先进制造技术4(超精密加工技术)课件.ppt
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1、,先进制造技术(四)超精密加工技术2019310沈阳工业大学,超精密加工技术的发展1、超精密加工的范畴通常按加工精度划分,可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工由于生产技术的不断发展,划分的界限是变化的,过去的精密加工对今天来说已经是普通加工,因此,其划分的界限是相对的,其具体数值是变化的。11983年日本的 Taniguchi教授在考查了许多超精密加工实例的基础上对超精密加工的现状进行了总结,并对其发展趋势进行了预测。把精密和超精密加工的过去、现状和未来归纳为图612所示的几条曲线。这些曲线反映了该领域的发展规律2019310沈阳工业大学,超精密加工技术的发展(系统误差和随机误差)机
2、床(加工设备)测量仪器(检测设备车床、铣床游标卡尺精密车床机械比较仪磨床、研磨机1u10千分尺精密坐标镫床电子、气动测微仪坐标磨床光学比较仪光学磁尺精精密金密101电子比较仪(非接触式激光测长仪x0,olum精密研磨描装置)激光高精度测长仪(多普勒多重干涉仪)超高精密研磨机台阶测量仪、子分子霸超晶格物质合成加工190019201940196019802000年份加工精度的进展2019310沈阳工业大学,超精密加工技术的发展1.超精密加工的范畴要更精确地定义加工精度,除加工误差本身外,还必须说明测定该误差的几何长度或形貌频率。LAngenbeck提出的定性分析微细加工时的曲线。图中斜线部分表示相
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