半导体制程设备供应链及研发图表课件.ppt

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1、,TOEA光電製程丶芈導體製程設備供應鏈與技術研發地圖,TOEA光電製程:1.TFT-Array段(1)板受入前洗淨湶洗淨設備踐鍍機件防著板PEP1 Dense CleanerPhotoPre-Depo Cleaner技鼎A蝕刻機鋁触刻禄式触刻機列車武帆宣(擬開發)Total PitchCD Overlay量測機回火機CD OVEParticle CounterCDOL Measurement技鼎能麒资騰杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA1.TFT-Array段(2)雷射修補機雷射CvD修補機傅機取片CVDLaser rLaser cvd排片/排序榜均素、沛鑫旭束朋均豪、盟立反射率量

2、怏測機Sheet Resist/TEGSheet Resistance银朋美巨量檢測機Surface Profile孚檢測機/覺檢Macro/Micro均泵高僑大銀、宏瀨晶彩、由田大銀、音騰杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,1.TFT-Aray段(3)-周邊設備或其他壓電漿清深設備堆蛋式解包設備巨截自動光機零件,乾蝕刻Plasma CleanDense UnpackAOI System由田良率管理系锍真空 chamber銲按自動傅送系锍Automatic Transfer亞智(擬開漢泰(擬開發输送帶拍照機離子雲倌入機BCEAPConveyReviewoping System羽冠羽冠(擬開發机

3、宣杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,1 TFT-Array段(4)零組件供應澆珠螺稈防菩板銅板铝两板熟器Ball ScrewBacking Plate(for CVD干附千附重板及網板擰散板EUV172光源EUV Excimer Lamp附G.Motor線性馬幸泉性滑轨Linear motoLinear Guideway宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口,TOEA2.TFT-Ce-FEOL段(1)P前洗淨設償P|轉高機P烤煜/P烤爐P轉高後檢查機Pre-PI CleanerPI Inspection System能麒Rubbing MachineCURE OVEN智向友波晶脫泡機膠脫泡機框

4、膠塗佈機C/F Anneal ovenSeal Dispenser巩宣(擬開發)杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA2.TFT-Ce-FEOL段(2)液晶注入機Spacer Prebake帆宣帆宣(擬開强)晶彩(開發)晶彩m PanelUV Cure旭束志聖帆直(開發框膠硬烤爐大基板貼合後Photo Spac框膠塗佈機Seal Main Cure oven工檢查機Seal DispenserPhoto Space陽程巩宣(擬開發)沛鑫旭車、蓟友帆宜陽程(擬開發杠宇代表該設備響租件自國外代理或口,TOEA2.TFT-Ce-FEOL段(3)光阻塗佈影機帆宜宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口,