微电子学专业介绍课件.ppt

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1、内容,什么是微电子学？我们的条件是什么？学习什么知识？毕业后去哪里？,什么是微电子学？,微（微小、微观）电子学 micro-electronics micro-meter(m),微电子学的特点包括:（1）它是电子学的一门分支学科（2）以实现电路和系统的集成为目的，故实用性极强（3）其空间尺度通常是以微米（um，1um=10-6m）和纳米（nm，1nm=10-9m）为单位的（4）它是信息领域的重要基础学科（5）微电子学是一门综合性很强的边缘学科,涉及物理、化学、电路理论、信号处理、和计算机等多个学科（6）微电子学是一门发展极为迅速的学科，高集成度、低功耗、高可靠性是微电子学的发展方向（7）微电子

2、学的渗透性极强，它可以与其它学科结合而诞生出一系列新的交叉学科，例如微机电系统（MEMS）、生物芯片等,微电子学 学科：理学门类：电子信息科学类专业名称：微电子学业务培养目标：本专业培养掌握微电子学专业所必需的基础知识、基本理论和基本实验技能，能在微电子学及相关领域从事科研、教学、科技开发、工程技术、生产管理与行政管理等工作的高级专门人才。业务培养要求：本专业学生主要学习微电子学的基本理论和基本知识，受到科学实验与科学思维的基本训练，具有良好科学素养，掌握大规模集成电路及新型半导体器件的设计、制造及测试所必需的基本理论和方法，具有电路分析、工艺分析、器件性能分析和版图设计等的基本能力。毕业生应

3、获得以下几方面的知识和能力：1掌握数学、物理等方面的基本理论和基本知识；2掌握固体物理学、电子学和VLSI设计与制造等方面的基本理论和基本知识，掌握集成电路和其它半导体器件的分析与设计方法，具有独立进行版图设计、器件性能分析和指导VLSI工艺流程的基本能力；3了解相近专业的一般原理和知识；4熟悉国家电子产业政策、国内外有关的知识产权及其它法律法规；5了解VLSI和其它新型半导体器件的理论前沿、应用前景和最新发展动态，以及电子产业发展状况；6掌握资料查询、文献检索及运用现代信息技术获取相关信息的基本方法；具有一定的实验设计，创造实验条件，归纳、整理、分析实验结果，撰写论文，参与学术交流的能力。主

4、干学科：电子科学与技术主要课程：半导体物理及实验、半导体器件物理、集成电路设计原理、集成电路工艺原理、集成电路CAD、微电子学专业实验和集成电路工艺实习等。主要实践性教学环节：包括生产实习、毕业论文(设计)等，一般安排10-20周。修业年限：四年授予学位：理学或工学学士,微电子专业内容,半导体材料：Si、GaAs、ZnSe半导体物理：半导体器件：元器件(电子和光电子）、集成电路半导体工艺：制造工艺、测试技术、微机械计算机辅助器件、工艺模拟新型器件、微系统的开发设计软件的开发,用什么做？,做什么？,怎么做？,内容,什么是微电子学？我们的条件是什么？毕业后去哪里？学习什么知识？,我们的条件,50t

5、h 五校联办 半导体专业80th 第一批博士点：半导体物理与半导体器件物理90th 凝聚态物理（理科二级）03年 微电子学与固体电子学（工科 二级）211第一批重点学科（一期二期）985第一批重点学科（1/9),1956年，国家制定了12年科学发展规划，将半导体列为重要发展技术之一。同年在北京大学成立了由北京大学、厦门大学、南京大学、复旦大学和吉林大学组成的半导体培训班。1958年，刘士毅、吴伯僖、陈金富老师，以及黄美纯、郑健生、周必忠等几位首届毕业生回校建立了半导体专业。1966年由高教部批准成立了半导体研究室。承担了许多科研项目，国家和地方的重点或重大科研任务，培养了一批又一批的学生197

6、6年后还培养了相当数量的“半导体物理与器件物理”的硕士生和博士生，1996年“半导体物理与器件”专业改为“凝聚态物理”专业2006年 批准设立“微电子学与固体电子学”博士点,物理系“微电子学”专业的基础和优势,2001年获得“微电子学与固体电子学”硕士学位授予权，2006年获得的博士授予权，确定了三个具有特色和优势的研究方向：半导体物理 集成电路与微电子系统设计、信息光电子学，研究队伍中以获得博士学位的年轻人占多数，主要成员有丰富的经验积累和较高的学术水平，已完成一批国内领先、意义重大的研究成果；实验设备和实验室条件良好，软件工具丰富，图书资料齐全。近五年，在科研方面，物理系在微电子领域承担有

7、国家“973”和“863”计划课题、国家半导体照明工程“十五”攻关计划重大任务、国家自然科学基金重大、重点课题和面上项目、福建省重大和重点基金项目等90多项研究任务，总经费达2000多万元，取得许多重要成果。其中有的获得省部级奖励6项、省部级以上鉴定7项、专利18项、实现产业化6项，取得显著的经济效益。在国内外重要学术刊物上正式发表论文约1000篇，其中被SCI收录300多篇、被EI收录200多篇。出版专著几部。,我校进入“211工程”500万元“信息光电子材料与信息技术”被确定为重点学科之一，在“211工程”建设基金的资助下，物理系建立了“211工程”重点实验室，主要建设微电子材料和器件的设

8、计、制备、测试研究。“211工程”二期，1100万元，用于“信息光电子材料与信息技术”的补充“211工程”十一五 投入是2000万元，形成微电子的完善工艺“985”投入“萨本栋微机电研究中心”，一期（2000年-2003年）3500多万，中心建立以硅为基础的微电子机械加工工艺实验室和微电子设计研究室，有先进的集成电路平面工艺和测试所需的设备及设计环境和软件工具，为微电子学科研和教学提供了一 个良好的基地。“985”第二期（2004年-2006年）计划投 入建设经费3000万。“光子学研究中心”，已投入2100多万元建设经费，建设有英国Thomas Swan科学仪器公司GaN 金属有机化学气相沉

9、积系统（MOCVD）、国内组装的激光诱导双生长室超高精度化学气相沉积系统（UHV-CVD）、德国Omicro公司分子束外延（MBE）、美国的高精度光学镀膜机等半导体光电子材料与器件生长系统。以“光子学研究中心”为依托的“光电信息材料与器件”已批准列为“985”第二期重点项目，计划投入建设经费6000万。,近几年微电子的投入，“211”和“985”,在物理系系从事半导体工作的在职教师和实验技术人员30多位，其中近二分之一是获得博士学位的年轻教师。,目前在物理系从事微电子领域教学与科 研的主要教授有：王启明教授 院士。自70年代以来，一直致力于半导体光电子学领域的研究。现正参与主持国家自然科学基金

10、委重大研究计划项目“网络与信息安全”和承担国家重点基础研究规划“支撑高速率、大容量信息光网络系统的光子集成基础研究”项目课题。,余金中教授，博士生导师目前从事的研究领域为：半导体光电子集成和Si基光电子学，正在研究的课题有国家重大基金项目、“863”项目、“973”项目等。,张保平教授，闽江学者，博士生导师主要从事半导体光电材料和器件的研究。先后在日本东京工业大学和理化研究所从事半导体材料研究，有上百篇的SCI收录论文。,吴正云教授，博士生导师主要从事纳米低维半导体材料及器件的研制和光电性质的研究。康俊勇教授，博士生导师。从事半导体光电信息材料科研。,朱贤方教授 博士生导师。主要研究方向为通过

11、非平衡热力学过程来制备、改性、组装纳米结构和器件。朱梓忠教授 博士生导师。研究方向：计算凝聚态物理，主要是从量子力学基本原理的角度出发对材料，特别是各类新材料的物理性质进行理论计算以及计算机的模拟,刘宝林教授博士生导师。主要从事半导体光电材料和器件的研究，用于半导体照明相关的器件。陈松岩教授 主要研究方向为光电集成器件。李成教授 主要研究方向为Si基发光和光电集成器件。,专业发展的主要方向 根据我系的基础和优势，以及对学生业务的培养目标，本专业规划三个主要发展方向：1.半导体的材料研究 Si GaN ZnO 在微电子技术发展的过程中，半导体材料一直扮演着一个主要的角色，材料特性是器件特性的基础

12、。本方向培养学生掌握半导体材料的基本物理问题：新型材料，如微结构材料、光电集成材料的结构设计、制备方法与工艺原理；材料特殊性能和新型材料的开发与应用；材料测试与分析；材料制备与加工过程对材料物理特性的影响；材料特性与器件特性之间的联系；在器件制造过程中常用的一些材料特性检测方法与技术。同时，培养学生掌握一些现代材料制备与测试设备的基本原理与使用方法，例如：磁控溅射机、金属有机化学汽相沉积系统（MOCVD）、低压化学汽相沉积系统（LPCVD）、等离子化学汽相沉积系统（PECVD）、真空镀膜机、拉普拉斯缺陷谱仪、光伏谱仪、电化学C-V测试仪、X光电子能谱仪（XPS）、扫描电子显微镜（SEM）等等。

13、,2.集成电路技术 集成电路技术是微电子技术领域中的最重要的技术，它主要包含设计和制造技术。集成电路的迅速发展，除了工艺技术、设备、原材料等方面的不断改进以外，采用计算机辅助设计（CAD）或设计自动化（DA）技术也是重要的原因之一。本方向培养学生掌握专用集成电路和其他集成器件的CAD技术，包含器件模拟、电路设计、版图设计、验证和测试；掌握集成电路电子设计自动化（EDA）软件系统。同时培养学生掌握工艺原理、工艺设备原理和制造方法。近年来，除了在学校“211工程”建设基金资助下引进了可实现全定制集成电路（IC）设计的美国Mentor公司EDA软件工具外（内含版图设计输入、自动布线及版图验证等工具）

14、，我系技术物理所“EDA研究室”积极加强同国外大学和公司合作，先后获得各种捐赠的价值约400多万元的EDA工具，拥有的EDA工具与国内高校中从事相同方向研究的实验室比较，相对齐全而且比较先进，例如：复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室、清华大学微波数字通讯国家重点实验室、北京大学电子设计自动化实验室、国防科技大学电子系统CAD实验室。“EDA研究室”有能力和条件培养学生的设计技术。“萨本栋微机电研究中心”、“光子学研究中心”和我系的“211重点实验室”、“半导体实验室”可以培养学生的工艺制造技术。,3.半导体光电子学 半导体光电子学是研究作为当今和未来信息社会的两个主要微观信息体，即光子和

15、电子的运动与物质的相互作用及其信息的产生、传输、接收、处理、存储和加工的科学。它在信息领域中具有响应速度快、传输容量大、存储密度高、误码率低、可靠性好、并易于集成、微型化等一系列明显的优点。它是当今信息高科技发展的主流之一和热点课题，它将与微电子技术相辅相成，直至互相渗入融为一体。本方向可以作为培养学生了解本学科及相关交叉学科的新成就的一个重要内容。LED和光伏产业,内容,什么是微电子学？我们的条件是什么？学习什么知识？毕业后去哪里？,物理系电子学专业大类教学计划表（学 制 4 年）,微电子学专业方向性课程,半导体物理半导体器件物理集成电路原理与设计 集成电路CAD 微电子学专业实验,量子力学

16、 固体物理学,微电子学专业方向性必修课程 半导体材料 微电子制造科学原理微电子学专业方向性任选课 电子设计 算法与数据结构 单片机原理与实验 物理学前沿专题,微电子专业实验 微电子学专业实验 是微电子学专业学生的基础课。根据物理系半导体实验室的基础，“微电子学专业”拟安排以下几个实验:,内容,什么是微电子学？我们的条件是什么？学习什么知识？毕业后去哪里？,微电子产业是当今世界上最富有生命力、增长最为迅速的产业之一，是现代工业的基础 60年代开始，经历了半个世纪的发展，半导体微电子应用已深入到国民经济及军事应用的各个领域，微电子技术的发展日新月异，使电子工业发生了革命性的变化，对整个人类产生了巨

17、大的影响。当世界进入21世纪的今天，人类进入了以微电子为基础、计算机为核心、光纤和卫星通讯为先导的信息时代。世界上发达国家都竞相发展和提高信息技术水平，大力发展信息产业，特别是微电子产业，从而获得巨大的经济利益。微电子产业是当今世界上最富有生命力、增长最为迅速的产业之一。,福建厦门地区的微电子产业我校位于东南沿海开放城市福建厦门。这个地区的微电子产业正在蓬勃兴起。福建建立了国家级的闽东南电子与信息产业基地，政府批准在福州大学和厦门大学分别成立了集成电路设计中心，并已计划投入大量的资金支助。厦门市又是台湾微电子技术进入大陆的前沿阵地。厦门经济特区的长远规划是发展成为教育城、信息港和电子城，政府对

18、发展微电子产业给予高度的重视和大力的支持，制定了许多优惠政策。已兴办了微电子集成研究中心，微电子科技园、元顺微电子公司、三安电子公司、华联电子公司等等微电子产业公司。,福顺公司已在福州建立了6英寸片的集成电路生产线，集顺公司正在厦门集美筹建年产36万6英寸片的0.35-0.8微米集成电路生产线。厦门市已成为国家照明工程基地之一。厦门有良好的整机产业，大大小小的电子企业逾百家，如厦华公司、厦新公司、Dell公司等电子企业，有些企业的小家用电器产量在世界上可以说是数一数二，但是缺少专用集成电路芯片开发的能力，主要原因是缺乏这方面的人才。,毕业后的去向,福建省关于进一步促进LED和太阳能光伏产业发展

19、的行动方案（20092014年）2008年全省LED和太阳能光伏产业实现产值约100亿元，其中LED产值约70亿元、太阳能光伏产值约30亿元。全省LED和太阳能光伏企业已超过200家，生产产品涵盖LED外延、芯片生产、LED器件及配套材料、LED道路照明、LED背光源、LED屏幕显示等应用产品；多晶硅、单晶硅、薄膜太阳能电池及组件、太阳能光伏LED应用产品等。总产量占全国30%以上推进产学研合作，加快产业人才培养支持省内高等院校开设光电子专业和专业技能课程，为我省培养光电专业人才和高技能人才。全国有6000家 LED产业，700亿产值，并以40%以上速度增长,热爱微电子学！学好微电子学！ftp

20、:/210.34.16.22User:mesPW:2009,中国的微电子工业 改革开放以来，我国的微电子工业保持了高速发展的势头。电子工业坚持“以微电子工业为基础，以计算机、通信为主体”的发展战略，优先发展集成电路、新型电子元器件、计算机和通信设备，开发各类电子信息系统和成套电子设备，同时积极发展消费类电子产品，由此形成了我国电子工业的基本框架结构，使其成为国民经济的支柱产业。八十年代，国家陆续建立一批工产和科研院所来进行集成电路的研究和生产，进入九十年代后，政府和国内厂商大量引进国外资金和先进技术，成立了许多合资以及独资企业，这些企业为中国微电子行业的进步起了很大的推动作用。现在，我国微电子

21、产业结构上，设计、制造、封装三业并举的局面已逐步形成。如芯片生产上有首钢NEC、上海贝岭、中晶国际等，芯片设计上有北京华大、大唐微电子、无夕矽科、杭州士兰等。中国的微电子工业正面临着有利的发展机遇，社会需求提供了广阔的市场。据专家预测，20102020年左右，我国将迎来微电子产业的黄金时期。,福建厦门地区的微电子产业我校位于东南沿海开放城市福建厦门。这个地区的微电子产业正在蓬勃兴起。福建建立了国家级的闽东南电子与信息产业基地，政府批准在福州大学和厦门大学分别成立了集成电路设计中心，并已计划投入大量的资金支助。厦门市又是台湾微电子技术进入大陆的前沿阵地。厦门经济特区的长远规划是发展成为教育城、信

22、息港和电子城，政府对发展微电子产业给予高度的重视和大力的支持，制定了许多优惠政策。已兴办了微电子集成研究中心，微电子科技园、元顺微电子公司、三安电子公司、华联电子公司等等微电子产业公司。,福顺公司已在福州建立了6英寸片的集成电路生产线，集顺公司正在厦门集美筹建年产36万6英寸片的0.35-0.8微米集成电路生产线。厦门市已成为国家照明工程基地之一。厦门有良好的整机产业，大大小小的电子企业逾百家，如厦华公司、厦新公司、Dell公司等电子企业，有些企业的小家用电器产量在世界上可以说是数一数二，但是缺少专用集成电路芯片开发的能力，主要原因是缺乏这方面的人才。,微电子产业的发展需要大量的人才 微电子产

23、业的发展急需大量的人才。人才问题是最根本的问题。近几年微电子学专业的毕业生就业形势很好，很受社会企业欢迎。培养微电子专业人才，是符合社会发展的客观要求，对我国，对我省、我市现代高科技和经济的发展都具有重要的意义。近几年，许多高校都加强了微电子学专业的建设，例如复旦大学成立了微电子学学院，北京大学成立了微电子学系。我校物理系2001年申请“微电子学”本科专业，获得教育部批准，2002年开始招生。,内容,什么是微电子学？我们的条件是什么？毕业后去哪里？学习什么知识？,厦门大学萨本栋微机电研究中心,实验室设施：具备体硅机械技术、表面硅机械技术和集成电路技术所需要的基本条件，可以开展一些MEMS中的单

24、个微型结构、微型传感器及微型电机的研制，也可以开展一些微机械、微执行器、微传感器与中小规模微电子线路合为一体的MEMS的研制。,660平方米的洁净室:百级100 m2千级300m2万级260m2,4473 四管微控扩散炉,4371-LPCVD低压化学汽相沉积系统,洁净室中有一条以最大4英吋硅片为基本材料、以1mm线宽集成电路工艺为基本工艺的MEMS研发实验线,PECVD-2型等离子体淀积台,ICP-2B刻蚀机,JC500-3/D磁控溅射镀膜机,JS-3X-100B 磁控溅射台,Karlsuss MA6/BA6光刻键合对准机,ZXS-500A电子束镀膜机,纯水间,高纯水制备系统,氮/氧/氩纯化系

25、统,废气/水处理,C63200/TJ 硅片抛光机,磨片机、抛光机、制版设备,单头精缩机,X61 385-1B 硅片磨片机,初缩机,精缩机,四探针电阻测试,多头探针,常规工艺测试设备,Dektak 3 测厚仪,Olympus OLS1200激光扫描共聚焦显微镜,Nikon L150金相显微镜,Keithley4200-SCS半导体参数测试仪,Keithley590 C-V测试仪,设计室基础设施:,设计室为校内师生提供MEMS和IC计算机辅助设计的工作平台。目前设计室由一个服务器机房和一个专业设计室组成.拥有联想1800高性能服务器1台，SUNBlade工作站10台,DELL工作站1台。MEMS设

26、计软件方面有ANSYS/MEMS Pro(基于ANSYS公司多物理场分析工具和Tanner公司IC设计工具基础上的一套设计工具)和CoventorWare。IC设计软件方面有美国Mentor Graphic公司的IC Station；Tanner EDA工具；华大EDA工具（Panda 2000）。,主要设备:,光子学研究中心,MOCVD生长系统,激光诱导双生长室UHV-CVD生长系统,分子束外延薄膜生长及表征系统,研究型MBE生长系统,X射线衍射仪,物理系有微电子研究室和专门化实验室，还有技术物理研究所，该所的电子电路自动化设计（EDA）研究室拥有一些世界上最先进的集成电路设计开发设备和软件

27、工具。,业务培养目标 培养学生具有坚实的数理基础，能掌握微电子学所必须的半导体物理、半导体材料物理、半导体器件、集成电路和制造工艺的基础理论和实验技术，掌握器件、集成电路、微系统和微电子材料的结构、设计、制造工艺、测试技术；了解本学科发展的新成就；有较强的科学研究和一定的解决实际问题的能力。本科毕业后可以在微电子领域或相近的领域，如集成电路设计与制造、微电子材料生长和器件制备、电路与电子系统的设计与制造等从事技术、科研、教学、管理和市场开发等工作。,专业发展方向,科研方向 我系的“微电子学与固体物理学”硕士学位授予权学科将支持本专业的发展，规划的本科专业三个发展方向与硕士点学科所确定的三个研究

28、方向基本一致。这三个研究方向具有自己的特色：1.半导体物理学 研究半导体材料中杂质缺陷和深能级,从材料制备入手，研究生长方法对杂质和缺陷能级产生的作用，以及对材料光学、电学和光电性质的影响；研究半导体材料的各种性质，特别是杂质对材料性质的影响；深入了解半导体材料一些新的性质，特别是能级的精细结构；把材料和性质的研究有机地结合起来，为有效地控制一些半导体材料性质提供可行的方法；开展有效的实验方法和设备的研究，制备一些高性能的实验设备，如拉普拉斯缺陷谱仪、光伏谱仪等；对半导体低维材料和器件开展研究，特别是对量子阱和量子线开展研究。半导体材料表面光伏效应和表面光伏谱的研究，利用非破坏性测量的表面光伏

29、方法研究各种异质结、量子阱、超晶格和微纳米薄膜等半导体材料的特性。,2.集成电路与微电子系统设计 开展同通讯和信号处理有关的集成电路与微电子系统的设计开发与研究。采用先进的EDA技术，从系统的协议仿真、板级电路设计直到芯片版图验证与测试，对专用集成电路、系统单片集成、微电子机械元器件和微系统等进行计算机辅助自动化设计。,3.信息光电子学 开展同通讯和信号处理有关的集成电路与微电子系统的设计开发与研究。采用先进的EDA技术，从系统的协议仿真、板级电路设计直到芯片版图验证与测试，对专用集成电路、系统单片集成、微电子机械元器件和微系统等进行计算机辅助自动化设计。半导体材料表面光伏效应和表面光伏谱的研

30、究，利用非破坏性测量的表面光伏方法研究各种异质结、量子阱、超晶格和微纳米薄膜等半导体材料的特性。,集成电路原理与设计,介绍集成电路的基本制造工艺、集成电路中的元器件的结构、特性和寄生效应，以及双极型、MOS、CMOS数字和模拟集成电路的电路结构、工作原理和基本特性。数字集成电路部份的主要内容有各种基本的逻辑单元电路的结构、工作原理、电路分析、工艺与版图设计，还有多路开关、加法器、译码器、编码器、算术逻辑单元、寄存器等组合逻辑电路及存储器、接口电路、时序逻辑电路、微处理器等大规模集成电路的构造、原理和设计；模拟集成电路部份的主要内容有基本单元电路的工作原理、主要特性和分析，以及常用的模拟集成电路

31、，如集成运算放大器、MOS开关电容电路、集成稳压器、D/A、A/D变换器的基本构造、原理和版图设计。还简单介绍集成电路设计方法、可靠性设计和可测性设计。,部分课程简介,集成电路计算机辅助设计,介绍EDA（Electronic Design Automation）技术的基本概念和发展过程;集成电路设计过程中使用的各种E-CAD技术及其功能和性能;CAD中用到的各种程序（包括建模、算法等）、硬件描述语言VHDL和Verilog HDL的编程基础。分析EDA技术在电路级和系统级设计上的工作流程，学习运用EDA技术进行电子系统设计的有关知识，包括运用硬件描述语言HDL进行的自上而下的设计方法、可编程逻

32、辑器件（PLD）知识、使用通用电路分析语言PSPICE分析模拟电路的方法和印刷电路板PCB设计。结合上机实践学习如何运用相关EDA工具完成集成电路设计、印刷板板图设计的主要方法，以及对电路设计、版图设计进行模拟、仿真、分析等的主要手段，从而对计算机辅助集成电路设计有一个较全面概括的了解。,部分实验课程内容简介:1.超净室工作培训 微电子工艺过程需要非常干净的环境，超净室是制作工艺所必需的洁净工艺场所。本实验通过培训，让学生了解微电子工艺超净室环境和形成的原理，学习和掌握超净室使用管理规则。2.热氧化实验 二氧化硅在微电子器件生产中有广泛的应用，它是杂质扩散的掩蔽膜，又是器件表面的保护层和钝化膜

33、，SiO2工艺是微电子工艺的重要工艺。本实验在高温氧化炉中，采用干氧湿氧干氧交替的方法，在一定的时间在硅片表面生长SiO2。要求学生了解SiO2在微电子工艺器件生产中的应用和SiO2结构，掌握SiO2的制备方法和工艺原理。,3.二氧化硅光刻实验 在微电子工艺中，为了进行定域扩散，形成电极以及内引线互联，制作管芯的硅片必须进行多次光刻。本实验是在热氧化硅片上，利用光刻胶的保护作用，对热氧化生长的SiO2进行有选择性的化学腐蚀，从而得到与掩膜版相应的图形。工艺流程：涂胶、前烘、嚗光、显影、坚膜、腐蚀和去胶七个步骤，实验按步骤进行。要求 学生通过实验，掌握光刻步骤和操作，了解光刻在微电子器件生产中的

34、应用和原理。4.硼扩散实验 扩散是制备PN结的重要方法，扩散工艺是微电子器件工艺的核心。本实验是在二氧化硅光刻后的硅片上进行杂质硼的扩散，在高温扩散炉中，采用固固扩散方法，分两步进行。要求 学生通过实验掌握扩散工艺方法和原理，了解工艺中可能出现的一些问题和解决办法。,仪器设备,红外金相显微镜 自动偏振光光谱测量系统（自动光记数和信号处理，多种激光器)双光栅单色仪和激光器组成的激子谱测量系统,美国进口电化学C-V测量仪美国进口仪器组装的光伏 测量系统低温光伏测量系统磁控溅射机电子束蒸发机自动发光光谱测量仪自动DLS测量系统光电容测量系统,（一）“211工程”重点实验室、半导体发光教研室和半导体物

35、理与器件物理教研室拥有的主要仪器设备,实验室还拥有半导体光电子材料性能、器件工艺和特性、系统功能等测试设备。主要有：瞬态荧光光谱仪、扫描探针显微镜、电化学电容电压检测仪、光栅单色仪、Dektak3膜厚测量仪、Olympus激光扫描共聚焦显微镜、D41-11A/ZM四探针电阻测试仪、Nikon L150金相显微镜等。已具备从材料表征到器件应用的研究条件。学校测试中心拥有F30-300高分辨透射电子显微镜系统、LEO-1530场发射扫描电子显微镜系统、PHI660扫描俄歇微探针、Quantum2000 X射线光电子能谱、X射线衍射仪、付立叶显微红外光谱仪、紫外可见分光光度计、Unity+500超导

36、核磁共振仪等大型公用设备，为微电子研究提供良好的条件。,1.EDA软件 美国Mentor Graphic公司的IC Station（内含版图设计输 入、自动布线及版图验证等工具）与国外合作研究机构及院校共享的EDA工具：美国Cadence公司的Bones（即模块定向网络协议设计仿真系统），SPW（信号处理工作站），ICFB（全套IC自上而下的设计工具）40套中国华大EDA工具（Panda 2000）内包含有VHDL设计环境及编译与仿真调试工具Panda VDE 2.0 VLSI 电路版图设计工具Polar SLE 2.0 VLSI版图验证工具Polar VER I2.0,（二）、EDA研究室拥有的主要软件工具和设备,10套美国Xilinx公司的Foundation Series 1.4（含有EDA环境管理、原理图及HDL设计与仿真调试、时序仿真工具FPGA Express工具、自动电路布板工具等）10套FPGA和2套CPLD的开发仿真板 10套韩国CSIEDA公司的电路板设计工具 2.Sum工作站两套 3.各种微型计算机几十台,谢 谢！,