查2014.4.28-
4、2014.5.35绘制图纸,校核计算2014.5.4-2014.5.246准备答辩20145.25-2014.6.14备注:论文完成过程中要定期向指导教师汇报。四.应收集的资料及主要参考文献1、收集空调洁净技术的发展现状的有关资料:1王尧. 中国洁净技术将迎来发展新浪潮N. 中国电子报,2007-04-19A14.2魏贻宽. 空气洁净技术的现状与发展动向J. 洁净与空调技术,1994,02:2-5.3许钟麟,孙宁,曹国庆. 空气洁净技术的新发展J. 建筑科学,2013,10:34-40.2、收集净化系统方面的相关资料: 1王新. 洁净厂房净化空调系统的施工及运行维护J. 经营管理者,2009,
5、04:183. 2初春玲 刘琳. 为洁净厂房净化空调系统设计找“毛病”N. 中国医药报,2006-03-09A08. 3、收集空调通风洁净技术设计方面的文献; 4、 洁净厂房的设计与施工. 陈霖新等编著 化学工业出版社,2002.12毕业论文(设计)指导记录学生姓名刘宇飞专业建筑环境与设备工程指导教师姓名孙清职称副教授本年度指导毕业生人数5论文(设计)题目沈阳某半导体厂房通风系统设计时间地点指导内容指 导 过 程2014.01.07建环教研室选题及布置查阅文献任务,说明文献综述格式2014.03.02建环教研室检查文献综述资料查阅情况2014.03.05建环教研室布置外文翻译任务,说明外文翻译
6、格式2014.03.10建环教研室检查文献综述资料查阅情况2014.03.15建环教研室撰写文献综述和外文翻译2014.04.10建环教研室检查文献综述和外文翻译2014.04.12建环教研室开题及要求2014.04.13建环教研室确定设计方案2014.04.26建环教研室准备毕业设计期中检测2014.05.03建环教研室进行期中检测2014.05.04建环教研室进行毕业设计2014.05.15建环教研室绘制图纸2014.05.25建环教研室按照要求撰写论文2014.06.01建环教研室修改论文2014.06.10一教北区论文答辩学生签字:年 月 日 指导教师签字:年 月 日教研室主任签字:
7、年 月 日沈阳农业大学毕业论文(设计)选题审批表选题名称沈阳某半导体厂房通风系统设计题目来源生产实际学号14944004姓名刘宇飞专业建筑环境与设备工程指导教师孙清职称副教授研 究内 容(1)方案选择包括:气流组织形式,空气系统形式,送回风口形式,新风供给方式,空气吹淋室性能的确定。(2)设计计算包括:风量计算,冷热负荷计算,水力计算。(3)设备选型包括:风机选型,空调选型,过滤器选型(4)校核计算:车间含尘度计算,温湿度校核计算,风系统校核计算。研 究计 划2013.12.232014.03.03收集资料,查阅相关文献;2014.03.152014.04.12 撰写文献综述和外文翻译;201
8、4.04.132014.04.27 确定设计方案,进行设计;2014.04.282014.05.03 期中检查;2014.05.042014.05.24 设计计算,绘制草图,校核;2014.05.252014.06.10 撰写论文及修改,准备答辩。特 色参照相关文献通过对各方案分析比较,确定比较合理的设计方案,根据方案选择进行设计计算,根据计算结果合适的设备型号,最后对方案进行校核计算。 指 导 教 师 意 见教 研 室 意 见学 院 意 见沈阳农业大学毕业论文(设计)考核表论文题目: 沈阳某半导体厂房通风系统设计姓名:刘宇飞 学号:14944004 专业:建筑环境与设备工程指导教师评语:指导
9、教师(签字): 年 月 日评阅人评审意见: 评阅人(签字): 年 月 日成绩: 答辩委员会意见:主任委员(签字): 年 月 日注:答辩委员会意见除填写简要评语、给出成绩外,还要提出是否授予学位的建议。目录摘要IAbstractII1.前 言11.1洁净技术概述11.2国内外空气洁净技术的发展差距11.3 空气洁净技术存在问题21.4 本文设计内容及意义42.设计原始资料52.1设计对象52.2气象资料52.3 设计要求53.方案的选择73.1 洁净室房间气流组织方式的确定73.2空调系统形式的选择83.2.1全空气系统83.2.2 空气水系统83.2.3 冷剂式系统83.3送回风口形式的确定9
10、3.4新风供给方式的确定113.5空气吹淋室的设计方案选择114. 设计计算及设备的选型134.1所需新风量的计算134.2 排风量的确定134.3送风量的计算144.4 回风量的确定154.4洁净室的空调参数处理164.4.1冷负荷的计算164.4.2净化房间的送风参数热湿处理分析184.5集中式空调净化系统224.5.1过滤器的选型224.5.2空调机组选型234.5.3风机选型244.6送风含尘浓度计算244.7风系统的设计校核计算255.结论26参考文献27致谢28附录29摘要空气洁净技术是二次世界大战后才开始形成和发展起来的环境工程技术。目前在精密加工、宇航工业、微电子工业等众多工业
11、领域得到广泛应用,并以更加迅猛的发展趋势扩展到医疗、制药、食品、化妆品、无菌培植、遗传工程等生物洁净技术领域。针对建筑物内部空气洁净度的要求,本文利用空调送新风原理,结合沈阳市某半导体厂具体工程,进行通风系统设计,使室内环境及空气洁净度满足规定要求。主要根据洁净厂房所处的地理位置和厂房内部布置,对厂房的送风系统的气流组织形式进行划分;对洁净厂房送风系统进行设计;通过厂房空调形式的要求,对净化空调系统的形式及送回风口系统进行选择,并确定新风供给形式;按照生产对空气洁净度的要求,选择空气吹淋室的设计方案;确定设计方案后,进行风量的计算,包括新风量、回风量、排风量以及房间所需送风量的计算;进行各不同
12、功能车间冷、热负荷的计算;对房间的空气参数和房间的含尘度进行处理分析与校核;最后进行送回风系统管路的水力计算,并根据计算的结果进行空调机组型号、风机类型、以及高中低过滤器型号的选择。本设计对生产实际有一定的参考作用。关键词:空气洁净度;气流组织形式;冷热负荷;水力计算;设备选型AbstractAir purification technology is the Second World War to the formation and development of environmental engineering technology. In precision machining, aer
13、ospace industry, microelectronics industry and many other industrial fields are widely used, and the development tendency in a more rapid expansion to the medical, pharmaceutical, food, cosmetics, aseptic cultivation, genetic engineering, and other areas of the biological clean technology.To the nee
14、d of building interior air cleanliness, use air conditioning a new air circulating principle, this paper combined with the engineering a semiconductor plant in Shenyang, carries on the ventilation system design, make indoor environment and air cleanliness satisfy specified requirements. According to
15、 geographical location and clean workshop in workshop interior layout, the plant air supply system of airflow organization form division; To clean workshop air supply system design; Through the workshop air conditioning form, to purify air conditioning system forms and back to the tuber system selec
16、tion, and determined the form of fresh air supply; According to the requirements of the production of air cleanliness, choose design scheme of air shower; To determine the design scheme, the calculation of air volume, including the new air volume and air volume, air output and calculation of the req
17、uired delivery room; For the different function workshop of cold and heat load calculation; Of room air parameters and room dust degrees of process analysis and checking; Finally back to the wind system pipeline hydraulic calculation, according to the result of calculation and air conditioning unit
18、model, fan type, as well as provide filter model choice. The design of the production practice has a certain reference function.Keywords:Clean air; Airflow organization form; Cold and hot load; Hydraulic calculation; Equipment selection 1.前 言当今世界,微电子和光电子产业是一个国家国民经济和科学技术发展的基础和平台,微电子和光电子产业发展是衡量一个国家经济发
19、展和科学技术水平的重要标志。随着科学技术的不断发展、更新对其生产环境的要求也不断的升级。微电子和光电子产业的飞速发展其中包括洁净室技术的发展以及医疗、制药、食品、化妆品、无菌培植、遗传工程等生物洁净技术领域的应用为洁净技术带来了极大发展,带来了广阔和丰厚的市场,同时也带来研究课题。同时当今世界普遍面临的能源危机,因此,节约能源这也将是我国洁净技术在未来的发展中的一个重要方向。 1.1洁净技术概述空气洁净技术是二次世界大战后才开始形成和发展起来的环境工程技术。目前在精密加工、宇航工业、微电子工业等众多工业领域得到广泛应用,并以更加迅猛的发展趋势扩展到医疗、制药、食品、化妆品、无菌培植、遗传工程等
20、生物洁净技术领域。二战前的精密加工业其精密只在微米级水平上,尚无控制尘埃污染的要求。随着生产水平的提高,首先是军事工业和微加工技术对空气中尘埃粒径的控制要求提到了亚微米级别。对尘埃与产品质量间的关系有了量的概念。于20世纪50年代初结合曼哈顿研究计划,美国宇航工业率先研制成功第一台高效能尘埃粒子过滤器开始,又建成世界第一个高级别平行流空气洁净室,保证了60年代微加工业顺利地跨越了亚微米级外,使胶片的解相力一每毫米宽度能记录下可分辩的单线条数发展到全息干版3000条线。而70年代开始出现的超大规模集成电路,其掩膜厚度已达到十分之几到百分之几微米,电器元件之间的金属联线之宽度一光刻基本图形尺寸,最
21、小达到0.01m。一颗尘埃,即使小到0.01m也能使大规模集成电路片形成针孔或电路切断、短路等事故而报废。微电子工业从一九七五年动态随机存储器DRAM16K到一九九八年的256K,平均每三年容量增加五倍,今后对最小尘埃粒径从目前的0.1m控制技术还要低一至二个数量级。与上述空气洁净技术在深度上不断发展的同时,在生物净化领域得到了更广泛的应用,成为今后主要发展方向和扩展的应用领域。1.2国内外空气洁净技术的发展差距我国空气洁净技术发展自20世纪60年代开始以来,目前已具备了相当的实力,在某些理论研究和应用方面达到了国际先进水平,但同世界上工业发达国家相比仍有不少差跟,主要表现在如下三个方面。首先
22、从空气洁净技术的起步时间和相关技术规范制定时间上看,大约落后了二十年左右。美国从1950年制造出第一台高效能空气过滤装置到一九六一年建成100级平行流洁净室,完成了空气洁净技术领域的关键技术设备和气流组织的理论到实践的完整过程。从60年代开始又率先完成了洁净技术应用方面的相关标准和规范的制定一九六三年颁布厂美国联邦标准F.S.209,一九六七年又颁布了第一个有关微生物净化级别的国家航天与航空管理局标准 (NASA标准)。我国于1984年制定的国家标准GBJ73-84 洁净厂房设计规范,提出了我国的洁净度级别,第一级称3级(相当于F.S.209的100级),第二级称30级,依此类推。可见我国“3
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