浅谈气体传感器及气体分析.ppt
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1、河南汉威电子有限公司HENAN HANWEI ELECTRONICS CO.,LTD Http:/,浅谈气体传感器及气体分析,2023/2/1,共同了解的主要内容,气体传感器基本知识 1、传感器的基本概念和分类 2、半导体气体传感器的原理及应用 3、催化燃烧式气体传感器原理及应用 4、电化学气体传感器的原理及应用 5、热线式气体传感器原理 6、热传导式气体传感器基本原理 7、红外原理传感器基本原理,传感器的基本概念和分类,传感器:传感器是能感受(或响应)规定的被测量并按照一定规律转换成可用信号输出的器件或装置。传感器通常由直接响应于被测量的敏感元件和产生可用信号输出的转换元件以及相应的电子线路
2、所组成。国家标准这样定义“传感器”:能感受规定被测量的并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置。通常由敏感元件和转换元件组成。国际电工委员会(IEC)的定义为:“传感器是测量系统中的一种前置部件,它将输入变量转换成可供测量的信号”。气体传感器:是将空气中的气体含量转化为电信号的器件。传感器产生的电信号经电子线路处理、放大和转换后,实现气体含量的显示和报警。可见,传感器是气体检测报警仪的基础的、核心部件,它的优劣一定程度上决定了气体检测报警仪的质量和功能指标。,传感器的基本概念和分类,气体传感器的分类:1、物理类传感器热传导式气体传感器、红外式传感器2、化学类传感器半导体式气体传感器、接触燃
3、烧(催化燃烧)式气体传感器、电化学式气体传感器、热线式气体传感器,传感器的基本概念和分类,气体传感器的发展史:在实际应用中最先被大规模应用的气体传感器是半导体传感器,其次是催化燃烧传感器和电化学传感器,现在红外传感器也开始得到应用。20世纪初第一只半导体传感器诞生于英国,并一直在欧洲发展和应用,直到20世纪50年代半导体气体传感技术才流传到日本,并有日本人把这项技术推进到了顶峰。而欧洲人在发现了半导体传感器的种种不足后开始研究其它传感器。气体传感器的理论直到70年代才传入到我们国家,80年代我国才开始研制气体传感器,整个技术主要继承于德国。,考查气体传感器的主要指标传感器在现场使用,承受各种恶
4、劣环境和气氛的影响,特别是固定式仪器的传感器,长期连续运转,又有防爆和供电容量的限制,因此对气体传感器的要求非常严格。一般考察传感器有以下几个项目:(1)检测范围和分辨率;(2)抗中毒能力和寿命;(3)检测精度和重复性;(4)抗温湿度影响能力(5)稳定性和零点漂移;(6)安全性,防爆性能;(7)反应速度;(8)互换性和检修方便;(9)选择性和抗干扰能力;(10)体积小,重量轻;(11)电流小、节电性好。,传感器的基本概念和分类,传感器的基本概念和分类,为了保证传感器的精度和系统的完整性,气体传感器需要被标定。1、零点设置通常,假设该工作区域的空气是清新的,使用周围的空气作为传感器的零点参考点。
5、因此,区域内传感器的一个好参考点,总是应该空气清新,因为它将代表探测器安装周围的空气条件。2、量程的标定量程的标定可以是相当容易或非常复杂和昂贵,这取决于该气体的种类和浓度的范围。按照原则,为了到达满意的精度,目标气体与背景环境气体的平衡混合物是最好的标定气体。然而,虽然可以做到,但对操作工的技能要求比正常的要高。实际上,大多数的标定气体是从化学工厂买来的。,半导体气体传感器的原理及应用,半导体气体传感器的基本工作原理:其敏感体主要是由半导体材料制成的,其中应用最为广泛的半导体材料不是常见的硅、锗半导体,而是金属氧化物半导体,在气体传感器领域中应用最多的金属氧化物是SnO2,ZnO,Fe2O3
6、,WO3等。半导体式气体传感器的基本工作原理:就是在一定条件(温度)下,在被测气体到半导体表面并与吸附在半导体表面的氧发生化学反应的过程中伴随电荷转移,进一步引起半导体电阻的变化,通过测量半导体电阻的变化就可以实现对气体的检测。,半导体气体传感器的原理及应用,半导体气体传感器工作原理说明:半导体在空气中被加热到一定温度时,氧原子被吸附在带负电荷的半导体表面,半导 体表面的电子会被转移到吸附氧上,氧原子就变成了氧负离子,同时在半导体表面形成一个正的空间电荷层,导致表面势垒升高,从而阻碍电子流动。在敏感材料内部,自由电子必须穿过金属氧化物半导体微晶粒的结合部位(晶界)才能形成电流。由氧吸附产生的势
7、垒同样存在于晶界而阻碍电子的自由流动,传感器的电阻即缘于这种势垒。在工作条件下当传感器遇到还原性气体时,氧负离子因与还原性气体发生氧化还原反应而导致其表面浓度降低,势垒随之降低。导致传感器的阻值减小。,半导体气体传感器的原理及应用,按传感器所使用的敏感材料的差异可分为:SnO2类,ZnO类、Fe2O3类等。因为掺杂种类繁多,此分类不准确;按传感器内部结构的差异可分为旁热式、直热式、常温式三类。被测气体在半导体表面与氧发生化学反应时通常需要一定的温度,要获得所需要的温度就必须通过加热器给传感器通电加热。当加热器与半导体材料为隔离状态时,这一类结构的传感器就是旁热式气体传感器;当加热器与半导体材料
8、直接接触时,这一类结构的传感器即为直热式气体传感器;不需要附加加热器的传感器就是常温式气体传感器。,半导体气体传感器的原理及应用,半导体气体传感器的性能 1、灵敏度:R0/Rs(或Vs/V0)5 即传感器材料在洁净空气中的电阻与其在一定的气体浓度下电阻的比;或指在特定的测试回路中,在一定的气体浓度下回路输出的电压(负载电压)与其在空气中输出电压的比。从实用的角度一般用电压比来表示传感器的灵敏度,半导体气体传感器在低浓度范围内(数十到数千个ppm)具有较高的灵敏度。,图5 旁热式元件的灵敏度曲线,半导体气体传感器的原理及应用,2、选择性选择性:指传感器对气体种类的识别能力。在完全未知的气体环境中
9、(即完全不知道环境中有哪几种气体)传感器不能告诉人们探测到的是什么气体,即半导体式的气体传感器不具有本质的选择性;在已知的气体环境里(即人们知道要探测环境里存在哪些气体),半导体式气体传感器可实现相对的选择性探测。如GB15322规定,可燃性气体探测器在1000ppm乙醇蒸气中浸泡10分钟不得发出警报信号,既是基于在家庭环境最常见的气体就是可燃气(如甲烷)、乙醇(典型干扰气体)。,半导体气体传感器的原理及应用,3、响应时间:传感器接触被测气体后电阻变化达到稳定值时所需要的时间。响应时间一般会小于10s;4、恢复时间:传感器脱离被测气体后电阻达到在空气当中的稳定值时所需要的时间。恢复时间一般小于
10、30s。,图6 旁热式元件的响应恢复曲线,半导体气体传感器的原理及应用,5、稳定性 环境氧浓度的变化、水对表面活性位的占据、环境温度的变化、干扰气体的影响、传感器敏感材料本身物理性质(颗粒)的变化等都会引起传感器特性的变化。周期性特点突出(20%以内),图7旁热式元件长期稳定性曲线(5000ppmCH4),半导体气体传感器的原理及应用,6、温、湿度影响传感器的检测原理是基于气体在传感器表面的化学吸附、反应与脱附。环境温度的变化会改变化学反应速度,从而影响传感器的敏感特性。此外,水蒸气会吸附在传感器表面,湿度将会引起RS的降低。,图8旁热式元件温湿度特性曲线,半导体气体传感器的原理及应用,7、初
11、始稳定特性 传感器出厂之前都要通过较长时间的老化以使其各项性能趋于稳定。老化后的传感器在经过冷置以后,无论时间长短,在上机调试前,都必须经过一定时间(一般在几十分钟到48小时不等)的老化预热,传感器的各项性能才会重新稳定下来。经过冷置存放后的传感器,通电瞬间传感器敏感体的电阻会急剧下降,后逐渐变大至稳定,整个过程所需要的时间取决于存放环境以及冷置时间的长短,在洁净环境中存放时间不超过10天时初始稳定时间会在30分钟以内,其它情况下应不少于48小时。,图9 旁热式元件的初始恢复特性,半导体气体传感器的原理及应用,8、功耗:半导体气体传感器需要消耗能量以保持所需的工作温度,器件的功耗与敏感材料、元
12、件结构及所要检测的气体种类密切相关。一般情况下旁热式元件的功耗会大一些(约750mw),直热式元件(除三氧化二铁元件外)及常温(非加热)元件功耗要小一些(一般小于250mw)。功耗对便携式仪器来讲是一个重要指标。9、线性:浓度与灵敏度呈指数关系,不可避免的会出现饱和现象。图见灵敏度曲线10、寿命:除机械性损伤造成传感器失效外,半导体气体传感器使用寿命一般会超过10年。,半导体气体传感器的原理及应用,半导体气体传感器的应用半导体气体传感器主要应用于工业、家用领域中爆炸下限内可燃性气体及毒性气体的半定量、定性检测 导体气体传感器使用中必须避免的情况:1)暴露于有机硅蒸气中 如果传感器的表面吸附了有
13、机硅蒸气,传感器的敏感材料会被包裹住,抑制传感器的敏感性,并且不可恢复。传感器要避免暴露其在硅粘接剂、发胶、硅橡胶、腻子或其它含硅塑料添加剂可能存在的地方。2)高腐蚀性的环境传感器暴露在高浓度的腐蚀性气体(如H2S,SOX,Cl2,HCl等)中,不仅会引起加热材料及传感器引线的腐蚀或破坏,并会引起敏感材料性能发生不可逆的改变。,半导体气体传感器的原理及应用,3)碱、碱金属盐、卤素的污染 传感器被碱金属尤其是盐水喷雾污染后,及暴露在卤素如氟中也会引起性能劣变。4)接触到水 溅上水或浸到水中会造成敏感特性下降。5)结冰 水在敏感元件表面结冰会导致敏感材料碎裂而丧失敏感特性。6)施加电压过高 如果给
14、敏感元件或加热器施加的电压高于规定值,即使传感器没有受到物理损坏或破坏,也会造成引线和/或加热器损坏,并引起传感器敏感特性下降。7)电压加错管脚(仅限于旁热式系列),半导体气体传感器的原理及应用,2、半导体气体传感器使用中应尽可能避免的情况 1)凝结水 轻微凝结水会对传感器性能会产生轻微影响。但是,如果水凝结在敏感元件表面并保持一段时间,传感器特性则会下降。2)处于高浓度气体中 无论传感器是否通电,在高浓度气体中长期放置,都会影响传感器特性。3)长期贮存 在不通电情况下长时间贮存,其电阻会产生可逆性漂移,这种漂移与贮存环境有关。传感器应贮存在清洁空气中。长期不通电贮存的传感器,在使用前需要长时
15、间通电以使其达到稳定。,半导体气体传感器的原理及应用,4)长期暴露在极端环境中 无论传感器是否通电,长时间暴露在极端条件下,如高湿、高温、或高污染等极端条件,传感器性能将受到严重影响。5)振动 频繁、过度振动会导致敏感元件引线产生共振而断裂。在运输途中及组装线上使用气动改锥/超声波焊接机会产生这种振动。6)冲击 如果传感器受到强烈冲击会导致其引线断线。,催化燃烧式气体传感器基本原理及应用,催化燃烧式气体传感器的基本工作方式:是由接触燃烧催化载体和感温元件铂丝螺旋圈制成的。其基本工作方式为:在一定的条件下(温度),被测可燃性气体到达传感器表面与吸附氧发生剧烈的无焰燃烧反应,放出大量的热,导致感温
16、线圈电阻发生变化,通过检测感温线圈电阻的变化实现对气体的检测,由于环境温度的变化也会引起感温线圈电阻的变化,因此,元件通常配对使用,其中一只为补偿元件(白元件)对气体无反应,另一只为检测元件(黑元件)可与气体发生反应,白元件用以抵消(补偿)环境因素带来的影响。当传感器周围的温度、湿度、压力发生变化时,检测元件和补偿元件的电阻几乎会发生同步变化,可有效抵消环境因素带来的影响。,催化燃烧式气体传感器基本原理及应用,催化燃烧式气体传感器基本原理及应用,催化燃烧式气体传感器的性能:1、灵敏度(Ve-V0)12mv/25%LEL 指在可燃性气体浓度为25%LEL时,惠斯通电桥的电压输出与其在空气中输出的
17、差。接触燃烧时气体传感器在灵敏度方面最大的特点即:在爆炸下限时同一只传感器对所有的气体具有相同的灵敏度。,2、响应、恢复时间响应时间:传感器接触被测气体后电桥输出变化达到稳定值所需要的时间。接触燃烧式气体传感器的响应时间一般会小于10s;恢复时间:传感器脱离被测气体后电桥输出电压值达到在空气当中的稳定值所需要的时间。接触燃烧式气体传感器的恢复时间一般小于30s 3、选择性 与半导体气体传感器基本相同,在已知的气体环境里可实现相对的选择性探测。其相对选择性要明显好于半导体气体传感器。尤其是对水蒸汽、乙醇蒸汽、烟雾的抗干扰能力较好,催化燃烧式气体传感器基本原理及应用,催化燃烧式气体传感器基本原理及
18、应用,4、线性:100%LEL以下灵敏度与浓度呈线性关系,由于热传导和吸附效应,在浓度较高时曲线会出现向下弯曲现象。5、稳定性:环境温度、湿度的变化会影响传感器的热平衡、另外干扰气体的影响、传感器载体材料、催化剂本身物理性质(颗粒)的变化等都会引起传感器特性的变化。(10%以内),图7MC系列长期漂移曲线,从右图中可以看出在空气中变化不明显,但灵敏度有衰减,所以其要定期标定。最好3个月或者6个月标定一次,条件不好的最长不超过一年,催化燃烧式气体传感器基本原理及应用,6、初始稳定特性:和半导体气体传感器一样,催化燃烧时气体传感器在出厂之前要经过一定时间的老化以使其性能稳定。老化后的传感器在经过一
19、段时间的冷置存放后,使用时要经过1小时左右的预热稳定时间。7、功耗:同半导体气体传感器一样,接触燃烧式气体传感器工作时需要消耗一定的能量以保持工作温度。目前常见的接触燃烧式气体传感器的功耗在250mw-450mw。8、寿命:由于工作温度要高于半导体气体传感器,以及载体催化剂本身的缺陷,其使用寿命要比半导体的寿命要短(2-5年左右)。,催化燃烧式气体传感器基本原理及应用,催化燃烧式气体传感器的应用适用于工业、家用领域爆炸下限一下可燃气体的定性、半定量、定量检测。催化燃烧式气体传感器的输出特性本系列传感器可以检测多种可燃性气体,理想情况下,传感器的输出与被测可燃性气体的种类无关,事实上,由于不同的
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- 浅谈 气体 传感器 分析
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