江苏泰源光电科技有限公司LED蓝宝石衬底生产扩建项目环境影响评价.doc
《江苏泰源光电科技有限公司LED蓝宝石衬底生产扩建项目环境影响评价.doc》由会员分享,可在线阅读,更多相关《江苏泰源光电科技有限公司LED蓝宝石衬底生产扩建项目环境影响评价.doc(63页珍藏版)》请在三一办公上搜索。
1、江苏泰源光电科技有限公司LED蓝宝石衬底生产扩建项目环境影响报告书(简本)建 设 单 位:江苏泰源光电科技有限公司评 价 单 位:环境保护部南京环境科学研究所资质证书编号:国环评证甲字第1901号二一三年三月目 录1 建设项目概况11.1项目地理位置11.2项目由来11.3项目基本内容31.4项目建设规模31.5厂平面布置71.6生产工艺81.7建设周期及投资概况111.8与法律法规、政策、规划及规划环评的相符性142 建设项目周围环境现状182.1 建设项目所在地的环境现状182.2建设项目环境影响范围213 建设项目环境影响预测及拟采取的主要措施与效果223.1 工程分析223.2建设项目
2、评价范围内的环境保护目标分布情况303.3 主要环境影响评价323.4对环境敏感目标的环境影响分析353.5污染防治措施、生态保护措施363.6环境风险分析预测结果、风险防范措施及应急预案433.7环境保护措施的技术、经济论证结果493.8环境经济损益分析结果503.9卫生防护距离内的搬迁所涉及的单位、居民情况及相关措施513.10环境管理与监测计划514公众参与544.1公众参与的目的和作用544.2公众参与对象和方式544.3信息公开方式及公开内容544.4调查结果统计与分析574.5调查结果反馈及建议594.6总结595 评价结论606 联系方式60 1 建设项目概况1.1项目地理位置宿
3、迁市地处江苏北部,下辖沭阳、泗阳、泗洪三县和宿城区、宿豫区,总面积8555km2,人口515万,是新亚欧大陆桥东桥头堡城市群中重要的中心城市,地理位置优越,交通运输便利。其东临沿海港口城市连云港,西靠全国交通枢纽城市徐州,北临骆马湖,紧邻陇海、沂淮铁路,京杭大运河、古黄河纵贯市区南北,京沪、宁徐高速公路绕城而过。宿迁市京沪高速公路、宁宿徐高速公路是宿迁与北京、上海、南京和徐州之间的快速通道;新长铁路将宿迁和长江三角洲地区有机联系起来;京杭大运河、连云港港口和观音机场、白塔埠机场,架起了宿迁市对外联系的桥梁。宿迁经济开发区位于宿迁市新城区南侧,紧邻宁宿徐高速公路和城市主干道徐淮公路,地理位置优越
4、,交通便捷。本项目位于宿迁经济开发区内,其具体地理位置详见图1.1-1。1.2项目由来江苏泰源光电科技有限公司属中外合资企业,是一家主要从事发光二极管用的蓝宝石晶片的研发、生产和销售的高新技术企业。公司由中国江苏华旭新能源投资有限公司出资25%,加拿大阿波罗太阳能发展有限责任公司出资75%组成。LED是Light Emitting Diode(发光二极管)的简称,属于一种化学物半导体元件,能将电能转化为光。LED具有发光效率高、环保、寿命长、体积小等优点,是目前世界上最先进的照明技术。LED被广泛应用于家庭、商业机构、车辆和公共场所等。随着生产成本的降低、器件功率和效率的提高,LED将在汽车电
5、子、家庭照明、大屏幕平板显示器的背光源以及更高功率的照明应用领域成为主流产品。半导体照明产业技术发展的基石是衬底材料。Al2O3蓝宝石单晶的物理性能好,成为半导体材料的最佳衬底材料。近年来LED照明市场的迅速发展,随之带来蓝宝石晶体衬底材料的巨大需求。江苏泰源光电科技有限公司计划在宿迁经济开发区继续投资23460万美元(折合人民币147608.8万元),扩建年产1260万片LED蓝宝石衬底生产项目。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法等相关法律、法规的规定,江苏泰源光电科技有限公司于2012年9月委托环境保护部南京环境科学研究所承担该项目的环境影响评价工作。评价单位按照环
6、境影响评价程序,对建设项目可研资料和厂方提供的技术资料进行了研究分析,对项目拟建地址进行了踏勘,对周围环境进行了现状调查、监测,结合国家和地方的环保政策、要求,编写完成环境影响报告书,以作为项目环保审批的依据以及今后环保设施建设和环境管理的参考。1.3项目基本内容江苏泰源光电科技有限公司LED蓝宝石衬底生产扩建项位于江苏宿迁经济开发区内,通湖大道西侧,开发区大道北侧。项目投23460万美元,拟在江苏宿迁经济开发区内建设LED蓝宝石衬底生产扩建项目。本项目建设规模为1260万片/年LED蓝宝石衬底材料,本项目建成后全厂生产规模为1400万片/年LED蓝宝石衬底材料。本项目新增定员298人,年工作
7、7200小时,三班制。1.4项目建设规模本次扩建项目设计规模为年产1260万片LED蓝宝石衬底材料。建设内容包括:年产1260万片LED蓝宝石衬底材料生产线,另外还包括新建变配电站、厂内污水处理站、纯水站及其它公用工程及辅助设施。本项目的主体工程组成及产品方案见表1.4-1。表1.4-1 本项目主体工程及产品方案表序号工程名称产品名称设计能力年运行时数现有项目本项目新增扩建后全厂1LED蓝宝石衬底材料生产线LED蓝宝石衬底材料140万片/年1260万片/年1400万片/年7200h本项目蓝宝石晶棒质量指标见表1.4-2。表1.4-2 本项目蓝宝石晶棒质量指标表指标参数分子式Al2O3密度3.9
8、5-4.1克/立方厘米长度30.0cm直径15.54cm晶体结构六方晶格晶格常数a=4.785 , c=12.991莫氏硬度9 (仅次于钻石:10)熔点2045沸点3000热膨胀系数5.810 -6 /K比热0.418W.s/g/k热导率25.12W/m/k ( 100)折射率no =1.768 ne =1.760dn/dt13x10 -6 /K(633nm)透光特性T80% (0.35m)介电常数11.5(c), 9.3(c) 本项目蓝宝石衬底产品质量指标见表1.4-3。表1.4-3 本项目蓝宝石衬底产品质量指标表指标参数型号6英寸规格材料高纯度单晶Al2O3 99.996%晶向C轴(000
9、1)0.3直径152.4mm厚度1.2mm总厚度偏差10m翘曲度10m定位面方向A面(11-20)0.5定位边长161.2mm正面epi-ready polished(外延开盒即用)表面粗糙度Ra0.3nm背面Ra=0.51.2m包装洁净室内真空冲氮包装注:本次扩建项目的蓝宝石晶棒和蓝宝石衬底产品的规格和型号均与一期项目一致。本次扩建项目主体工程组成主要包括切片、抛光、研磨、清洗等生产车间。本次扩建项目工程主体工程情况见表1.4-4。表1.4-4 本各车间面积及作业性质表序号工程名称(车间、生产装置或生产线)占地面积(m2)作业内容1四号厂房15248原料及产品仓库、固废堆场、包装工序 2五号
10、厂房10194抛光、研磨、清洗、检测工序3六号厂房8160长晶工序、纯水制造工序4七号厂房81605八号厂房10194切割、取晶工序本次扩建项目公用及辅助工程情况详见表1.4-5。表1.4-5 本次扩建项目公用及辅助工程情况表类别设计能力备注现有项目本次扩建项目全厂公用工程办公楼900m21942m22842m2本次新建,5层,84.6 m22.95m,为日常的办公场所研发楼-764m2764m2本次新建,3层,32.9 m23.2m,用于技术研发,不含试验生产及生活用水21688m3/a167842m3/a189530m3/a开发区供水管网供应循环冷却水系统249000m3/a2241000
11、m3/a2490000m3/a排水系统设雨污分流、清污分流系统,污水进园区市政污水管网供电系统本项目电源由园区内220KV叶苌变电站供给,供电电压为110KV,经厂内两级变压后供应生产和生活用本次新建两个变电站,一座作为110/10KV的变电站,另一座作为10/0.4KV的变电站,面积均为432 m2,同时一期工程的供电系统不建,统一使用本次新建变电站绿化5840m218400m224240m2本次绿化率为12%纯水站制备能力1.5t/h制备能力13t/h制备能力13t/h本次新建制备能力13t/h的纯水站,采用RO反渗透制备工艺,同时一期工程的纯水站不建,统一使用本次新建纯水站压缩空气2台,
12、单台供气能力40m3/min,0.8MPa5台,单台供气能力40m3/min,0.8MPa5台,单台供气能力40m3/min,0.8MPa本次新建空压站一座,采用RO反渗透制备工艺,同时一期工程的空压站不建,统一使用本次新建空压站空调系统1套,单台功率40KW/套2套,单台功率40KW/套3套,单台功率40KW/套本次新建储运工程原料仓库4000m25083m29083m2本次新建,位于一号厂房内成品仓库4000m25083m29083m2本次新建,位于一号厂房内固废堆场200m21000m21200m2本次新建,位于一号厂房内运输本次原辅材料:66.402t/a;产品:54.45t/a汽车运
13、输环保工程HCl废气治理1套废气洗涤塔1套废气洗涤塔2套废气洗涤塔本次新建一套废气处理设施,废气合并后通过1根15m高、0.5m内径排气筒排放;项目建成后全厂共设两根废气排气筒NH3废气治理1套废气洗涤塔1套废气洗涤塔2套废气洗涤塔厂内污水处理站设计处理能力100m3/d设计处理能力400m3/d设计处理能力400m3/d本次新建一座400 m3/d污水处理站,同时一期工程的污水处理站与污水排口不建,统一使用本次新建污水处理站和污水排放口,污水经处理达标后接管河西污水处理厂事故池100m3700m3700m3满足事故风险要求(注:考虑到一期事故池未建,统一使用二期事故池)噪声隔声、消声等综合措
14、施满足排放标准要求固废200m31000m21200m3危险固废委托有资质单位,一般固废综合利用,各种固废均得到妥善处置由于公司一期项目与本次扩建项目的生产产品和工艺一致,因此本次扩建项目建设后,将会对一期工程的变电系统、污水处理系统、空压系统及纯水制备系统等公辅工程进行调整,具体调整情况详见表1.4-6。表1.4-6 本次扩建项目全厂公辅工程调整情况表序号工程类别一期项目规划建设规模本次扩建项目建设规模调整情况1厂内污水处理站设计处理能力100m3/d设计处理能力400m3/d本次扩建项目新建一座400 m3/d污水处理站,同时一期工程的污水处理站与污水排口不建,统一使用本次新建污水处理站和
15、污水排放口,污水经处理达标后接管河西污水处理厂2纯水站设计制备能力1.5t/h设计制备能力13t/h本次扩建项目新建制备能力13t/h的纯水站,采用RO反渗透制备工艺,同时一期工程的纯水站不建,统一使用本次新建纯水站3空压站2台,单台供气能力40m3/min,0.8MPa5台,单台供气能力40m3/min,0.8MPa本次扩建项目新建空压站一座,采用RO反渗透制备工艺,同时一期工程的空压站不建,统一使用本次新建空压站4变电站系统两个变电站,由园区110KV配电系统供给两个变电站,面积均为432m2,由园区110KV配电系统供给本次扩建项目新建两个变电站,一座作为110/10KV的变电站,另一座
16、作为10/0.4KV的变电站,面积均为432 m2,同时一期工程的供电系统不建,统一使用本次新建变电站5事故池100m3700m3本次新建700m3事故池(注:考虑到一期事故池未建,统一使用二期事故池)1.5厂平面布置(1)总图布置原则符合当地城市规划的要求,满足项目选址意见书的各项规划设计条件。适应工艺流程及外部运输条件,务求物料顺行,运距短捷,尽量消除物料倒运。功能分区明确,厂区外形规整。在满足生产工艺要求条件下,建筑物尽量联合设置,提高土地利用率。因地制宜,合理利用自然条件,减少基建费用。合理进行厂区竖向布置设计,满足生产、运输、装卸、场地防洪及排水的要求,并与厂外有关的道路、排水系统、
17、厂区周围及相邻单位场地标高相适应。厂区群体建筑的平面布置与空间造型应协调,形成整洁优美的环境,并根据环保和绿化的要求,合理确定绿化用地。结合外部交通运输条件地发展规划,考虑远期厂内导入铁路运输的可能性。(2)总体布置本工程项目在宿迁经济开发区内进行建设,总用地约157亩。根据项目要求、厂址条件、生产储运特点进行总图布置,力求紧凑合理,建筑布局满足工艺要求,避免运输重复往返。在厂区北侧、南侧共设置两个出入口,仓库设置在南入口处,使办公楼远离抛光、研磨等生产车间,同时也便于原料及产品的运输;生产车间位于厂区中间位置;办公区域位于厂区南侧位置。(3)绿化厂区内绿化可以美化厂容厂貌,滞尘降噪,改善厂区
18、环境小气候,本次扩建项目根据厂区内不同的功能分区进行绿化布置。在厂前区种植观赏价值较高的乔木、花乔木、花灌木、花卉及优良的草坪,并适当布置绿化建筑小品;行道树选择主干挺拔、树形优美、不妨碍卫生、耐修剪、生 长较快的乔木;在架空管线和管廊的两侧,种植耐修剪、根系浅的小乔木及灌木,其下方可种植花卉及草皮,使整厂区构成一个优美的空间环境。本次扩建项目厂区平面布置图详见图1.5-1,现有一期项目和本次扩建项目调整后的的厂平面布置图见图1.5-2。1.6生产工艺1.6.1 单晶生产工艺流程本次LED蓝宝石衬底生产扩建项目主要包括:单晶生产、蓝宝石衬底晶片加工工序。单晶生产工艺流程图见图1.6-1。图1.
19、6-1 单晶生产工艺流程图工艺流程描述:将高纯氧化铝准备好并填充到晶体炉腔内,架设好晶种(蓝宝石单晶)。密封炉体后,将炉体抽真空达到所需要求,电加热升温,将原料加热至熔化后形成熔液,再用晶种接触到熔液表面,在晶种与熔液的固液界面上开始生长和晶种相同晶体结构的单晶。晶种以极缓慢的速度往上拉升,在晶种往上拉升一段时间后形成晶颈。待熔液与晶种界面的凝固速率稳定后,晶种便不再拉升,也没有作旋转,仅以控制冷却速率方式来使单晶从上方逐渐往下凝固,最后凝固成一整个单晶晶锭。降温后,将晶锭取出,进行宏观检测后钻取晶棒。对晶棒进行微观检测分选后,即可得到半成品晶棒,并进入晶片加工流程。单晶生长是在单晶炉内完成,
20、整个流程约160200小时,整个长晶工序无工艺废气产生。单晶炉无需清洗,因此该工序也工艺废水产生,只有在检测过程中产生的不合格晶棒,可以回单晶炉重新长晶。1.6.2蓝宝石衬底晶片加工生产工艺流程本次扩建项目蓝宝石衬底晶片生产工艺流程见图1.6-2。图1.6-2 蓝宝石衬底晶片加工工艺流程图(1)切割方式项目采用钢线切割技术将前面定向好的晶棒以每分钟3-5毫米的速度切割成单个的小晶片,切割过程中加入切削液,起润滑和冷却作用。切割过程产生的少量晶粉在切削液作用下全部进入固废,产生清洗废水W1、废钢线S4和切削液S3。(2)退火切割后的晶片必须经过边缘和退火处理,消除切割产生的应力,用红外将晶片缓慢
21、加热至300500,保持足够时间,然后以适宜速度缓慢冷却。使经过切削加工晶片软化,改善塑性和韧性,使化学成分均匀化,去除残余应力。(3)粗磨单晶蓝宝石具有很好的热特性、耐磨性、电气特性和介电特性,其硬度达到莫氏9级,在高温下仍具有较好的稳定性,加压至0.13MP的压力来对基片进行研磨,此时研磨盘得转速调至80转每分钟,粗磨和精磨目的是将其表面损伤层去除,使用一次研磨剂去除损伤层,一般去除量在1020m。粗磨工序中产生废研磨液S5。(4)倒角将退火的晶片进行修整成圆弧形,防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的晶粉采用水喷淋,产生废水W2。(5)精磨使用精磨剂改
22、善晶片表面的微粗糙程度,一般去除量在1m以下,从而得到高平坦度晶片。精磨工序产生废废金刚石研磨液S6。(6)抛光本工序以硅胶作为抛光液,使晶片表面粗糙度降低,以获得光亮、平整的表面。该工艺过程要求将抛光液的压力调至0.1MPA,转速设定为650转每分钟,设定温度检测为30-50摄氏度之间,抛光后的表面粗糙度小于0.4NM,平整度小于5UM。抛光工序产生硅胶清洗废水W3和废抛光液S7。(7)清洗本项目采用盐酸-氨水两段清洗法。将盐酸配成3%左右的洗液,清洗晶片,然后再用纯水清洗,之后用配置成的约3%的氨水清洗,最后再利用纯水清洗干净。清洗过程产生清洗废水W4、废气G1、废酸液S8、废碱液S9。(
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 江苏 光电 科技有限公司 LED 蓝宝石 衬底 生产 扩建 项目 环境影响评价
链接地址:https://www.31ppt.com/p-2812330.html