罕王微电子(辽宁)有限公司罕王微机电高科技产业园项目(一期)环境影响报告书.doc
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1、罕王微电子(辽宁)有限公司罕王微机电高科技产业园项目(一期)环境影响报告书(简本)建设单位:罕王微电子(辽宁)有限公司评价单位:辽宁辐洁环保技术咨询有限公司2013年3月目 录1 建设项目概况11.1 建设背景及基本内容11.2 规划及产业政策相符性分析22 建设项目周围环境现状52.1 项目所在地环境现状52.2 建设项目环境影响评价范围53 建设项目环境影响措施及预测分析73.1 运营期废气73.1.1 废气治理措施73.1.2 大气环境影响预测83.2 运营期废水93.2.1 废水治理措施93.2.2 地下水环境影响预测93.3 运营期噪声113.3.1 噪声治理措施113.3.2 噪声
2、环境影响预测133.4 运营期固体废物133.5 施工期环境影响分析143.5.1 对公共设施和服务的影响143.5.2 施工扬尘的影响143.5.3 汽车尾气143.5.4 施工废水153.5.5 施工噪声153.5.6 施工弃土与回填153.5.7 小节163.6 环境风险预测分析163.7 经济损益分析173.8 环境监测计划及环境管理制度173.8.1 环境监测计划173.8.2 环境管理制度184 公众参与204.1 公众参与的目的204.2 调查范围与方式204.3 公众参与调查结果分析204.4 小结225 环境影响评价结论231 建设项目概况1.1 建设背景及基本内容为进一步完
3、善产业链条,推动产业升级,本着引进国外先进技术以推进中国相关高新科技产品产业化发展的理念,缩小微机电系统传感器及装置产业化生产制造技术国内外的差距,发展高端传感器和微机电系统装置,罕王微电子(辽宁)有限公司决定在抚顺经济开发区建设罕王微机电高科技产业园,该产业园总投资30亿人民币,占地1000亩,将引进国外先进技术,生产和销售微机电系统芯片产品及其应用领域的配套产品,将新建生产厂房、配套设施、技术服务中心、市场开发等完善设施。其中包括4.5级芯片生产超净间,万级和十万级芯片封装超净间。该产业园的建设将分三期进行,本项目为一期工程,总投资为60000万人民币,主要建设内容为芯片生产车间、芯片封装
4、车间、传感器系统安装车间以及相关配套设置,主要产品为MEMS压力传感器、加速度计以及陀螺仪等,年产量为1.2亿只。项目组成表见表1-1。表1-1 项目组成项目名称规模及内容性质主体工程芯片生产车间主要进行芯片的前端生产,主要工艺为硅片清洗、薄膜沉积、扩散、光刻等新建芯片封装车间主要负责工艺后端,主要工艺为切割、点胶、固化、印刷等新建传感器组装车间传感器安装,主要工艺为点胶、固化、组装等新建公用工程给水开发区管网依托排水生产废水经各处理设施处理后与生活污水共同进入三宝屯污水处理厂依托供电市政电网,在厂内新建11KV变配电所依托供暖抚顺经济开发区水暖公司依托氮气、氢气大宗气站新建辅助工程生产支持楼
5、a4层,面积为13044m2新建生产支持楼b4层,面积为8402m2新建仓库3层,面积为4035m2新建化学品库1层,面积为1358m2新建气体存储库1层,面积为461 m2新建环保工程废气酸性废气喷淋塔2套碱性废气喷淋塔2套区域除害装置2套炭纤维废气净化器3套新建废水清污分流管网新建酸碱废水中和处理、生物接触氧化处理、化学沉淀处理、研磨废水絮凝处理、含氨废水吹脱+硝化处理新建进入三宝屯污水处理厂依托噪声治理采用低噪声设备,同时对各类机泵采用消、吸/隔音设施及减振措施新建绿化厂区绿化30%新建1.2 规划及产业政策相符性分析2011年抚顺市经济开发区委托辽宁省环境科学研究院编制了抚顺市经济开发
6、区及周边54.84km2控制性详细规划环境影响报告书,2013年2月22日,辽宁省环境保护厅以辽环函201357号关于抚顺市经济开发区及周边54.84km2控制性详细规划环境影响报告书的审查意见出具了审查意见。本项目位于抚顺经济开发区二类工业用地内,因此,项目选址符合相关规划的要求。根据产业结构调整指导目录(2011年本),与本项目相关内容为鼓励类第19条:集成电路设计,线宽0.8微米以下集成电路制造,及球栅阵列封装(BGA)、插针网格阵列封装(PGA)、芯片规模封装(CSP)、多芯片封装(MCM)等先进封装与测试;第20条:集成电路装备制造;第21条:新型电子元器件(片式元器件、频率元器件、
7、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等)制造;第32条:医疗电子、金融电子、航空航天仪器仪表电子、传感器电子等产品制造。本项目以8英寸芯片为基本原材料,经过加工、封装,最终产品为MEMS(微机电系统)传感器,其主要应用于汽车、医疗、消费电子等领域,属于鼓励类项目,符合产业结构调整指导目录(2011年本)的要求。根据辽宁省产业发展指导目录(2008年本),与本项目相关内容为鼓励类第五大条第3条:新型传感器开发及制造。本项目以引进国外先进技术推进中国高科技产品的产业化发展为理念,开发生产的高端微机电系统传感器达到世界水平,符合辽宁省
8、产业发展指导目录(2008年本)的要求。根据外商投资产业指导目录(2011年修订),与本项目相关内容为鼓励类第十七大条第14条:汽车电子装置制造与研发中的电子控制系统的输入(传感器和采样系统)输出(执行器)部件;第二十一大条第15条:新型电子元器件制造中的敏感元器件及传感器。本项目以8英寸芯片为基本原材料,经过加工、封装,最终产品为MEMS(微机电系统)传感器,其主要应用于汽车、医疗、消费电子等领域,属于鼓励类项目,符合外商投资产业指导目录(2011年修订)的要求。为推进我国物联网有序健康发展,国务院于2013年2月下发了国务院关于推进物网有序健康发展的指导意见(国发2013第7号文件),在意
9、见中:“二、主要任务”一栏内阐述道:“(一)加快技术研发,突破产业瓶颈。以掌握原理实现突破性技术创新为目标,把握技术发展方向,围绕应用和产业急需,明确发展重点,加强低成本、低功耗、高精度、高可靠、智能化传感器的研发与产业化,着力突破物联网核心芯片、软件、仪器仪表等基础共性技术,加快传感器网络、智能终端、大数据处理、智能分析、服务集成等关键技术研发创新。”本项目着力突破物联网核心芯片即MEMS芯片传感器研发与生产,以实现低成本、低功耗、高精度、高可靠、MEMS智能化传感器的研发与产业化,符合国务院关于推进物网有序健康发展的指导意见的要求。为贯彻落实国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定,更
10、好地指导各部门、各地区开展培育发展战略性新兴产业工作,国家发改委会同相关部门,组织编制了战略性新兴产业重点产品和服务指导目录并于2013年2月22日以发改委2013第16号文件形式正式出台,目录涉及战略新兴产业7个行业、24个重点发展方向下的125个子方向,共3100余项细分的产品和服务。战略性新兴产业重点产品和服务指导目录中:2新一代信息技术产业,2.2电子核心基础产业,2.2.1集成电路内容中明确指出“MEMS传感器芯片”系战略性新兴产业重点产品和服务指导目录组成部分之一,“MEMS传感器芯片”属于国家发改委确定的战略性新兴产业重点产品。本项目生产MEMS传感器芯片,符合战略性新兴产业重点
11、产品和服务指导目录的要求。2 建设项目周围环境现状2.1 项目所在地环境现状(1)环境空气质量现状监测期间,SO2各监测点位小时浓度范围为0.0080.203 mg/m3、日均浓度范围为0.010.142 mg/m3;NO2各监测点位小时浓度范围为0.0080.118 mg/m3,日均浓度范围为0.0180.105 mg/m3,监测期间SO2、NO2监测指标均达到环境空气质量标准(GB3095-1996)中二级标准要求。TSP日均浓度范围为0.1550.822 mg/m3,PM10日均浓度范围为0.0860.532 mg/m3,监测期间,TSP和PM10部分监测值超过了环境空气质量标准(GB3
12、095-1996)中二级标准限值要求,原因本项目新厂区和周边几个企业均正在施工,因此TSP和PM10监测值较高。(2)噪声质量现状项目厂址东、南、西、北厂界各监测点位昼、夜间噪声值均满足声环境质量标准(GB3096-2008)中的3类标准要求。(3)地表水质量现状氨氮、总磷和石油类浓度已超出类地表水标准限值,最大超标倍数分别为0.37倍、1.2倍、0.4倍。除氨氮、总磷和石油类以外,其余监测因子均满足类地表水标准限值要求。(4)地下水质量现状项目厂址所有监测因子均满足地下水质量标准(GB/T14848-93)中类标准要求。2.2 建设项目环境影响评价范围(1) 大气环境影响评价范围根据评价工作
13、等级(三级)要求,考虑到本项目所在区域的地形、地理特征,确定大气环境影响评价范围为以本项目为中心,直径为5km的圆形区域。(2) 地表水环境影响评价范围本项目总排口废水排至抚顺市三宝屯污水处理厂,因此,本环评水环境评价范围为本项目废水总排口。(3) 地下水环境评价范围根据I类建设项目地下水环境现状调查评价范围,建设项目评价级别分类以及具体水文地质条件,确定此次项目调查评价范围,北至大南村,东侧至蔡家沟村,西至康红村,南至后康村,面积约23.82km2。(4) 噪声环境评价范围本项目噪声评价范围为厂区边界及周围居民区。(5) 环境风险评价范围本项目大气环境风险评价范围依据导则规定为以本项目厂区为
14、中心,半径为3km的范围。3 建设项目环境影响措施及预测分析3.1 运营期废气3.1.1 废气治理措施本项目生产过程中排放的废气有酸性废气(包括特殊性气体)、碱性废气和有机废气,分别设置有效的气体净化设施,使废气中的污染物排放量大大降低。(1)酸性废气对生产厂房中有酸性废气产生的各个设施进行排风,捕集的酸性废气经湿性洗涤器(Wet Scrubber)净化处理;晶片生产过程使用的硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、等特殊性气体自设备排出后先经专用的区域性除害装置(Local scrubber)先行处理,再进中央湿式洗涤塔,洗涤后废气由防腐离心机经高于屋顶的排气筒排放。区域性除害装置针对不同的废气成
15、分分别采用吸附、燃烧等等处理工艺进行处理,处理效率可达90%以上,本项目由于硅烷易燃,故采用燃烧处理方法。卧式洗涤器因其紧凑性而特别适合在有限的设备安装空间内使用。治理基于吸收原理,所有与废气直接接触的部分均由防腐材料制成。湿式洗涤器采用20%NaOH作为中和液。酸性废气进入洗涤器后,水平穿过填料,中和液由喷淋管上的喷头均匀分布在填料上,水气两相在填料上得到充分接触,废气中的酸性物质与中和液中的NaOH发生化学反应,转移至液相,废气得到净化,中和液循环使用。废气处理效率可达90%左右。随着化学反应的进行,中和液的pH值不断降低,此时需投加碱液。碱液的投加由控制系统自动完成。而排放的少量废中和液
16、进入酸碱废水治理系统。(2)碱性废气碱性气体主要来自扩散区、薄膜区及化学研磨区产生之含氨废气排放。对生产厂房中有碱性废气产生的各个房间进行排风,捕集的碱性废气经湿式洗涤器净化处理后,由防腐离心风机经屋顶排气筒排放。湿式洗涤器采用80%废H2SO4作为中和液,排放的少量废中和液进入酸碱废水处理系统,废气处理效率预估可以达90%左右。(3)有机废气有机废气主要来自于光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气。在生产的初始阶段,生产规模较小,有机溶剂废气中污染物的初始浓度及产生量均较小,采用直接达标排放方式。待生产产量再行增加,污染物产量增大时,再增加治理设备,确保排气中的污染物达到国家规
17、定的标准。拟采用吸附法进行处理。使用吸附法净化治理有机溶剂废气(VOC)是一种成熟的治理技术。通常的吸附剂有活性炭、沸石等种类。(4)传感器组装车间和污水站废气为减轻厂区传感器组装车间无组织排放的有机废气和污水处理站排放的恶臭物质对周边环境的影响,项目在传感器组装车间和污水处理站周围进行绿化,并对污水处理站采取主体构筑物加盖、收集、除臭治理措施。3.1.2 大气环境影响预测 本项目HF最大落地浓度为0.0000768mg/m3,最大落地点位于下风向166m处,最大浓度占标率为0.384%;HCl最大落地浓度为0.0000681mg/m3,最大落地点位于下风向166m处,最大浓度占标率为0.13
18、62%;硫酸雾最大落地浓度为0.000277mg/m3,最大落地点位于下风向166m处,最大浓度占标率为0.0923%;氨最大落地浓度为0.0000442mg/m3,最大落地点位于下风向124m处,最大浓度占标率为0.0221%,;NOx最大落地浓度为0.0003625mg/m3,最大落地点位于下风向124m处,最大浓度占标率为0.145%。由以上可以看出,项目排放的污染物占标率均低于10%,因此对环境影响较小。 本想传感器安装车间和有机污水处理站的卫生防护距离均为50m,目前项目附近最近的的学校、居民区等的距离都在50m以上,因此现有本项目区域位置设置可以满足本工程卫生防护距离要求。3.2
19、运营期废水3.2.1 废水治理措施本项目生产产生的废水主要有五种:酸碱废水、有机废水、含氟废水、含氨废水和研磨废水。根据废水性质不同,采用各自独立系统,进行分流处理。(1)工艺酸碱废水本项目含氟废水采用化学沉淀法进行处理超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程,包括对生产工具、器具、石英制品的清洗等。工艺酸碱废水一并处理后,拟汇入中和处理系统处理后由公司废水总排口排放。(2)工艺含氟废水含氟废水采用化学沉淀法进行处理。(3)工艺含氨废水本项目产生的含氨废水属高浓度的含氨废水。拟采用吹脱硝化脱氮方式处理,处理后出水溢流至最终pH调节槽,与上述工艺酸碱废水一并中和处理后排放。(4)研磨废水本项目
20、分为背晶研磨废水、金属研磨废水等,主要污染物为悬浮物,采用絮凝沉淀法进行处理后进入中和系统。(5)有机废水根据生产废水中有机物的含量分析,采用生化法处理。废水经过pH调节,生物接触氧化,澄清沉淀后排放,部分污泥回流,其余污泥经浓缩、脱水后外运。由专门公司统一处理。(6)生活污水生活污水经化粪池处理排入厂区污水管网,再排至市政排水管网。3.2.2 地下水环境影响预测 水文地质条件分析结论拟建项目第四系地下水为松散岩类孔隙潜水,微承压性,下伏太古界鞍山群混合岩,混合岩组裂隙较发育,为隔水层。含水层岩性主要为第四系砂砾石、含粘土砂砾,夹亚粘土层,含水层厚5-10m,渗透系数约1020m/d,单位涌水
21、量为500-1000m3/d,地下水稳定水位埋深9.7m-25m,水头标高70.37-85.21 m。厂区内包气带岩性为粉质粘土,厚8.223m,局部分布有上层滞水,该地下水以大气降水为主要补给来源,主要排泄方式为地下径流和地表蒸发,以向河流排泄为主,地下水位年变幅约2.0 米左右。地下水水力坡度约5。 评价区地下水水质现状评价结论评价区地下水水质现状有如下几个特征:A 本区地下水水质较好,未受到较大的污染和破坏,只是地下水中的石油类含量达到了地表水水质的类标准水平,而其他成分均为超过地下水类标准。B 有机污染物如苯、挥发酚等在评价区各点均未检出,表明此类污染物未对本区地下水产生影响。C 重金
22、属有毒污染物Hg、Cd、As、Cr6+均未检出,表明重金属污染物对本区地下水影响不大。D COD表征工业污染环境特征,本区COD未超标,反映了工业污染情况很轻。E 氮类特征污染物的检出,反映了生活及农业污染特征,可能与本区原水田施肥有关。 项目周边水环境影响预测评价结论A 正常工况,无防渗措施,泄露的COD和NH3-N在5年后主要集中在生产厂区附近,均在生产区118.42m范围以内。随着时间的推移,其影响范围不断扩大,由其是沿着地下水流向的方向上,在20年后其影响距离达到了325.49m。该设定工况下,废水的泄漏对厂区内生产区的地下水水质造成一定程度的破坏,影响范围在厂区外围325.49m范围
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