真空工程理论基础培训讲座课件.ppt

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1、,真空工程理论基础,之一：真空技术的历史、现在与将来 之二：真空工程理论基础之三：科技论文的检索、撰写与发表之四：清洁真空获得技术之五：真空系统设计之六：真空系统设计辅助软件的使用之七：真空测量之八：真空装置与系统的检漏之九：大型真空装置的监测与故障诊断之十：专家座谈之十一：真空获得技术之十二：现代表面与薄膜技术之十三：真空材料与真空卫生之十四：真空技术应用及计算实例,真空工程理论基础 讲授提纲,真空的基本概念真空区域的划分真空的性质与应用真空中的气体流动蒸汽在真空中的性质真空中的电现象气体的宏观性质气体的微观性质结束,真空的基本概念,真空的定义自然真空与人为真空真空技术的历史回顾真空技术的应

2、用领域,真空区域的划分,划分真空区域的必要性真空区域的划分原则 真空物理性质 真空获得技术 真空测量技术 真空应用技术真空区域划分标准,真空区域的划分,划分真空区域的必要性 真空度的范围:105 10-14 Pa(19个数量级)相当于:1 光年 1 mm划分:低真空 中真空 高真空 超高真空,极高真空,真空区域的划分,真空区域的划分原则-真空的物理性质低真空:力学性质,中真空:液体沸点降低,气体放电 高真空:绝热,绝缘,无氧化 超高真空:获得清洁表面,极高真空:宇航,物理研究,真空区域的划分,真空区域的划分原则-真空获得技术低真空:旋片泵,水环泵,滑阀泵中真空:罗茨泵,油增压泵 高真空:扩散泵

3、,分子泵 超高真空:离子泵,升华泵，低温泵,真空区域的划分,真空区域的划分原则-真空测量技术低真空:液位式真空计,指针式真空表中真空:热偶计,电阻计,薄膜规 高真空:热阴极电离计,冷阴极电离计 超高真空:B-A规,极高真空:调制规,弯注规,真空区域的划分,真空区域的划分原则-真空应用技术真空应用设备中(用户自己定义,不规范)前级泵:低真空 次级泵:高真空如:感应炉:油增压泵(高)+滑阀泵(低),真空区域的划分,真空区域划分标准（GB/T3163-2007）低真空(LV):105 102 Pa中真空(MV):102 10-1 Pa高真空(HV):10-1 10-5 Pa超高真空(UHV):10-

4、5 10-9 Pa极高真空(VHV):10-9 10-14 Pa,真空的性质与应用,力学性质沸点降低与蒸发加强绝热、绝缘与隔音作用清洁环境与表面,真空的性质与应用,真空的力学性质真空与大气之间存在压力差约为：1kgf/cm2真空力学性质特点：无处不在，而且均匀恒定，可以作为良好的动力来源。,真空的性质与应用,真空力学性质的应用（1）真空的吸着、夹持、搬运、提升方式：使用吸头、吸盘。特点：结构简单、使用方便、夹持可靠。历史回顾：1651年，马德堡半球实验使用实例：胶印机吸纸；平板玻璃浮法生产线及手工搬运；轧钢厂钢板的翻板机；电视机显象管生产线；电子元件、炮弹的搬运等等。,真空的性质与应用,真空力

5、学性质的应用（2）气流携带方式的动力输送原理：利用二相流。特点：被输送物不与动力机构接触，不受破坏；适合于将各个分散物向集中地输送（气压输送恰好相反）。使用实例：吸尘器；伦敦的邮政信件传递；粮食、冶金配料等颗粒物料的输运；等等。,真空的性质与应用,真空力学性质的应用（3）气压推进方式的动力输送用于液体传送。特点：被输送液体不污染动力机构，适用于腐蚀、粘稠液体的输送。使用实例：真空排污车；医疗中用的真空吸痰器、手术刀吸血；真空铸造、成型、吸塑；化工溶液输送；真空过滤等,真空的性质与应用,沸点降低与蒸发加强在真空中，物质的性质发生变化：液体沸点降低，蒸发升华加强。液面上方大气压等于饱和蒸汽压时液体

6、沸腾，同时飞出液面的分子易于扩散。如：青藏高原大气压力为380Toor，水的沸点为80。铝在一个标准大气压时要2400时才能蒸发，在 10-3 Pa 只要847就大量蒸发。,真空的性质与应用,沸点降低与蒸发加强的应用（1）脱水与干燥在真空环境下，使干燥过程加快。主要用途：干燥粮食；纺织业的纤维干燥；印染的真空去碱；造纸工业中的纸张脱水；水泥预制件的快速干燥；化工行业的真空蒸馏、分馏、浓缩等。,真空的性质与应用,沸点降低与蒸发加强的应用（2）真空冷冻干燥原理：在低温低压环境下，将固体中含有的水分以固体的形式升华除去，从而可以保持固体原有的许多特性。应用实例：医学上的血浆存储（组织工程）；食品、药

7、品、保健品工业中的保鲜干燥处理等。,真空的性质与应用,沸点降低与蒸发加强的应用（3）真空浸渍电力行业中的真空浸渍：电动机、变压器、电容器，同等功率时电压越高，电流越小。为了节省材料，需要提高绝缘等级，即：脱水、脱气，充填满绝缘油等。工艺：先抽空，脱水、脱气，再高压充油、漆。浸渍技术的新应用：人造大理石的变色；木材改造；耐火砖浸沥青。,真空的性质与应用,绝热、绝缘与隔音作用热量的传递方式：辐射、对流和热传导；抽真空的作用：去掉对流和气体热传导；加辐射屏的作用：降低辐射；最终达到绝热的目的。绝热应用实例：暖水瓶；不锈钢保温壶；低温容器（杜瓦瓶）；液氧槽车；超导技术中需要低温环境，离不开真空；电绝缘

8、：真空环境下无导电载体，因而起到绝缘的效果。应用实例：真空开关，无电弧。隔音：无气体传递声音。应用实例：真空玻璃。,真空中气体的流动,气体流动的原因气体流动的状态、特征与判别 粘滞流 过渡流 分子流气体流动的几个概念真空技术基本方程,真空中气体的流动,气体流动的原因当真空管道两端存在着压力差时，气体就会自动的从高压处向低压处扩散，便形成了气体流动。真空中的气体流动是气体自发扩散的结果任何真空系统都是由气源、系统构件及抽气装置组成的，气体从气源经过系统的构件向抽气口源源不断的流动，是动态真空系统的普遍特点。,真空中气体的流动,气体流动的状态与原因湍 流 压力驱动粘滞流 压力驱动过渡流 混合原因分

9、子流 自由扩散,真空中气体的流动,气体流动的状态与特征湍 流 粘滞流 过渡流 分子流,真空中气体的流动,气体流动状态的判别判据雷诺数湍 流粘滞流（层流）克努曾数,真空中气体的流动,气体流动状态的判别粘滞流过渡流分子流,真空中气体的流动,气体流动的几个概念体积流率 qv：（抽气速率、抽速）单位时间内流过管道指定截面的气体体积(m3/s)。气体量G：气体压力与体积的乘积(Pa m3)。流量qG：单位时间内通过管道某一截面的气体量(Pa m3/s)。,真空中气体的流动,气体流动的几个概念流量连续方程：在稳定流动状态下，通过管道各截面上的气体流量相等。,真空中气体的流动,气体流动的几个概念流导定义：在

10、单位压差下，流经一段管道的气流量大小，称为该管道的流导，又叫通导能力。是一个反映管道允许流过气体能力大小的参数，具有体积流率的量纲（m3/s）。公式：一段管道的流导等于通过管道的气体流量与管道两端的压力差之比,真空中气体的流动,气体流动的几个概念流导性质：元件的流导与所流过气体的流动状态有关：粘滞流态时，流导值与元件的几何结构尺寸及流过气体的平均压力有关；分子流态时，流导值仅与元件的几何结构尺寸有关。用途：流导是各种真空系统元件（管道、阀门、冷阱等）的主要技术指标之一，直接反映元件对气体流动的阻碍程度。是真空系统设计与计算中需要首先计算的重要参数。,真空中气体的流动,气体流动的几个概念流导并联

11、元件的总流导等于各分支流导的和串联元件的总流导的倒数等于各元件流导的倒数之和：,真空中气体的流动,气体流动的几个概念真空技术基本方程,蒸汽在真空中的性质,蒸汽的概念饱和蒸汽压蒸汽对真空的影响水蒸气蒸汽的汽化潜热,蒸汽在真空中的性质,蒸汽的概念又称可凝性气体，是相对永久性气体而言的。对于任何一种气体都有一个临界温度，处在临界温度以上的气体，不能通过等温压缩发生液化，称为永久气体；而在临界温度以下的气体，靠单纯增加压力即能使其液化，便是蒸汽。,蒸汽在真空中的性质,饱和蒸汽压封闭空间中，蒸汽与液体（固体）达到动态平衡时所保持的状态称为饱和状态，此时的蒸汽压力称为对应当时温度下的饱和蒸汽压，当时的温度

12、则称为饱和温度，即对应当时压力的沸点。饱和蒸汽压与饱和温度的一一对应关系，由物质性质所决定。,蒸汽在真空中的性质,蒸汽对真空的影响挥发性强的物质相当于放气源，常常会限制系统极限真空度的提高，极限压力不会低于最高的饱和蒸汽压。系统各部分温度不同时，系统中蒸汽的分压力与最低温度的饱和蒸汽压相等，多余的蒸汽物质将凝聚在最低温度表面上。（低温泵、冷阱提高真空度的原理,冻干）,蒸汽在真空中的性质,水蒸气抽除水蒸汽是真空技术中的一个难题饱和蒸汽压受压缩时发生液化这一性质常给容积式真空泵的抽气带来困难，最突出的就是水蒸气的抽除问题。（气镇原理，热泵）水蒸气的存在也会影响到压缩式真空计（麦氏计）的精确使用。水

13、蒸气在表面的吸附不易脱附，为尽快排出水蒸气，可以采用烘烤、干燥气体清洗等措施。,蒸汽在真空中的性质,蒸汽的汽化潜热液体在真空中蒸发变成蒸汽时需要吸收的热量，称为汽化热。要使液体汽化（固体升华），需要提供足够的热量。（真空冷冻干燥也要加热）液体蒸发吸收热量，有降温作用。如蔬菜水果保鲜，脱水降温，蒸发制冷。积水蒸发结冰现象。,真空中的电现象,电子发射气体放电荷能粒子与表面间的作用,真空中的电现象,电子发射真空中电子的两种来源从中学学习物理时开始，我们就已经习惯于这样的描述：“一个带电粒子无碰撞地在空间运动。”你可曾想过？这个允许粒子自由运动的空间必须是高真空环境，而那个带电粒子则是由金属电极向空间

14、发射出的电子，或者是在气体放电过程中因碰撞产生的电子或离子。实际上，有许多电现象是与真空密切相关的。,真空中的电现象,电子发射定义与分类 定义：固体内的自由电子，在某种外界因素的作用下逸出固体表面进入周围真空空间的过程，称为固体的电子发射。分类：热电子发射 场致发射 光电子发射 二次电子发射,真空中的电现象,气体放电定义与装置定义：所谓气体放电，就是空间气体中有宏观电流流过的气体导电现象。直流 放电 装置,真空中的电现象,气体放电伏安特性曲线与分类分类：直流放电汤生放电辉光放电弧光放电,真空中的电现象,气体放电其它形式放电射频放电（R.F.13.56MH）绝缘材料电极的放电磁控放电 以磁场约束

15、电子，实现低电压、低气压、低温度下的气体放电潘宁放电，空心阴极放电,真空中的电现象,气体放电粒子间的作用电离过程 激发过程 附着过程 复合过程,真空中的电现象,气体放电破裂电压与巴邢定律 由黑暗放电转 为光亮放电的 突变过程称之 为破裂（或着 火，点燃、击 穿、起辉）,真空中的电现象,荷能粒子与表面间的作用荷能粒子：诱导脱附：电子轰击去气加热：电子束熔炼溅射：镀膜,气体的宏观性质,表示气体宏观性质的物理量气体三定律理想气体状态方程道尔顿定律,气体的宏观性质,表示气体宏观性质的物理量 压力 p/Pa 温度 T/K（关于真空中的温度）体积 V/m3 质量 m/kg 密度/kgm-3（分子数密度 n

16、）,气体的宏观性质,气体宏观性质间的关系 气体三定律波义耳马略特定律盖吕萨克定律查理定律,气体的宏观性质,气体三定律的应用用法：针对由一个恒值过程联结的两个气体状态，已知3个参数，求第4个参数。例题：初始压力和体积分别为p1，V1的气体，经等温膨胀后体积变为V2，膨胀后的气体压力为（有害空间计算）例题：计算钢瓶中的气体可以使用多长时间,气体的宏观性质,气体三定律的扩展将三个定律联合起来，可得到：应用方法与前面相同，但不限于恒值过程,气体的宏观性质,理想气体状态方程反映p、V、T、m 各参量简单关系：普适气体常数气体摩尔质量/kgmol-1波尔兹曼常数,气体的宏观性质,理想气体状态方程的扩展质量

17、：密度：分子数密度：,气体的宏观性质,道尔顿定律相互不起化学作用的混合气体的总压力等于各种气体分压力之和。分压力：混合气体中某一组分气体的分压力，是指这种气体单独存在时所能产生的压力。,气体的微观性质,气体微观性质的定性与定量描述麦克斯韦速度分布与三种速度理想气体压力基本公式分子间碰撞次数粒子的平均自由程与自由程分布率分子与器壁的碰撞与反射气体平衡条件,气体的微观性质,东北大学真空技术培训班系列教程,气体微观性质的定性描述气体是由无数个彼此独立、微小的气体分子共同组成的。分子在空间的密度很大；每个气体分子的直径或所占空间的体积很小；和分子直径相比，各个气体分子间相距较远，且彼此独立；每个分子都

18、以不同的速度在空间飞行，且频繁地与其它分子或周围物质表面发生碰撞。,气体的微观性质,东北大学真空技术培训班系列教程,气体微观性质的定量描述,空气气体分子直径：3.710-10 m 一个分子的质量：4.8 10-26 kg 20，1个大气压时 气体密度：=1.18 kg/m3 p 分子数密度 n=2.51019/cm3 p 平均速度 c=463 m/s T 平均自由程=6.5 10-8 m 1/p 平均碰撞次数 Z=3 10-23/s p 单位时间碰壁数=3 1023/cm2 s p,气体微观性质的定量描述麦克斯韦速度分布,处于平衡状态的理想气体分子，其热运动速度的分布服从麦克斯韦速度分布定律气

19、体分子热运动速率介于vv+dv间的几率为,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,速度分布函数，速度分布曲线,气体微观性质的定量描述 三种速度,最可几速率 算术平均速度均方根速度,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,气体微观性质的定量描述 理想气体压力基本公式,气体宏观性质与微观性质之间的联系,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,气体微观性质的定量描述 分子间碰撞次数,一个理想气体分子，单位时间内与其它气体分子间的平均碰撞次数,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,分子间碰撞的结果：气体能够自由地向密度低的地方扩散；使相连通的容器内，各处压力趋于相同，

20、温度趋于一致。,气体微观性质的定量描述 粒子的平均自由程,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,单一种类气体 分子含有k种成份的混合气体电子离子,气体微观性质的定量描述 自由程大于给定长度x的几率,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,气体分子电子离子,气体微观性质的定量描述自由程分布率的应用,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,电子、离子在残余气体中的散失率 pe Pe（e x）pi Pi（e x）由散失率决定残余气体压强,气体微观性质的定量描述 分子与器壁的碰撞,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,数量：气体分子对表面的入射率方向：余弦入射定律

21、若一立体角与面积元的法线间的夹角为，则单位时间内由该方向飞来碰撞到单位面积上的气体分子数目与Cos成正比,气体微观性质的定量描述 分子从器壁的反射,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,克努曾定律：气体分子飞离固体表面时的方向分布及数量应与入射相一致。应用：蒸发镀膜的膜厚分布计算 物质蒸发速率的计算,气体微观性质的定量描述 气体平衡条件,东北大学真空技术培训班系列教程,气体的微观性质,在低真空条件下，即粘滞流态时，二容器的平衡条件是压力相等 在高真空条件下，即分子流态时，二容器内气体平衡条件是连通处入射率相等,（不同温度时）,结束,再见!,1、不是井里没有水，而是你挖的不够深。不是成

22、功来得慢，而是你努力的不够多。2、孤单一人的时间使自己变得优秀，给来的人一个惊喜，也给自己一个好的交代。3、命运给你一个比别人低的起点是想告诉你，让你用你的一生去奋斗出一个绝地反击的故事，所以有什么理由不努力!4、心中没有过分的贪求，自然苦就少。口里不说多余的话，自然祸就少。腹内的食物能减少，自然病就少。思绪中没有过分欲，自然忧就少。大悲是无泪的，同样大悟无言。缘来尽量要惜，缘尽就放。人生本来就空，对人家笑笑，对自己笑笑，笑着看天下，看日出日落，花谢花开，岂不自在，哪里来的尘埃!5、心情就像衣服，脏了就拿去洗洗，晒晒，阳光自然就会蔓延开来。阳光那么好，何必自寻烦恼，过好每一个当下，一万个美丽的

23、未来抵不过一个温暖的现在。6、无论你正遭遇着什么，你都要从落魄中站起来重振旗鼓，要继续保持热忱，要继续保持微笑，就像从未受伤过一样。7、生命的美丽，永远展现在她的进取之中;就像大树的美丽，是展现在它负势向上高耸入云的蓬勃生机中;像雄鹰的美丽，是展现在它搏风击雨如苍天之魂的翱翔中;像江河的美丽，是展现在它波涛汹涌一泻千里的奔流中。8、有些事，不可避免地发生，阴晴圆缺皆有规律，我们只能坦然地接受;有些事，只要你愿意努力，矢志不渝地付出，就能慢慢改变它的轨迹。9、与其埋怨世界，不如改变自己。管好自己的心，做好自己的事，比什么都强。人生无完美，曲折亦风景。别把失去看得过重，放弃是另一种拥有;不要经常艳

24、羡他人，人做到了，心悟到了，相信属于你的风景就在下一个拐弯处。10、有些事想开了，你就会明白，在世上，你就是你，你痛痛你自己，你累累你自己，就算有人同情你，那又怎样，最后收拾残局的还是要靠你自己。11、人生的某些障碍，你是逃不掉的。与其费尽周折绕过去，不如勇敢地攀登，或许这会铸就你人生的高点。12、有些压力总是得自己扛过去，说出来就成了充满负能量的抱怨。寻求安慰也无济于事，还徒增了别人的烦恼。13、认识到我们的所见所闻都是假象，认识到此生都是虚幻，我们才能真正认识到佛法的真相。钱多了会压死你，你承受得了吗?带，带不走，放，放不下。时时刻刻发悲心，饶益众生为他人。14、梦想总是跑在我的前面。努力

25、追寻它们，为了那一瞬间的同步，这就是动人的生命奇迹。15、懒惰不会让你一下子跌倒，但会在不知不觉中减少你的收获;勤奋也不会让你一夜成功，但会在不知不觉中积累你的成果。人生需要挑战，更需要坚持和勤奋!16、人生在世：可以缺钱，但不能缺德;可以失言，但不能失信;可以倒下，但不能跪下;可以求名，但不能盗名;可以低落，但不能堕落;可以放松，但不能放纵;可以虚荣，但不能虚伪;可以平凡，但不能平庸;可以浪漫，但不能浪荡;可以生气，但不能生事。17、人生没有笔直路，当你感到迷茫、失落时，找几部这种充满正能量的电影，坐下来静静欣赏，去发现生命中真正重要的东西。18、在人生的舞台上，当有人愿意在台下陪你度过无数

26、个没有未来的夜时，你就更想展现精彩绝伦的自己。但愿每个被努力支撑的灵魂能吸引更多的人同行。,1、想要体面生活，又觉得打拼辛苦；想要健康身体，又无法坚持运动。人最失败的，莫过于对自己不负责任，连答应自己的事都办不到，又何必抱怨这个世界都和你作对？人生的道理很简单，你想要什么，就去付出足够的努力。2、时间是最公平的，活一天就拥有24小时，差别只是珍惜。你若不相信努力和时光，时光一定第一个辜负你。有梦想就立刻行动，因为现在过的每一天，都是余生中最年轻的一天。3、无论正在经历什么，都请不要轻言放弃，因为从来没有一种坚持会被辜负。谁的人生不是荆棘前行，生活从来不会一蹴而就，也不会永远安稳，只要努力，就能

27、做独一无二平凡可贵的自己。4、努力本就是年轻人应有的状态，是件充实且美好的事，可一旦有了表演的成分，就会显得廉价，努力，不该是为了朋友圈多获得几个赞，不该是每次长篇赘述后的自我感动，它是一件平凡而自然而然的事，最佳的努力不过是：但行好事，莫问前程。愿努力，成就更好的你！5、付出努力却没能实现的梦想，爱了很久却没能在一起的人，活得用力却平淡寂寞的青春，遗憾是每一次小的挫折，它磨去最初柔软的心智、让我们懂得累积时间的力量；那些孤独沉寂的时光，让我们学会守候内心的平和与坚定。那些脆弱的不完美，都会在努力和坚持下，改变模样。6、人生中总会有一段艰难的路，需要自己独自走完，没人帮助，没人陪伴，不必畏惧，

28、昂头走过去就是了，经历所有的挫折与磨难，你会发现，自己远比想象中要强大得多。多走弯路，才会找到捷径，经历也是人生，修炼一颗强大的内心，做更好的自己！7、“一定要成功”这种内在的推动力是我们生命中最神奇最有趣的东西。一个人要做成大事，绝不能缺少这种力量，因为这种力量能够驱动人不停地提高自己的能力。一个人只有先在心里肯定自己，相信自己，才能成就自己！8、人生的旅途中，最清晰的脚印，往往印在最泥泞的路上，所以，别畏惧暂时的困顿，即使无人鼓掌，也要全情投入，优雅坚持。真正改变命运的，并不是等来的机遇，而是我们的态度。9、这世上没有所谓的天才，也没有不劳而获的回报，你所看到的每个光鲜人物，其背后都付出了

29、令人震惊的努力。请相信，你的潜力还远远没有爆发出来，不要给自己的人生设限，你自以为的极限，只是别人的起点。写给渴望突破瓶颈、实现快速跨越的你。10、生活中，有人给予帮助，那是幸运，没人给予帮助，那是命运。我们要学会在幸运青睐自己的时候学会感恩，在命运磨练自己的时候学会坚韧。这既是对自己的尊重，也是对自己的负责。11、失败不可怕，可怕的是从来没有努力过，还怡然自得地安慰自己，连一点点的懊悔都被麻木所掩盖下去。不能怕，没什么比自己背叛自己更可怕。12、跌倒了，一定要爬起来。不爬起来，别人会看不起你，你自己也会失去机会。在人前微笑，在人后落泪，可这是每个人都要学会的成长。13、要相信，这个世界上永远

30、能够依靠的只有你自己。所以，管别人怎么看，坚持自己的坚持，直到坚持不下去为止。14、也许你想要的未来在别人眼里不值一提，也许你已经很努力了可还是有人不满意，也许你的理想离你的距离从来没有拉近过.但请你继续向前走，因为别人看不到你的努力，你却始终看得见自己。15、所有的辉煌和伟大，一定伴随着挫折和跌倒；所有的风光背后，一定都是一串串揉和着泪水和汗水的脚印。16、成功的反义词不是失败，而是从未行动。有一天你总会明白，遗憾比失败更让你难以面对。17、没有一件事情可以一下子把你打垮，也不会有一件事情可以让你一步登天，慢慢走，慢慢看，生命是一个慢慢累积的过程。18、努力也许不等于成功，可是那段追逐梦想的努力，会让你找到一个更好的自己，一个沉默努力充实安静的自己。19、你相信梦想，梦想才会相信你。有一种落差是，你配不上自己的野心，也辜负了所受的苦难。20、生活不会按你想要的方式进行，它会给你一段时间，让你孤独、迷茫又沉默忧郁。但如果靠这段时间跟自己独处，多看一本书，去做可以做的事，放下过去的人，等你度过低潮，那些独处的时光必定能照亮你的路，也是这些不堪陪你成熟。所以，现在没那么糟，看似生活对你的亏欠，其实都是祝愿。,