单晶硅生产设备培训材料.ppt
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1、,单晶硅设备培训,1.硅料的提炼2.单晶硅片工艺流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升,埚升介绍10.加热部分,目录,硅的提炼:,硅,Si,地球上含硅的东西多的很好像90%以上都是晶硅的,也就是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上就可以了。开始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,在加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住的,气体通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢就变粗了,因为是气体变固体,所以很慢,一个月左右,箱子里有就很多长长的原生多晶硅。,1.硅料的提炼 2.
2、单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分,目录,单晶硅片工艺流程:,1.酸洗:使用稀硝酸HNO3,进行清洗,去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅。,2.清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。,3.单晶硅料烘干:去除水分。,4.挑料:区分P型,N型硅料。,5.配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。,6.单晶炉拉晶:,7.硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。,8.开断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。,9.包装:将开断后的单晶硅棒进行包装,送至下一道工序,10.磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。
3、,11.多线切割:瑞士的264,265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割。0.33mm。,线切割原理:,12.清洗:,13.单晶硅片检测:,1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分,目录,目录,1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分,目录,1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种
4、类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分,单晶炉,目前可以分为:小松炉;642炉;70炉;莱宝炉;80炉;85炉;90炉;95炉;97炉。目前现在国内普遍使用的单晶炉型号为80炉;85炉;90炉。各个单晶炉的工作原理相同,都是根据4的速度进行晶体直径控制及可控硅整流提供50V直流电源,进行加热。小松炉;642炉;70炉,电气控制部分为按钮式;莱宝炉产生后,以后的单晶炉都采用触摸屏式。,单晶炉种类:,目录,1.Si的介绍 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9
5、.晶升,埚升介绍 10.加热部分,目录,1.Si的介绍 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分,1.提拉头:,提拉头:晶升电机,晶转电机,离合器,钢丝绳,光感 限位,磁流体等部件组成。作用:在拉晶过程中,提供晶升与晶转速度,通过PCC控 制模块 的开关量变化,来控制晶体直径。,2.副室,翻板阀,主室:,翻板阀作用:在拉晶过程中,对于提纯,拉ABCD段时,用 于隔离主室与副室,使主室温度,压力一定。,副室作用:拉晶过程中,已拉出的单晶棒存放的位置。主室作用:容纳加热器,石英坩埚,
6、导流罩等,用于硅料 融化的容器。,炉盖:,CCD测径仪,观察窗,水路接头,整体锻造,超低碳不锈钢法兰,主室内部:,籽晶夹,籽晶,石英坩埚,加热器,单晶棒,石棉碳粘,三瓣埚,目录:,1.硅料的提炼 2.单晶硅片生产流程 3.单晶炉展示 4.产品展示 5.单晶炉种类 6.单晶炉结构 7.各个部件的作用 8.单晶工艺流程 9.晶升,埚升介绍 10.加热部分,单晶炉工艺流程:,准备作业,热态检漏,取单晶和籽晶,石墨件取出冷却,真空过滤器清洗,真空泵油检查更换,石墨件清洗,单晶炉室清洗,石墨件安装,石英坩埚安装,装硅料,籽晶安装,抽空,检漏,充氩气,升功率,融料,引晶,放大,放肩,转肩,等径生长,收尾,
7、降功率,停炉冷却,1.准备作业:穿戴好洁净工作服,鞋,带好一次性手套,耐高温手套,研磨巾,酒精,吸尘器,防尘口罩。准备好扳手等各类 工具。准备好取晶和放石墨件的小车。并确认水,电,气等正常。2.热态检漏:检查上一炉功率关闭时间,在停炉冷却2小时后,关闭 氩气总阀,开始愁高空,并记录时间。炉压到3帕 以下,关闭主室球阀和真空泵电源。如0.5小时不到3帕,需 通知维修人员处理。3.取单晶和籽晶:关闭2个速度,关闭氩气。打开翻板阀,将单晶替 升至副室,慢慢旋转出副室,用晶快降下降单晶,在 地面放木板,使单晶尖头垂直接触到木板,剪短籽晶 连接,将单晶放入专用小车上。,详细介绍:,4.石墨件取出冷却:升
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