太阳能电池工作原理光伏企业.ppt
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1、制绒岗位须知,单晶制绒:用碱腐蚀多晶制绒:用硝酸腐蚀,制绒作用:减少反射,增强对太阳光的吸收。,单晶制绒的原理:,硅的各向异性腐蚀,在不同的晶向上的腐蚀速度不一致,在100面上的腐蚀速率与111面上的腐蚀速率R111的比值 R100:R111在一定的弱碱溶液中可以达到500,单晶硅制绒化学方程式,尚能电池制造部多晶硅制绒化学方程式:,影响硅片转换效率的金属铁Fe、钠Na、锰Mn、锑Ti、金、银、钨,HF+HNO3+Si H2SiF6+NO2+H2O,尚德电池制造部多晶硅制绒化学方程式:,绒面的各种形貌,单晶原始形貌(500倍),单晶绒面(500倍),单晶绒面(SEM),多晶绒面(SEM),太阳
2、电池制造过程-化学清洗,HCL去除硅片表面的金属离子HF去除硅片表面的 氧化物,P型半导体硅,尚能电池制造部清洗间,扩散间,取片,拿石英舟,上桨,装片,进炉,设置参数,测片,取片,流入下道工序传递箱,太阳电池制造过程-扩散,在P型半导体表面掺杂五价磷原子在硅片表面形成PN结,外层:磷硅玻璃,中间:N型半导体硅,P型半导体硅,P型硅,四探针测量方块电阻,扩散原理化学方程式,大氮:均衡管内气体小氮:携带扩散源扩散源:三氯氧磷清洗源:三氯乙烷C2H3CL3 洁净度:动态1万级、静态10万级,扩散原理及检测,PN结太阳电池的心脏,扩散的目的:形成PN结,扩散装置示意图,气路图,压缩空气,O2,N2(1
3、.2),N2(3.4),SUNERGY电池制造部刻蚀间生产流程:,取片,上料整理,称重,上料吸片,刻蚀去,下料吸片,称重,测R,数据录入,在制品传送,尚德电池制造部刻蚀间,夹片,取片,去PSG,刻蚀,上料,整理,插片,取片,甩干,检测,运行,SUNERGY电池制造部刻蚀间RENA水平清洗机,尚德电池制造部刻蚀间(去PSG清洗机),刻蚀去,刻蚀目的:去除边缘PN结,防止上下短路,P型硅,N型硅,磷硅玻璃(PSG),KOH的作用:去除硅片表面的多孔硅(黑色或红色)。Si+2KOH+H2O=K2SiO3+2H2磷硅玻璃的组成:磷原子(P)和二氧化硅(SiO2)SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O
4、,P型半导体硅,P型硅,N型硅,磷硅玻璃(PSG),氢氟酸是无色透明的液体,具有较弱的酸性、易挥发性和很强的腐蚀性。但氢氟酸具有一个很重要的特性是它能够溶解二氧化硅,因此不能装在玻璃瓶中。,RENA水平清洗机设备工艺控制要素:刻蚀槽:液位、温度、流量、抽风、溶液配比碱槽:流量、浓度、温度酸碱槽:流量、浓度吹干:压空流量、传动频率,干法刻蚀等离子体刻蚀反应,尚能电池制造部刻蚀间,PECVD,插片,放入洁净柜,检查,推入上料区,取料,卸片,运行程序,送入下道工序,填写表单,太阳电池制造过程-PECVD,在硅片表面镀上一层深蓝色的氮化硅膜可以充分吸收太阳光,降低反射在硅片表面有氢钝化的作用,氮化硅膜
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