激光测振仪校准规范.doc
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1、可可芦中华人民共和国国家计量技术规范JJF 12192009激光测振仪校准规范Calibration Specification for Laser Vibrometers20090818发布200911一侣实施国家质量监督检验检疫总局发布,一“一 。一 “、激光测振仪校准规范;j_:;JJF 1219-20092Calibration Specification for Laser Vibrometers;i:j1)-,一)P)一-一一。本规范经国家质量监督检验检疫总局于2009年8月18日批准,并自2009年月18日起施行。归口单位:全国振动冲击转速计量技术委员会 主要起草单位:北京长城计
2、量测试技术研究所 参加起草单位:广州市计量检测技术研究院本规范由全国振动冲击转速计量技术委员会负责解释本规范主要起草人: 梁志国(北京长城计量测试技术研究所) 李新良C:ll:京长城计量测试技术研究所)参加起草人: 薛景锋(北京长城计量测试技术研究所) 周伦彬(广州市计量检测技术研究院)JJF 1219-2009目录1范围2引用文献3术语和定义31激光测振仪32激光测振仪参考标准33过;冲 - 。 一4概述5计量特性6校准条件61环境条件62校准用仪器设备7校准项目和校准方法71工作正常性检查72线性度、灵敏度73频率特性74量程75失真8校准结果表达9复校时间间隔 附录A外差式激光测振仪信号
3、采集、处理电路校准方法 附录B激光测振仪校准结果记录格式 附录c正弦波形序列的最小二乘拟合算法附录E资料性附录测量不确定度评定;)附录D调频信号数字化解调方法一u约约约趵”趵”埘m柳激光测振仪校准规范l范围 本规范适用于激光测振仪的校准。2引用文献JJF 1156 2006振动冲击转速计量术语及定义 GBT 2298-1991机械振动与冲击术语GBT 2048511 2006振动与冲击传感器校准方法第11部分:激光干涉法振动绝对校准GBT 2048513 2007振动与冲击传感器校准方法第13部分:激光干涉法冲击绝对校准使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3术语和定义31激光测
4、振仪(1aser vibrometer)用于振动测量并包含激光干涉仪的一种仪器。32激光测振仪参考标准(1aser vibrometer standard)用于激光测振仪及振动传感器校准的包含激光干涉仪的振动参考标准。33过冲(overshoot)加大系统的输入量,使系统的输出由稳态值变到较大的另一稳态值,超过新稳态值的最大瞬态响应称为过冲。4概述激光测振仪的典型组成框图如图l所示,它主要由激光干涉仪、信号采集、处理电 路、波形输出等环节组成,使用激光多普勒效应和激光干涉方法,实现物体表面运动速度、加速度和位移的非接触测量,以模拟或数字方式给出测量结果。振动至至互巫三到麓图1 激光测振仪典型框
5、图其中,激光干涉仪将运动物体表面速度信息通过激光多普勒效应转换成光频率变化 信息,经干涉光路至光电转换器件,变成频率随速度成比例变化的调频信号;信号采 集、处理电路用于实现该调频信号的解调,给出其速度、位移及加速度的波形测量数 据;波形输出部分通常用DA转换电路以模拟方式输出,也可以数字化方式直接输出JJF 12192009 波形测量数据结果。5计量特性用于激光测振仪主要性能校准的典型波形有:具有已知函数关系的正弦波和调频波 形,具有已知参数的冲击波形。激光测振仪的典型计量特性为:位移量程:lnmlm 速度量程:01mms30ms(取决于频率) 加速度量程: o1ms22000kms2(取决于
6、频率、方法) 位移灵敏度:005nmV005mV 速度灵敏度:0005(nmS-1)v5(mS 1)V加速度灵敏度:0005(nmS1)V-100(kinS_2)V 非线性误差:01 频率范围:04Hz50kHz幅频响应特性: 一o4dB+O5dB激光测振仪的其他辅助特性典型值为:输出电压范围: 一20V+20V 负载电阻:10kfl 直流偏移: 20mV速度分辨力(依频率变化):001(pms一)Hz 信号相移(依频率变化): 一396。kHz 信号延迟:11肚s校准误差:1注:以上指标不是用于合格性判别,仅提供参考。6校准条件61环境条件 环境温度:(235)oC 相对湿度:75 大气压强
7、:(86106)kPa供电电源:电压:(220+22)V,频率:(501)Hz校准过程中,周围应无影响激光测振仪及其校准系统正常工作的振动、冲击、电磁 辐射及强光等。62校准用仪器设备6,21校准用主要仪器设备(见表1)622仪器设备技术要求a)振动标准装置用于产生按正弦规律变化的振动位移、速度、加速度标准信号, 通常由振动台和振动测量部分组成。振动测量部分是一套以激光干涉法测量振动并将振 动量值通过时间量、电压量和激光波长直接溯源到基本量的装置,其测量误差应小于被ZJJF 1219-2009校激光测振仪的测量误差。表1校准用主要仪器设备类别物理量 仪器设备 用途备注 振动标准装置标准振动激励
8、 提供标准值振动振动台 振动激励冲击标准装置标准冲击激励 提供标准值 激励源 冲击冲击机 冲击激励调频信号发生器调频电压波形激励电压 电校准激励函数发生器 外调制信号波形激励振动 激光测振仪参考标准振动测量 提供标准值 数字电压表 幅度测量测量仪器电压 数字存储示波器 波形测量、分析 提供测量值时间频率计数器 频率测量 动态信号分析仪谐波测量、失真测量分析仪器 电压 (或频谱分析仪)提供测量值失真度分析仪失真测量振动标准装置产生的信号幅度范围应覆盖被校准仪器相应量值的校准范围,其振动 台及附属功率放大器应满足下列特性要求:(1)加速度的总谐波失真度:不超过2。 (2)横向、弯曲及摇摆加速度:应
9、当足够小,以避免对校准结果产生过大影响。当幅值较大,尤其是低频范围为1Hz10Hz时,横向运动应小于所要求轴向运动的1。 频率范围在10HzlkHz时,允许的最大横向运动为轴向运动的10。高于lkHz时, 允许的最大横向运动为轴向运动的20。(3)交流声及噪声:比满量程输出至少低70dB。 (4)加速度幅值稳定性:测量期间不超过读数的O05。 b)冲击标准装置用于产生标准冲击速度和加速度信号,通常由冲击机部分和冲击测量部分组成。冲击测量部分是一套以激光干涉法测量冲击并将冲击量值通过时间量、 电压量和激光波长直接溯源到基本量的装置,其测量误差应小于被校激光测振仪的测量 误差。冲击标准装置产生的信
10、号幅度范围应覆盖被校准仪器相应量值的校准范围,其冲击机系统应满足下列特性要求:(1)冲击灵敏度的测量不确定度:在设定参考加速度峰值103ms2、参考冲击脉冲 持续时间2ms和放大器参考增益时,为读数的1;对所有冲击峰值、脉冲持续时间, 不超过读数的2。3(2)基于砧体(刚体)运动的冲击机,锤与砧的共振频率至少为IOT,T为脉冲持续时间。 (3)基于细长棒中波传播的冲击机,脉冲宽度应不小于lms。 c)函数发生器作为调频信号源的外调制信号源,用于产生正弦波、方波信号,以最终获得正弦波或方波调制的调频信号波形,实现对激光测振仪信号采集、处理电路部分的电校准。应满足下列特性要求: (1)幅度最大允许
11、误差小于被校仪器最大允许误差的13。 (2)频率最大允许误差优于001。 (3)正弦输出总失真度小于01。d)调频信号发生器用于模拟激光测振仪激光干涉仪部分的信号输出,实现对 激光测振仪信号采集、处理电路部分的电校准。其频率变化范围应覆盖被校仪器 的工作频率范围,各频率参数的最大允许误差应小于被校参数相应最大允许误差 的13。e)数字电压表用于读取被校激光测振仪输出的直流和正弦波幅值。其工作频率范 围应覆盖被测信号的频率范围,其幅度测量范围应能覆盖激光测振仪的幅度测量范围, 幅度测量最大允许误差不大于被校激光测振仪幅度最大允许误差的13。f)时间频率计数器用于频率校准,其幅度量程应适合被校激光
12、测振仪输出信号的 幅值范围;其频率测量范围应覆盖被校激光测振仪输出信号的频率范围,频率测量最大 允许误差应不大于被校激光测振仪输出频率最大允许误差的110;分辨力优于测量误 差的110。g)数字存储示波器用于获取正弦波、方波、冲击波形、以及调频信号的波形参数, 其频带宽度应大于被测信号有效带宽。对于方波和近方波类信号,示波器带宽应大于基 波频率的10倍;而对于正弦波和近正弦类平滑波形,示波器带宽应大于基波频率的5倍。其幅度最大允许误差应优于1;时基最大允许误差应不大于被校激光测振仪频 率最大允许误差的13。h)校准上升时间时,数字存储示波器的上升时间应不大于被校信号波形上升时间的13。i)使用
13、直接测量法校准所用的其他标准仪器设备,原则上均按其最大允许误差优 于被校仪器参数最大允许误差的13选取。注意:本节中,对于校准仪器与被校准仪器相应参数误差间的13或110关系要求,从校准的技术内涵来说,并非必须。仅是为保证被校仪器的不确定度分量在最终测量结果的不确定度中占据主导地位而作的规定。7校准项目和校准方法激光测振仪的测量功能包括速度量、位移量和加速度量测量输出,由于校准原理、 方法、过程和所用仪器设备均相同,本规范仅列出速度量的校准方法和过程,位移量和 加速度量的校准方法和过程参照执行。4JJF 12192009表2校准项目编号项目名称 备注l工作正常性检查+2线性度、灵敏度+3频率特
14、性4量程5失真6信号采集、处理电路的延迟、相移、频率特性 电信号激励,仅适用于外差7信号采集、处理电路的上升时间、延迟 式激光测振仪 注:“+”表示在周期校准中推荐的必校项目,“一”表示_司以选校项目71工作正常性检查71_l外观检查被校准的激光测振仪,应配有使用说明书及全部必备附件。其外形结构应完好,开 关、按键、旋钮等操作灵活可靠,标志清晰明确,外露件不应有松动和机械损伤。其 铭牌或外壳上应标明其名称、生产厂家、型号、编号和出厂日期。供电电源的标志及电压和频率范围指示明确。712通电检查 外观检查后按使用说明书给激光测振仪通电、预热。让其执行自检及自校准。 按使用说明书要求及随机提供的软件
15、,作激光测振仪与通用电子计算机通信功能的检查,应能准确无误地进行数据交换。 用任意变化的振动信号激励激光测振仪,检查其测量值输出应有变化反应工作状况。 必要时,对激光测振仪说明书中列出的其他功能进行检查。 以上各项检查均应正常。72线性度、灵敏度721方法一:振动标准法接线如图2所示。选定被校激光测振仪的速度量程,用振动标准装置输出正弦速度 波形作激励信号,频率选为被校激光测振仪频带中间的一个频率点l,(若无特别要求, 推荐值为厂一160Hz)。用振动标准装置分别输出厂频率下各种峰值幅度72。(i一1,2, ,m)的正弦速度波形。化每一个信号点”。匕用被校仪器(或数字电压表)读取峰值测量值_y
16、i(j一1, ,),数据个数,z6。图2激光测振仪校准连线框图一振动标准法如图3所示,选取m一11,在同一测量范围h。,VH内,给测量通道依次输人符JJF 1219-2009合式(1)的激励信号7d:(待1,m):73:一tJl。+(i-1)WR(m一1)(i一1,2, ,m) (1) WR一口H-UI。(2) 式中,仇为被校激光测振仪的测量范围下限,取73t。一o;”n为被校激光测振仪的测量范围上限。输出,一月 输” 口 FH图3激光测振仪输入输出特性用被校激光测振仪(或数字电压表)读取对应Wi的测量数据Yi(j式(3)计算灵敏度G,按式(12)计算通道的线性度L。灵敏度:(跳i)(了:一了
17、)(3)妻(让一i)zy:一土Tj奎:l y。(i一1,2 (4)歹一去蚤一Yyi刍7z(5)i一砧(6)m一1直流偏移DvG口(7)标准差厂iF一击蚤cy。屯,2(8)S=rilaXS,(i一1,2, ,m)(9)非线性误差(10)JJF 1219-2009y。一rflaxJY:一(Gvi-4-D)线性度L=等lOO(12)系统误差A=鱼意卫(13)其中,G。为标称灵敏度,D。为标称直流偏移。误差限:A一竺监(14)722方法二:冲击标准法 接线如图4所示,选定被校激光测振仪的速度量程,激励为冲击速度信号。用冲击标准装置输出各种幅度Vi的冲击速度波形,经过与721相同的过程,获得被校激光测
18、振仪速度量程的线性度、灵敏度等参数。图4激光测振仪校准连线框图冲击标准法73频率特性接线如图2所示,选定被校激光测振仪的速度量程咖和振动频率范围。 激励为正弦速度信号,其频率厂I,幅度值讪(fi)由振动标准装置直接 给出。选取m一11,在频率测量范围,内,给被校激光测振仪依次输入频率符合式(15)幅度砧()足够大的激励信号。(i一1,m)一A。-4-(i一1)(一1)(i一1,2, ,m)(15)厂RI一,I (16)式中厂L被校激光测振仪可校准的振动频率范围下限;厂H被校激光测振仪可校准的振动频率范围上限。使振动标准装置分别输出振动速度激励信号:vOi()sin(2rcfit+P),(江1,
19、2,m)。用被校激光测振仪(或数字电压表)读取相应幅度”,()的测量值yi(jl, ,”),且”6。按式(17)计算各平均值:歹,一一1Y。(浮1,2,一厶qtl,m),m)(17)l,f J一1增益:Gfi)一东方“_12, mq趵被校激光测振仪的增益G。()随频率变化的特性即为其幅频特性。7JJF 1219-2009选取一160Hz为参考频率点(也可以选取测量频率范围的中间值为参考频率 点),其增益为G,(),则校准频率范围内,其增益平坦度(幅度平坦度)氏:a-max 20lg器i dBi-112, , (19)74量程741方法一:振动标准法 接线如图5所示,选定被校激光测振仪的速度量程
20、。用振动标准装置输出正弦速度波形作激励信号,峰值”。为被校准激光测振仪标称速度量程值7JR的12,频率选 为被校激光测振仪频带中间的一个频率点f(若无特别要求,推荐值为厂一160Hz)。用 被校激光测振仪(或数字电压表)读取速度峰值测量值y。若差值y。一砜、在被校准 仪器的最大允许误差之内,则被校激光测振仪的速度量程rUR按式(20)计算给出。VR一2u。、 (20)图5激光测振仪校准连线框图一振动标准法742方法二:冲击标准法 接线如图6所示,选定被校激光测振仪的速度量程UR。使冲击标准装置输出峰值速度为Vmo5垤的冲击波形,用被校激光测振仪(或数字存储示波器)读取速度峰值 测量值y。若差值
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