第4章 非晶材料制备技术ppt课件.ppt

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1、第四章 非晶态固体及 其制备技术,2,物质的聚集态，从气体、液体到固体，从有序度来讲，其中原子或分子排列有序度是从低到高。非晶态物质可以看作有序度介于晶体和液体之间的一种聚集态。它和液晶一样，不像晶态物质那样具有完善的近程和远程有序，而是不存在长程有序，仅具有近程有序。因此“短程有序”是非晶态固体的基本特征之一。这种“近程”范围一般只是个小区间，大约为100150nm。,1概论,3,（1）只存在小区间范围内的短程有序，在近程或次近邻的 原子间的键合（如配位数、原子间距、键角、键长 等）具有某种规律性，但没有长程序；（2）非晶态材料的X-射线衍射花样是有较宽的晕和弥散的 环组成，没有表征结晶态特

2、征的任何斑点和条纹，用 电子显微镜也看不到晶粒间界、晶格缺陷等形成的衍 衬反差；（3）当温度升高时，在某个很窄的温度区间，会发生明显 的结构相变，因而它是一种亚稳相。由于人们最为熟悉的玻璃是非晶态，所以也把非晶态称 作无定形体或玻璃体（Amorphous or Glassy States）,2 非晶微观结构上的特征,4,非晶合金的结构特点：结构上呈拓扑密堆长程无序，但在长程无序的三维空间又无序的分布着短程有序的“晶态小集团”或“伪晶核”，其大小不超过几个晶格的范围。均匀的各相同一性：非晶合金中原子排列是原子尺度的无序，不存在结晶金属所具有的晶界、双晶、堆垛、层错、偏析和析出物等局部的组织不均匀

3、缺陷，是一种原子尺度组织均一的材料，具有各向同性的特点；简单单原子结构：由于是单原子组成，故与分子组成的玻璃、高分子聚合物相比，是一种更加理想的单原子非晶结构材料；材料特性的调控性：非晶态合金不受化合价的限制，在较宽的成分范围内可以自由调节其组成。因此，它具有许多结晶合金所不具有优异的材料特性的调控性。热力学上处于亚稳态，晶化温度以上将发生晶态结构相变，但晶化温度以下能长期稳定存在。,5,非晶合金材料的特性：高力学性能：高屈服强度、高硬度、高比强度，超弹性（高弹性极限）、高耐磨损性等；物理特性：高透磁率、高电阻率、耐放射线特性等；化学性能：高耐腐蚀性、高催化活性精密成形性：低熔点、良好的铸造特

4、性、低的热膨胀系 数、对铸型的形状及表面的精密复写性；,6,非晶态材料受到人们的重视是从20世纪50年代开始的。1958年召开了第一次非晶态固体国际会议，尤其是1960年从液态骤冷获得金-硅（Au79Si80）非晶态合金，开创了非晶态合金研发新纪元。此后一系列“金属玻璃”被开发出来，几乎同时也发展了非晶态理论模型，Mott-CFO（莫特-科弗奥）理论模型的奠基者1977年获得诺贝尔物理学奖。这个模型是非晶态体系中电子能态的最基本的模型。莫特开拓了作为固体物理新领域的非晶态物质电子过程的研究，被誉为这个新的分支学科的奠基人。非晶态材料有着其十分优越的价值，应用范围也十分广泛，可用于日常用品保护和

5、装饰、功能材料的功能膜层、电子、电力、化工等领域，块状化的非晶合金在这些行业也显示出十分广阔的应用前景。,3非晶材料的应用,7,因对磁性和无序系统的电子结构的基础性研究，共同获得了1977年度诺贝尔物理学奖。,安德逊（Philip Warren Anderson,1923-）,范弗莱克（John Hasbrouck Van Vleck,1899-1980）,莫特（Nevill Francis Mott,1905-）,8,在电力领域，非晶得到大量应用。例如铁基非晶合金的最大应用是配电变压器铁芯。由于非晶合金的工频铁损仅为硅钢的1/51/3，利用非晶合金取代硅钢可使配电变压器的空载损耗降低6070

6、。因此，非晶配电变压器作为换代产品有很好的应用前景。在“九五”期间，我国自行建成了年生产能力1000吨的非晶带材生产线及相应的年产600吨非晶配电变压器铁芯生产线，这为在我国大力推广节能型非晶配电变压器奠定了良好基础。,9,在电力领域，随着高频逆变技术的成熟，传统大功率线性电源开始大量被高频开关电源所取代，而且为了提高效率，减小体积，开关电源的工作频率越来越高，这就对其中的软磁材料提出了更高的要求。硅钢高频损耗太大，已不能满足使用要求；铁氧体虽然高频损耗较低，但在大功率条件下仍然存在很多问题，一是饱和磁感低，无法减小变压器的体积；二是居里温度低，热稳定性差；三是制作大尺寸铁芯成品率低，成本高。

7、目前采用功率铁氧体的单个变压器的转换功率不超过 20kW。非晶软磁合金同时具有高饱和磁感和很低的高频损耗，且热稳定性好，是大功率开关电源用软磁材料的最佳选择。采用非晶铁芯的变压器的转换功率可达 500kW，体积比功率铁氧体变压器减少50以上。目前在逆变焊机电源中非晶合金已经获得广泛应用，在通讯、电动交通工具、电解电镀等领域的开关电源中的应用正在积极开发之中。下表列出了非晶合金带材的典型性能和一些主要应用。,10,非晶纳米晶带材的典型性能及主要应用领域,11,在电子信息领域，随着计算机、网络和通讯技术的迅速发展，对小尺寸、轻重量、高可靠性和低噪音的开关电源和网络接口设备的需求日益增长、要求越来越

8、高。例如，为了减小体积，计算机开关电源的工作频率已经从20kHz提高到500kHz；为了实现CPU的低电压大电流供电方式，采用磁放大器稳定输出电压；为了消除各种噪音，采用抑制线路自生干扰的尖峰抑制器，以及抑制传导干扰的共模和差模扼流圈。因此，在开关电源和接口设备中增加了大量高频磁性器件，而非晶合金在此大有用武之地。在电子防窃系统中，早期利用钴基非晶窄带的谐波式防盗标签在图书馆中获得了大量应用。最近利用铁镍基非晶带材的声磁式防盗标签克服了谐波式防盗标签误报警率高、检测区窄等缺点，应用市场已经扩展到超级市场。可以预见，随开放式服务方式的发展，作为防盗防伪的非晶合金带材和丝材的应用会急剧增长。,12

9、,在民用产品中，变频技术有利于节约电能、并减小体积和重量，正在大量普及。但负面效应不可忽视，如果变频器中缺少必要的抑制干扰环节，会有大量高次谐波注入电网，使电网总功率因素下降。减少电网污染最有效的办法之一是在变频器中加入功率因数校正(PFC)环节，其中关键部件是高频损耗低、饱和磁感大的电感铁芯。铁基非晶合金在此类应用中有明显优势，将在变频零电绿色化方面发挥重要作用。目前在变频空调中使用非晶PFC电感已经成为一个热点。总之，非晶合金不仅软磁性能优异，而且工艺简单、成本低廉；正在成为一类十分重要的、具有市场竞争优势的基础功能材料。可以预见，非晶材料对我国传统产业改造和高新技术快速发展将发挥越来越重

10、要的作用。,13,以非晶态硅太阳能电池发展为例，研发单晶硅太阳能电池耗资数十亿美元，该电池转化率高，但成本高昂，无法广泛推广。1975年开始研发掺杂非晶硅太阳能电池，转化率不断提高。如果转化率提高到1012%，就可以代替单晶硅太阳能电池；如果组件成本能够再降低，就可以与核能相抗衡。金属玻璃材料也受人瞩目，它比一般金属的强度还要大，例如非晶态 Fe56B56的断裂强度达到370kgmm-2，是一般玻璃钢强度的7倍，已接近理想晶体的水平，并具有好于金属的弹性、弯曲性、韧性、硬度和抗腐蚀性，此外还具有良好的电学性能。,14,由于目前还不能唯一并精确的确定非晶固体中原子的三维排列情况，故只能采用模型方

11、法勾画可能的原子排布，然后将由模型得出的性质与实验比较，再据此修改模型，最终确定非晶固体的组成，并由建立的模型来讨论非晶态固体的微观结构。我们在此只介绍几种简单流行的结构模型。微晶模型 微晶模型的基本思想是：大多数原子与其最近邻原子的相对位置与晶体情形完全相同，这些原子组成一百至数百nm的晶粒。长程有序性消失主要是因为这些微晶取向杂乱、无规的原因。,4.非晶态材料结构模型,15,硬球无规堆积模型 建立该模型的做法是将一定容器中装入钢球，用石蜡类物质固定钢球之间的相对位置，然后测量出各球心的坐标，确定堆积密度，由此建立了硬球无规堆积模型（Model of dense random packing

12、 of hard spheres RDPGS）。其特征是：（1）各向同性相互作用的同种离子在二维空间紧密排列时，总是得到规 则排列的“晶体”，只有在三维空间中才能做无规排列，其具有极大 的短程密度；（2）无规密堆模型可以看作是由四面体、八面体、三角柱（可附3个半 八面体）、Archimedes(阿基米德)反棱柱（可附2个半八面体）以 及四角十二面体等（常称Bernal 多面体）组成。如果计算其组成中 的四面体和八面体，四面体多（86.2%）、八面体少（15.8%），这是非晶态结构的重要特征.（3）非晶态结构中四面体有错列型和相掩型2种排列方式，据此进行的 理 论计算与实验测得的径向分布函数非常

13、接近。下图给出Bernal 多面体及2种四面体错列型和相掩型排列方式。,16,Bernal（贝尔纳）多面体及2种四面体错列型和相掩型排列方式,17,我们知道，制备非晶态固体就是防止结晶的过程。从热力学来看，物质所处状态的稳定性，决定于热力学位能，而对于晶态和非晶态之间的变化，影响热力学位能的主要因素是混乱的变化引起的熵变。由于非晶态的混乱度大于晶态，其自由能也就较高，换言之，非晶态属于亚稳定态。对于非晶态，从固态到液态，一般没有明显的熔化温度，存在一个玻璃化温度Tg。一般定义玻璃化温度Tg为粘度相当于1013泊时的温度，这时位形熵最小，几乎为零。因此只有当熔体冷却温度在玻璃化温度时，非晶态才趋

14、于稳定。为防止结晶发生，一般要求熔体的过冷度T（T=TmTg,Tm为热力学熔点，即粘度接近于零时的温度）要小。,5.非晶态固体的形成规律,（1）热力学规律,18,实践上，经常将无机化合物的Tg作纵坐标、Tm作横坐标，对画成一直线，当直线Tg/Tm=2/3，形成非晶态的冷却速度相当于102/s，如用此冷凝速度，在直线上方的物质容易形成非晶态，在直线下方的物质则难以形成非晶态；若Tg/Tm=1/2，则要使该直线上方的物质形成非晶态，冷却速度要不小于103105/s。此外，还有采用玻璃化温度与物质的升华焓变Hm的经验公式来判断合金形成玻璃能力的参数：To/To液=（To液T液）/To液式中T液为液相

15、温度，To液为理想溶液的液相温度，可表示为 To液=(HfA TAm)/（HfARln(1-X)TAm）式中HfA、TAm分别为溶剂的熔化焓和熔点，X为溶质的摩尔分数。这个值越大越易形成玻璃态。,19,最早对玻璃形成进行研究的是塔曼（Tamman），他认为玻璃形成时，由于过冷液体成核速率最大时的温度低于晶体生长速率最大时的温度。而后发展了动力学理论。一般说，如果IS和U分别表示均匀结晶过程的成核速率和晶体生长速率，那么，单位时间t内结晶的体积率表示为：VL/V=ISU3t4/3 这时，常以VL/V=10-6为判据，若达到此值，析出的晶体就可以检验出；若小于此值，结晶可以忽略，形成非晶态。利用这

16、些数据，还可以绘制出所谓时间（Time）温度（Temperature）转变(Transation)的所谓“三T曲线”。从而估算出避免此处指定数量晶体所需要的冷却速率。下图是时间-温度-结晶的“3T曲线”。,（2）动力学规律,20,时间-温度-结晶的“3T曲线”,21,不论是在非晶制备的理论上，还是在制备实验中，人们都在探讨采用结构学观点描述非晶态的形成。从化学键类型来看，离子键无饱和性、具有密堆积高配位数，金属键也是这样，它们均不易形成非晶态；纯粹的共价键也很少形成非晶态。只有处于离子-共价过渡的混合键型物质，既有离子键容易变更键角易造成无对称变形的趋势、又有共价键不易更改键长和键角的趋势，故

17、此类物质最易形成非晶态。根据这个原理，不同性质元素组合形成非晶态。,（3）结构学规律,22,大致可以分为3类：第一类为类金属元素（或弱金属元素）与非金属元素的组合。类金属元素主要是周期表中A、A、A元素，非金属元素主要是A和A元素，它们能形成诸如氧化物、硫化物、硒化物、氟化物和氯化物等非晶态物质；第二类是准金属元素和金属元素的组合。金属元素则主要是过渡元素和贵金属元素，例如形成Pd-Si、Co-P、Fe-C等非晶态材料。第三类是金属元素和金属元素的组合。前者是A、B、B、B金属，后者是贵金属和稀土金属，它们形成诸如Gd-Co、Nb-Ni、Zr-Pd、Ti-Be等非晶态材料。,23,从成键角度来

18、看，第一类非晶物质结构中包含sp的杂化轨道。第二类和第三类物质，可能包括spd、spdf类型的杂化轨道。在三类物种中，均含有原子半径小而电场强度大的类金属元素或金属元素，这些元素对半径大而场强弱的非金属元素、过渡金属元素以及稀土金属元素都有一定的极化作用，形成离子-共价混合键型的低配位结构。从成键强度考虑，影响因素有原子半径、电负性、极化势等。键强度大易形成玻璃，阳离子氧化数必须不小于3，阳离子的半径不能太大，其电负性最好在1.52.1之间。此外还要求化合物结构中有足够的空旷度，以利于共价型网络结构形成。,24,如前所述，非晶态固体与晶态固体相比，从微观结构讲有序性低；从热力学讲，自由能要高，

19、因而是一种亚稳态。基于这样的特点，制备非晶态固体必须解决下述两个问题：（1）必须形成原子或分子混乱排列的状态；（2）必须将这种热力学上的亚稳态在一定的温度范围 内保存下来，使之不向晶态转变。基于上述特点，最常见的非晶态制备方法有液相急冷和从稀释态凝聚等，包括蒸发、离子溅射、辉光放电和电解沉积等，近年来还发展了离子轰击、强激光辐照和高温压缩等新技术。下面我们主要从原理方面介绍几种方法。,6.非晶态固体的制备方法,一个机理,25,三个基本体系,非晶制备技术体系划分,物质三态,冲击波法,粒子注入法,辐照法,溶胶-凝胶法,其它现代方法,从气态制备非晶,气体辉光放电法,电解沉积法,溅射法,CVD,PVD

20、,从液态制备非晶,粉末冶金法,从固态制备非晶,液体急冷法,悬浮熔炼技术落管技术低熔点氧化物包裹法,26,1）粉末冶金法 粉末冶金是制取金属或用金属粉末（或金属粉末与非金属粉末的混合物）作为原料，经过成形和烧结，制造金属材料、复合以及各种类型制品的工艺技术。目前，由于粉末冶金技术的优点，它已成为解决新材料问题的钥匙，在新材料的发展中起着举足轻重的作用。但它却是是一种古老的方法。人类早期采用机械粉碎法制得金、银、铜和青铜的粉末，用作陶器等的装饰涂料。18世纪下半叶和19世纪上半叶，俄、英、西班牙等国曾以工场规模制取海绵铂粒，经过热压、锻和模压、烧结等工艺制造钱币和贵重器物。1890年，美国的库利吉

21、发明用粉末冶金方法制造灯泡用钨丝，奠定了现代粉末冶金的基础。到1910年左右，人们已经用粉末冶金法制造了钨钼制品、硬质合金、青铜含油轴承、多孔过滤器、集电刷等，逐步形成了整套粉末冶金技术。20世纪30年代，旋涡研磨铁粉和碳还原铁粉问世后，用粉末冶金法制造铁基机械零件获得了很快的发展。第二次世界大战后，粉末冶金技术发展迅速，新的生产工艺和技术装备、新的材料和制品不断出现，开拓出一些能制造特殊材料的领域，成为现代工业中的重要组成部分。,多种工艺,27,粉末冶金发展历史：粉末冶金方法起源于公元前三千多年。制造铁的第一个方法实质上采用的就是粉末冶金方法。而现代粉末冶金技术的发展中共有三个重要标志：1、

22、克服了难熔金属熔铸过程中产生的困难。1909年制造电灯钨丝，推动了粉末冶金的发展；1923年粉末冶金硬质合金的出现被誉为机械加工中的革命。2、三十年代成功制取多孔含油轴承；继而粉末冶金铁基机械零件的发展，充分发挥了粉末冶金少切削甚至无切削的优点。3、向更高级的新材料、新工艺发展。四十年代，出现金属陶瓷、弥散强化等材料，六十年代末至七十年代初，粉末高速钢、粉末高温合金相继出现，利用粉末冶金锻造及热等静压已能制造高强度的零件。,28,粉末冶金工艺的优点：1、绝大多数难熔金属及其化合物、假合金、多孔材料只能用粉末冶金方法来制造。2、由于粉末冶金方法能压制成最终尺寸的压坯，而不需要或很少需要随后的机械

23、加工，故能大大节约金属，降低产品成本。用粉末冶金方法制造产品时，金属的损耗只有1-5%，而用一般熔铸方法生产时，金属的损耗可能会达到80%。3、由于粉末冶金工艺在材料生产过程中并不熔化材料，也就不怕混入由坩埚和脱氧剂等带来的杂质，而烧结一般在真空和还原气氛中进行，不怕氧化，也不会给材料任何污染，故有可能制取高纯度的材料。4、粉末冶金法能保证材料成分配比的正确性和均匀性。5、粉末冶金适宜于生产同一形状而数量多的产品，特别是齿轮等加工费用高的产品，用粉末冶金法制造能大大降低生产成本。,29,6、粉末冶金技术可以最大限度地减少合金成分偏聚，消除粗大、不均匀的 铸造组织。在制备高性能稀土永磁材料、稀土

24、储氢材料、稀土发光材 料、稀土催化剂、高温超导材料、新型金属材料（如Al-Li合金、耐热Al 合金、超合金、粉末耐蚀不锈钢、粉末高速钢、金属间化合物高温结构 材料等）具有重要的作用。7、可以制备非晶、微晶、准晶、纳米晶和超饱和固溶体等一系列高性能非 平衡材料和大块非晶材料，这些材料具有优异的电学、磁学、光学和力学性能。8、可以生产普通熔炼法无法生产的具有特殊结构和性能的材料和制品，如 新型多孔生物材料，多孔分离膜材料、高性能结构陶瓷和功能陶瓷材料 等。9、可以实现净近形成形和自动化批量生产，从而，可以有效地降低生产的 资源和能源消耗。10、可以充分利用矿石、尾矿、炼钢污泥、轧钢铁鳞、回收废旧金

25、属作原 料，是一种可有效进行材料再生和综合利用的新技术。,30,粉末冶金工艺的基本工序是：1、原料粉末的制备。现有的制粉方法大体可分为两类：机械法和物理化学法。而机械法可分为：机械粉碎及雾化法；物理化学法又分为：电化腐蚀法、还原法、化合法、还原-化合法、气相沉积法、液相沉积法以及电解法。其中应用最为广泛的是还原法、雾化法和电解法。2、粉末成型为所需形状的坯块。成型的目的是制得一定形状和尺寸的压坯，并使其具有一定的密度和强度。成型的方法基本上分为加压成型和无压成型。加压成型中应用最多的是模压成型。,31,3、坯块的烧结。烧结是粉末冶金工艺中的关键性工序。成型后的压坯通过烧结使其得到所要求的最终物

26、理机械性能。烧结又分为单元系烧结和多元系烧结。对于单元系和多元系的固相烧结，烧结温度比所用的金属及合金的熔点低；对于多元系的液相烧结，烧结温度一般比其中难熔成分的熔点低，而高于易熔成分的熔点。除普通烧结外，还有松装烧结、熔浸法、热压法等特殊的烧结工艺。如果在烧结以后采取急冷的方法，就可以得到非晶材料或者产品。4、产品的后序处理。烧结后的处理，可以根据产品要求的不同，采取多种方式。如精整、浸油、机加工、热处理及电镀。此外，近年来一些新工艺如轧制、锻造也应用于粉末冶金材料烧结后的加工，取得较理想的效果。,32,粉末冶金法制备非晶合金的缺点：1、由于合金硬度高，粉末压制的致密度受到限制；2、由于烧结

27、温度不能太高（600），要在粉末的晶化 温度以下，因此最终产品的强度往往不及非晶本身的强 度。3、有时采用粘结成型，粘结剂的加入会使大块非晶材料的 致密度强度下降，而且产品的性能与粘结剂有很大关 系，这些使得粉末冶金法制备大块非晶技术的应用不是 很广泛。,33,粉末冶金材料和制品的今后发展方向：1、有代表性的铁基合金，将向大体积的精密制品，高质量 的结构零部件发展。2、制造具有均匀显微组织结构的、加工困难而完全致密的 高性能合金。3、用增强致密化过程来制造一般含有混 合相组成的特殊 合金。4、制造非均匀材料、非晶态、微晶或者亚稳合金。5、加工独特的和非一般形态或成分的复合零部件。,34,2）液

28、体急冷法实施原理 将液体以大于105/s的速度急冷，使液体中紊乱的原子排列保留下来，成为固体，即得非晶。要求条件 液体必须与基板接触良好 液体层必须相当薄 液体与基板从接触开始至凝固终止的时间尽量短 基板导热性好,35,液相急冷是目前制备各种非晶态金属和合金的主要方法之一，并已经进入工业化生产阶段。它的基本特点是先将金属或合金加热熔融成液态，然后通过不同途径使它们以105108/s的高速冷却，这时液态的无序结构得以保存下来而形成非晶态，样品以制备方法不同，可以成几微米到几十微米的薄片、薄带或细丝状。快速冷却可以采用多种方法，例如：将熔融的金属液滴用喷枪以极高的速度喷射到导热性好的大块金属冷砧上

29、；让金属液滴被快速移动活塞达到金属砧座上，形成厚薄均匀的非晶态金属箔片；用加压惰性气体把液态金属从直径为几微米的石英喷嘴中喷出，形成均匀的熔融金属细流，连续喷到高速旋转（每分钟约2000-10000转）的一对轧辊之间（“双辊急冷法”）或者喷射到高速旋转的冷却圆筒表面（“单滚筒离心急冷法”）而形成非晶态。,36,实施工艺介绍,喷枪法 将金属装入一个底部有小孔的石墨坩埚中，小孔直径大约1mm，坩埚由感应加热或电阻加热，使金属在惰性气体气氛中熔化。起初，由于孔径小，表面张力使得液体金属不至于下落。然后用冲击波从上至下使熔体从小孔喷出，打在坩埚下面的一个过冷铜板上（铜板浸在冷液氮中），迅速冷却成为非晶

30、。该法的特点是冷却速率高，所得样品规格一般在 102030525mm，形状不规则、厚度不均匀且疏松多孔、表面不光滑。,37,锤砧法 将熔体落入两个相对运动而导热良好的表面之间，受到挤压后迅速冷却而成非晶。特点是制得的非晶薄材厚度均匀、表面光滑、致密度高，但冷却速率不及喷枪法（105106/s），不能连续生 产，效率低。可与喷枪法相结合，优点多而克服了互相的缺点。,38,离心法,将少量合金装入一个底部有小孔的石英管内，用高频感应炉或管式炉使之熔化后，随即将石英管降至一个高速旋转的圆筒中，并用高压气体迫使熔体从小孔流出，喷到圆筒内壁。缓缓提升石英管，可得到螺旋状的非晶条带。特点：冷却速率一般（10

31、6/s）、材料表面精度高，材料取出难（离心力使得与壁面结合紧密）,离心法示意图,39,压延法,又“双辊法”，熔化的金属从石英管底部的小孔喷射到一 对高速旋转、导热良好、表面光滑的辊子之间。该方法工艺要求苛刻：a.射流稳定，要有一定长度 b.射流方向要准确 c.流量与辊子转数要相配合 d.辊子材料要硬度好、耐蚀、导热性好 所得非晶材料两面光滑、厚度均匀、强度好，冷却速率一般（106/s）。,双辊法示意图,40,单辊法,将熔体喷射到高速旋转的辊面上冷却，形成连续的非晶条带。该法要求：a.喷嘴可用石英管，高熔点金属喷 嘴可用氧化铝、碳、氮化硼管等。b.辊子材料可用铍青铜、不锈钢、滚珠钢等 c.喷射时

32、加热温度在材料熔点以上 10200/s，喷射压力0.52kg/cm2（表压），喷管与辊 面法线成14角，辊面线速度为1035m/s。d.制备活性元素非晶，整个过程应在惰性气氛或真空中进行。e.连续生产时，辊子要进行水冷或液态氮冷却。f.条带宽度可通过喷嘴形状和尺寸控制。条带宽度小，可用圆形喷嘴；条带 宽度大，可用椭圆形、长方形或成排孔形喷嘴。特点：冷却速率一般（106/s），熔体与辊面热接触不好，材料表面质量 差，强度、致密度不及以上方法。,单辊法示意图,41,常用喷嘴形状示意图,42,熔体沾出法,金属圆盘紧贴熔体表面高速旋转，熔体被圆盘沾出一薄层，迅速冷却成为非晶。冷却速率低、材料表面质量差

33、、致密度和强度低，生产效率低，成本低，工艺简单。,熔体沾出法,43,熔滴法,合金棒的下端用电子束熔化，液滴滴落到一个高速转动的辊面，随即被拉长，凝固成条或丝。特点：污染少、冷却快、非 晶材料强度和致密度 差，适合制备高熔点 合金条带。,溶滴法示意图,44,3）PVD法4）CVD法,5）溅射法,将样品先制成多晶或研成粉末，压缩成型，进行预浇作为溅射靶。在真空或充氩气的密闭空间，用各种不同的工艺将靶材中的原子或离子以气态形式离解出来，然后使它们无规则地沉积在冷却底板上，从而形成非晶态。,方法与前面相同，不同之处是：热的沉积空间，过冷的基片或工件。真空在10-10乇（1公斤每平方厘米735.6乇）以

34、上，如前节所述，主要用于制备非晶态金属、半导体和金属薄膜等。,45,6）辉光放电分解法 以制备非晶态半导体锗和硅为例，将锗烷或硅烷放在真空室中，用直流或交流电场加以分解。分解出来的锗和硅原子沉积在预热的衬板上，再快速冷凝形成非晶态薄膜。,46,7）溶胶-凝胶法 制备的非晶尺寸均匀、颗粒细小。前面的反应原理同前面薄膜制备技术中。即先由金属与醇类反应，醇氧化物分子中的有机基团与金属离子通过氧原子键合得到金属的醇氧化物。醇氧化物一方面可溶于相似的醇溶剂中，另一方面当加入水时，醇氧化物与水作用形成X-OH基团和醇，最终形成X(OR)n中间物，通过中间物的水解，则可以制得均匀的X(OH)n溶胶悬浮体，调

35、节溶胶的酸度或碱度可引起两个X-OH键间的脱水反应，进而形成凝胶，凝胶凝胶材料小心加热到200500，除去其中所有的液体，凝胶就变为很细的金属氧化物粉末，粒子半径为3-100nm，粒子大小也十分均匀。对粉末进行急冷。,47,8）辐照法 用能量密度比较高的激光或电子束（能量100kW/cm2）辐照晶体材料表面（如金属），使表面局部熔化，然后以大于104/s的速度冷却，即在晶体表面产生一层与基底同质的非晶薄层。,48,9）离子注入法 将高能的非晶粒子直接注入固体材料的表面。固体可以是非晶，也可以是晶体；注入的非晶可以与固体材料本身相同也可不同。注入时，由于高能非晶粒子与固体材料中原子核、电子、中子

36、等的碰撞会损失能量，故注入厚度有限。,49,10）悬浮熔炼技术,将导体悬浮于一个感热场中，借助电热涡流使得导体熔化，迅速吹入冷的惰性气体，使熔体冷却，得到非晶。又可以分为磁悬浮熔炼法、静电悬浮熔炼法等，前者是靠磁力与重力相抵消实现悬浮，后者是靠静电吸引力与磁力相抵消实现悬浮。,特点：无接触加热、无接触测量（远红外测温仪），可避 免污染，但投资大。,50,11）落管技术,将样品置于真空或加载保护气的石英管顶端，密封管口。用感应加热装置，使得样品熔化，撤去热源，熔体保持自由落下，冷凝成非晶。特点是无污染、但是生产效率极低。,落管法制取大块非晶合金的原理图,51,12）低熔点氧化物包裹技术,将样品用

37、低熔点氧化物包裹起来，置于容器中熔炼，待中间样品熔化后，然后再冷却到氧化物熔点以上而样品熔点以下的某个温度，样品在液态氧化物包围的气氛中冷凝成非晶。氧化物包裹作用：a 吸取熔体中的杂质颗粒b 将熔体与器壁隔离开来，避免器壁成核而引起的晶化 现象c 避免污染。,氧化物包裹熔炼示意图,52,13）大块非晶材料制备技术,大块非晶合金性能特点与普通的多晶材料和传统的低维(粉、丝、薄带等)非晶材料不同的是，大块非晶合金在受热发生晶化之前会有一个宽的临界过冷液相区，分别是大块非晶合金的玻璃转化温度、晶化初始温度和熔化开始温度。正是这一特殊区域的存在，赋予了大块非晶合金以特殊的性能。过冷液相区的存在，使合金

38、在受热发生晶化之前，在一定的温度范围内可以保持被冻结的液体结构，表现出具有一定粘度的与氧化物玻璃极为类似的性质，呈牛顿流动状态，因此大块非晶合金有时也被称为金属玻璃，既有金属的特性，又表现出某些氧化物玻璃的性能特点。,53,1 大块非晶合金的力学性能大块非晶合金具有高的抗拉强度。采用粉末烧结或者是基体增强的方式，合金强度值可达700800MPa。然而，镁基非晶合金的最高强度可达1200，如果获得在非晶基体上弥散的尺度的粒子的结构，那么强度更是可以达到约1550MPa。强度不高的合金做成大块非晶以后其强度可以达到1000MPa以上。大块非晶合金也具有高的硬度，基大块非晶合金的维氏硬度达到1200

39、MPa以上，其余的大块非晶合金的硬度较之相应的晶体材料也大大提高，所以大块非晶合金真正体现了合金硬而强的特性。大块非晶还具有高的弯曲强度，高的断裂韧性，高的冲击断裂能。同时大块非晶还具有较低的杨氏模量。这样相对于晶态材料而言，大块非晶材料具有更好的弹性。大块非晶合金在过冷温度区间所具有高应变率超塑性能，使传统的快速凝固粉末冶金工艺应用在大块非晶领域成为可能。,54,2 大块非晶合金的其他性能大块非晶合金中不存在晶界，沉淀相相界，位错等容易引起局部腐蚀的部位，同时也不存在晶态合金容易出现的成分偏析，所以非晶合金在结构和成分上都比晶态合金更均匀，因而具有更高的抗腐蚀性能，其耐腐蚀性能为晶态不锈钢的

40、100倍。大块非晶合金一般也没有沉淀相粒子等障碍对磁畴壁的钉扎作用，所以具有优异的软磁性能。,55,所以，虽然大块非晶合金属于非晶合金，是在后者基础上发展起来的，但又与传统的非晶合金有很大的不同。由于通常的合金形成非晶需要很高的临界冷却速度（106），因此得到的一般是薄带、薄片、细丝、粉末等厚度或直径较小的低维形状的材料。与低维非晶制备机理相似，大块非晶制备的原理还是：对大宗材料或块体材料进行快速冷却的方法。但存在的困难是：材料块头大，难以全面、透彻冷却，尤其是材料的中心，因此很难形成完全的非晶。因此，非均匀形核的避免和均匀形核的抑制是大块非晶合金成功制备的充分必要条件，前者要通过外部熔炼条件

41、的有效控制来实现，包括：熔炼提纯、合理的冷却介质和惰性气氛保护等；后者要通过合理的成分设计来实现，包括：多组元、高原子尺寸比、大负混合热、低熔点组元或低熔点共晶。,56,直到20世纪70年代，才通过抑制非均质形核的方法获得了第一块大块非晶，但是仅限于贵金属，无法作为工程材料而广泛地加以应用。1988年成功地发现了一系列具有极低临界冷速(从0.1到几百)的多组元成分的大块非晶合金。经过20余年的发展，现在大块非晶合金已在很多合金系中制备出来。大多利用的是金属熔体直接凝固的方法，可以制备高量级的大块非晶合金，但是成分和尺寸有限。利用具有高的非晶形成能力的合金在过冷温度区间具有超塑性这一独特的性质，

42、充分利用该区间内的牛顿流动特性，将快速凝固粉末冶金法获得的非晶粉末固结到一起，可以获得比直接凝固法更大尺寸的非晶合金。,57,快速凝固粉末冶金技术制备大块非晶合金在冷却时，发生形核的原因主要有3个：从原材料中带入杂质作为非均质形核的核心;合金在熔炼及浇注过程中与周围的氧化性气氛发生反应;冷却速度不够大。因此在大块非晶合金的制备过程中，关键是在冷却过程中抑制合金的非均匀形核以及尽可能地提高冷却速度。为了减少非晶合金发生形核的可能性，对金属的熔炼要进行严格的惰性气体保护。熔体中的杂质和容器的内表面将起到非均匀形核的作用，熔炼时的提纯和造渣极为重要。在目前发现的大块非晶合金系中，决定非晶形成能力的主

43、要是合金的组成。通过选择适当的合金系，在较低冷却速度下即可获得非晶态合金。,58,目前主要通过将金属液快速冷却来获得大尺寸的非晶材料，包括以下方法：水淬法、高压模铸法、区熔法、铜模铸造法,电弧熔炼法、吸铸法、挤压铸造法、落管法、磁悬浮熔炼以及静电悬浮熔炼等方法。这些方法都属于直接凝固法，其基本的原理是通过导热性较好的铜模具来将合金液的热量迅速的转移，使合金在结晶发生之前就已经凝固到较低的温度，从而在一定程度上“冻结”了液体结构，形成非晶。这样为了获得较高的非晶形成能力，就需要高纯度的组元金属。同时对某一特定的合金系来说，如果其非晶形成的能力不够高，在短时间之内不能把熔体的热量及时的转移出去，则

44、获得大块非晶的尺寸总会受到一定的限制。而且，目前可以通过直接凝固法获得大块非晶的合金系还比较有限。但这种技术在今天仍然是大块非晶制备的主要工艺。,59,井上明久教授提出了获得大块非晶的3条实验准则：由3个以上的组元构成的多组元合金系统 主要组元之间的混合热为大的负值。主要组元之间的原子尺寸差在12%以上正在发展之中的有低熔点包裹技术、悬浮熔炼技术、落管技术等。日本研究的较多。,60,本章重点,非晶的微观结构特点及其应用非晶合金的结构及其性能的特点非晶制备的原理非晶制备技术体系的划分从不同物态制备非晶的技术液体急冷技术制备非晶的工艺,61,参考书目,材料合成与制备方法.曹茂盛等.哈尔滨工业大学出 版社.2005.块体非晶合金.作者：惠希东，陈国良.化学工业出 版社.2007.半导体物理学（第6版）.作 者：刘恩科等编.电子 工业出版社.,