CMOS电路与逻辑设计课件.ppt
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1、2004.9,VLSI,第四章,CMOS,电路与逻辑设计,?,MOS,晶体管,?,MOS,的物理结构,?,CMOS,版图与设计规则,?,基本,CMOS,逻辑门,?,基本门版图设计,?,其他,CMOS,逻辑结构,2004.9,VLSI,4.1 MOS,的物理结构,?,IC,制造材料,?,MOS,的物理结构,?,串联,nMOS,管硅片图形,?,并联,MOS,管图形,2004.9,VLSI,1.IC,制造材料,集成电路制造所应用到的材料分类,分类,材料,电导率,导体,铝、金、钨、铜等,10,5,S,cm,-1,半导体,硅、锗、砷化镓、磷化铟等,10,-22,10,-14,S,cm,-1,绝缘体,Si
2、O,2,、,SiON,、,Si,3,N,4,等,10,-9,10,2,S,cm,-1,2004.9,VLSI,IC,制造材料,硅,?,硅是集成电路制造的基础材料。硅集成电路是在称,为园片,(wafer),的较大圆形硅薄片上制造的。,Wafer,的,直径一般,100-300mm,,厚约,0.4-0.7mm,。一个规模较大,的硅集成电路每边约,10mm,,所以一个,wafer,上可以制,作许许多多个这样的电路,?,多目标芯片,(MPW),?,集成电路制造过程中,,wafer,从抛光的裸表面开始,需要几千个步骤,这一系列步骤中最重要的几个步骤,是用来形成,cmos,结构所需要的材料层及其图案。其余,
3、大多数步骤是清洗。,aafer,是分组进行加工的,一批,wafer,经过整个工艺线需要几周的时间。,2004.9,VLSI,IC,制造材料,?,金属材料:铝,铬,钛,钼,,铊,钨等纯金属和合金薄层,在,VLSI,制造中起着重要作用,,纯金属薄层用于制作与工作,区的连线,器件间互联线,,栅及电容、电感、传输线的,电极等。,?,二氧化硅:用作,mos,管的栅氧层,是一种很好的电,绝缘材料,能很好的附着在大多数材料上,可以生长,或淀积在硅圆片上。,2004.9,VLSI,IC,制造材料,?,多晶硅:如果在非晶体,SiO2,层上淀积硅原子,那,么硅就会结晶,但却找不到与之对应的可以参照的,典型晶体结构
4、。他们形成小的晶体,即为硅晶体的,小区域。这样的材料称为多晶硅。,?,多晶硅与单晶硅都是硅原子的集合体且其特性都,随结晶度与杂质原子而改变。非掺杂的多晶硅薄层,实质上是半绝缘的,电阻率为,300,cm,。通过不同,杂质的组合,多晶硅的电阻率可被控制在,500,0.005,cm,多晶硅被广泛用于电子工业。在,MOS,及,双极器件中,多晶硅用制作栅极、形成源极与漏极,(双极器件的基区与发射区)的欧姆接触、基本连,线、薄,PN,结的扩散源、高值电阻等。,2004.9,VLSI,2.MOS,的物理结构,2004.9,VLSI,金属层,加上另一层绝缘层和第二层金属层,?,侧视图显示叠放顺序,?,绝缘层将
5、两层金属分隔开,所以他们在电器上不同,?,每层的图形由顶视图表示,2004.9,VLSI,nFET,结构,2004.9,VLSI,pFET,结构,n,陷,2004.9,VLSI,选择区与有源区,有源区掩模与,nSELECT,掩模,交叉产生,n+,区,FOX:,场氧区,Active,:有源区,有源区掩模与,pSELECT,掩模,交叉产生,p+,区,2004.9,VLSI,金属层与过孔,剖面图,2004.9,VLSI,金属层,1,与接触区,金属层,1,氧化层,1,有源区,有源选择区,金属层,1,有源接触区,可以使用多,个接触来降,低接触电阻,2004.9,VLSI,金属层,1,与多晶接触,顶视图,
6、2004.9,VLSI,3.CMOS,中的闩锁(,Latch up,)现象,Latch up,是,cmos,存在的一,种寄生电路效应,它会导,致,V,DD,与,V,SS,短路,使芯片,烧毁或至少因系统电源关,闭而停止工作。产生的原,因是,V,DD,与,V,SS,之间产生了,pnpn,结构。,图,(a),所示,CMOS,反相器,,其寄生电路包含了一个,NPN,型、一个,PNP,型三极,管和电阻,R,w,、,R,s,。,R,w,是,p,陷,(p,衬底,),的电阻,R,s,是型衬底的电阻,等效电路如图,(b),。,2004.9,VLSI,Latch up,T1,由,P+,N,衬,P,陷构成,,是,P
7、NP,型三极管;,T2,由,N,衬,P,陷,P+,构成,是,NPP,型三极管;,如果有足够大的电流流,入,N,型衬底而从,P,陷流出,(即流过,R,s,),,R,s,两端,的电压将可能足够大使,得,T1,、,T2,进入线性区而,如同一个小电阻,使,V,DD,与,V,SS,之间短路而导致电,路故障。,同样的情况也可能发生,在,R,w,上而造成电路故障。,2004.9,VLSI,Latch up,减少发生,Latch up,效应的一般规则:,1.,每个衬底要有适当的衬底节点(或陷节点),2.,每个衬底节点应接到传输电源的金属上,3.,衬底节点要尽量靠近所接的电源,以减小,R,w,和,R,s,的大小
8、。,4.,N,型器件要靠近,V,SS,,,p,型器件要靠近,V,DD,。,5.,一个,N,型器件连接到,V,SS,时,其,P,衬底也要接,V,SS,。一个,P,型器件连接到,V,DD,时,其,N,衬底也要接,V,DD,。,最容易发生,Latch up,的地方是在输入输出焊接区(,I/O Pad,),结构中,因为那里会有大电流流过。统常,I/O Pad,由专门人员设,计。,2004.9,VLSI,4.,串联,nMOS,管硅片图形,电路图,表面视图,侧视图,串联,nMOS,管硅片图形,2004.9,VLSI,5.,并联,MOS,管图形,电路图,表面视图,电路图,表面视图,并,联,M,O,S,管,图
9、,形,多晶,n+/p+,金属,接触,2004.9,VLSI,4.2 CMOS,版图与设计规则,版图设计的作用是确定一组掩模来定义集成电,路。版图设计是运用,CAD,工具完成的,类似于用一,组彩笔在一张格纸上话许多方框。,现代版图设计中,一些电路单元的版图已做好,并存在库中。具体设计电路时,可以改变单元的参,数来适应需求尺寸,计算机自动生成每层的几何图,形。电路有多个单元时,程序会自动排列或连接他,们。设计者只需要对自动生成的版图互动地进行修,改。,设计者必须直接把握重要单元的版图设计,尤,其是当版图要小或电路运行速度要快的情况下。,2004.9,VLSI,版图与设计规则,版图,(Layout)
10、,是集成电路设计者将设计并仿真优化后的电路,转化成的一系列几何图形,它包含了集成电路尺寸大小、各层拓,扑定义等有关器件的所有物理信息。集成电路制造厂家根据这些,信息来制造掩膜。,版图的设计有特定的规则,这些规则是指导版,图掩模设计的对几何尺寸的一组规定。,是集成电路制造厂家根据,自己的工艺特点而制定的。因此不同的工艺,就有不同的设计规,则。设计者只有得到了厂家提供的规则以后,才能开始设计。版,图在设计的过程中要进行定期的检查,避免错误的积累而导致难,以修改。很多集成电路的设计软件都有设计版图的功能,,CadenceDesign System,就是其中最突出的一种。,Cadence,提供称之,为
11、,Virtuoso,的版图设计软件帮助设计者在图形方式下绘制版图。,2004.9,VLSI,版图与设计规则,?,集成电路的制造必然受到工艺技术水平的限制,,受到器件物理参数的制约,为了保证器件正确工作,和提高芯片的成品率,要求设计者在版图设计时遵,循一定的设计规则,这些设计规则直接由流片厂家,提供。设计规则(,design rule,)是版图设计和工艺,之间的接口。,?,设计规则可划分为,4,种主要类别:,?,最小宽度,?,最小间距,?,最小交叠,2004.9,VLSI,设计规则,一组设计规则可能要,100,页或更多的文件来说明,,因,此需要相当长的时间去了解。不同的工艺有不同的设计,规则。一
12、些工厂如,TSMC,(台湾半导体制造公司)为许多,大的公司和资金充足的客户提供服务以实现他们的设计。,由于用户面很广,,大多数工厂允客户提交一组比较简单,的设计规则的设计,这些规则可以很容易地进行缩放,,以适应不同的工艺。这样的设计规则称为,设计规则。,设计规则依据一个参照量,(单位,:,微米),所有的,宽度、间距等都写成如下形式:,值,=,m,m,是比例因子。,2004.9,VLSI,设计规则,?,设计规则隐含地假设了每个掩模最坏的绝对校准低于,0.75,,这就保证了两个研磨的相对未校准量低于,0.15,。,?,如图所示,,设计规则规定:,电路中任何两个区,域的最小间距为,2,,,以防止由于
13、重叠引,发破坏性短路。多,晶硅必须延伸到作,用区外至少,2,。,作用区包围接触区,距离至少为,1,。,2004.9,VLSI,1.,最小宽度,(minWidth),最小宽度指封闭几何图形的内边之间的距离如图所示。在利用,DRC(,设计规则检查,),对版图进行几何规则检查时,对于宽度低于,规则中指定的最小宽度的几何图形,计算机将给出错误提示。,2004.9,VLSI,最小宽度,TSMC_0.3,5,m,CMOS,工艺,中各版图,层的线条,最小宽度,对于,0.35,m,工艺,,=0.2,m,2004.9,VLSI,2.,最小间距,(minSep),间距指各几何图形外边界之间的距离,如图所示:,20
14、04.9,VLSI,最小间距,TSMC_0.35,m CMOS,工艺版图各层图形之间的最小间隔,2004.9,VLSI,3.,最小交叠,(minOverlap),交迭有两种形式:,a),一几何图形内边界到另一图形的内边界长度,(overlap),,如,图,(a),b),一几何图形外边界到另一图形的内边界长度,(extension),,如,图,(b),2004.9,VLSI,最小交叠,TSMC_0.35,m CMOS,工艺版图各层图形之间最小交叠,2004.9,VLSI,4.4,单位晶体管设计,单位晶体管:全定制版图设计的起点。单位晶体管是一个,具有规定宽长比(,W/L,)的晶体管,可以按要求在
15、版图上复制。,一种单位晶体管是运用设计规则设计的最小尺寸,MOS,管,,W=W,min,、,L=L,min,。如图。,用最小尺寸晶体管理论上可以得到最高的集成度,但不一,定是每个电路的最好选择。,L,W,n+/p+,2004.9,VLSI,最小尺寸晶体管,实际的晶体管有源,区要与金属层连接,需,要增加有源接触。,沟道长度不变,但,由于接触孔的存在,沟,道的最小宽度为:,W=d,c,+2s,a-ac,d,c,:接触的尺寸,s,a-ac,:在有源区和有源区接触之间的间距,2004.9,VLSI,单位晶体管的串联,单位晶体管可以进行技术放大,L,L,W,L,L,2W,2004.9,VLSI,单位晶体
16、管的并联,沟道宽度为,W,异族管子,并行连接,构成的管子,沟道实际宽度为,4W,。,2004.9,VLSI,4.4,基本,CMOS,逻辑门,pullup,network,pulldown,network,V,DD,V,SS,out,inputs,CMOS,逻辑门结构:,pMOS,nMOS,2004.9,VLSI,1.CMOS,反相器(,Inverter,),2004.9,VLSI,CMOS,与非门(,NAND gate,),2004.9,VLSI,CMOS,或非门(,NOR gate,),2004.9,VLSI,CMOS,复合门(,AOI/OAI gates,),?,AOI=and/or/in
17、vert;OAI=or/and/invert.,?,Implement larger functions.,?,Pullup and pulldown networks are compact:,smaller area,higher speed than NAND/NOR,network equivalents.,?,AOI312:and 3 inputs,and 1 input(dummy),and,2 inputs;or together these terms;then invert.,2004.9,VLSI,AOI example1,circuit,symbol,and,or,inv
18、ert,c,b,a,out,?,?,?,2004.9,VLSI,AOI example2,?,?,d,c,b,a,x,?,?,?,?,2004.9,VLSI,异或门和异或非门,异或门,异或非门,2004.9,VLSI,同步,RS,触发器,2004.9,VLSI,Pullup/pulldown network design,?,Pullup and pulldown networks are duals.,?,To design one gate,first design one network,then compute dual to get other network.,?,Example:
19、design network which pulls down,when output should be 0,then find dual to get,pullup network.,2004.9,VLSI,Dual network construction,2004.9,VLSI,2.CMOS,传输门,(TG),nMOS,增强型,pMOS,增强型,nMOS,的特点:,阈值电压,V,Tn,大于,0,,典,型值约,0.50.7V,。,V,GSn,V,Tn,:导通,V,GSn,V,Tn,:截至,栅源电压,V,GSn,是决定管子截至还是导通的重要参数。,pMOS,的特点:,阈值电压,V,Tp,小
20、于,0,,典型,值约,-0.5-0.8V,。,V,GSp,V,Tp,:导通,V,GSp,V,Tp,:截至,2004.9,VLSI,nMOS,增强型的阈值电压,nMOS,增强型的阈值电压,V,DD,V,Tn,0,V,i,(A),NMOS ON,NMOS OFF,V,DD,+,V,GSn,-,V,i,(A),漏,源,2004.9,VLSI,pMOS,增强型的阈值电压,pMOS,增强型的阈值电压,V,DD,V,GSp,-,V,Tp,0,V,i,(A),pMOS OFF,pMOS ON,V,DD,-,V,GSp,+,V,i,(A),漏,源,地,2004.9,VLSI,CMOS,传输门,(TG),一个理
21、想的开关允许通过任何输入这个开关,的电压,传送逻辑,0,和逻辑,1,的情况一样好。,nMOS,、,pMOS,管的导通能力有限,不能使任,意范围的电压通过源漏之间。,2004.9,VLSI,nMOS,传送一个强的“,0,”,V,DD,+,V,GSn,-,in,out,+,V,in,=0V,-,+,V,out,=0V,-,V,DD,+,V,Tn,-,in,out,+,V,in,=V,DD,-,+,V,out,=V,DD,-V,Tn,-,传送逻辑,0,传送逻辑,1,V,GSn,V,Tn,:导通,V,GSn,V,Tn,:截至,nMOS,传送一个强的“,0”,、一个弱的“,1”,2004.9,VLSI,
22、pMOS,传送一个强的“,1,”,传送逻辑,1,传送逻辑,0,V,GSn,V,Tn,:导通,V,GSn,V,Tn,:截至,pMOS,传送一个强的“,1”,、一个弱的“,0”,+,V,GSp,-,in,out,+,V,in,=V,DD,-,+,V,out,=V,DD,-,+,V,Tp,-,in,out,+,V,in,=0V,-,+,V,out,=V,Tp,-,2004.9,VLSI,CMOS,传输门,(TG),传输门,S=0,:,Mp,、,Mn,均截至,,x,不能传输到,y,S=1,:,Mp,、,Mn,均导通,,x=y,2004.9,VLSI,基于,TG,的,MUX,2-1MUX,S,TG0,T
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