无尘室管理及7Sppt课件.ppt
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1、目 的:使相关人员能了解无尘室环境的基础知识及无尘室管理规定,进而达成环境清净化之要求。,无尘室常识及7S管理,课 程 大 纲,认识无尘室污染防制手法无尘室日常管理无尘室进出作业标准静电防制常犯问题点说明7S管理制度及含义,(1)微尘脏污造成ITO蚀刻(2)微尘造成TP组合异物短路(3)微尘造成IC短路(4)微尘造成IC Bonding后变形短路,微尘粒子的影响,认 识 无 尘 室,无 尘 室 之 演 进,1958美国为发展太空科学开始作无尘室之研究1961完成空军之无尘室规格(100000级)1963 DEC美国联邦无尘室规格公布(F.S209)1966 AUG修正F.S 209A 增加设计
2、及测试方法等10项1973 APR修正F.S 209B气流量及温湿度范围1977 MAY修正F.S 209B 增加1000级标准1987 OCT修正F.S 209C 增加10级与1级标准(1M DRAM问市)1988 JUN修正F.S 209D 标准1992 DEC修正F.S 209E 采取公制单位(Class M1-Class M7),构成无尘室需具备因素,能有效去除空气中飘浮之微尘粒子能防止微尘粒子之产生温度与湿度可以得到控制各区域之压力可以得到调节有害之废气可被排出有害之废水可被排出建物结构物与隔间具有气密有静电防制有电磁干扰之预防有节省能资源之考虑设计安全因素之考虑,无 尘 室 之 适
3、 用 范 围,工业用防尘室I.C.R(Industrial Clean Room)半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天生化及医药用防尘室B.C.R(Biological Clean Room)制药、医疗设施、生物实验室,无 尘 室 的 构 造,防尘室的主要结构是通过空调机吸引外界的空气。空调机内部设置一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器,用这种方式将灰尘及微子粒子去除。经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入,型成气流使气流成为正压是很重要的。气流经过回风口(地板)、回风通道返回空调机内。室内的压力通过右上部的气压闸来控制调整。,污染防制手法,1.外部异物侵入防止(不带入)防
4、尘室保持正压(0.5mm Aq 以上)工程管路不漏气、漏水原物料搬入前要清洁擦拭空气滤网适当设置与管理2.室内发尘源抑止(不产生)穿防尘衣生产线自动化人员不聚集设备发尘位置管理不使用易发尘材料,3.室内尘埃不积蓄(不堆积)墙壁体力求光滑无死角以便于检视及清洁制程设备四周应留有空间防尘室要定期清洁与保养4.产出的异物被排出(排除)足够的换气次数污染源直接排出室外空调的气流速度要适当,无尘室的污染源防止四原则,无尘室日常管理,进入更衣室前需在门口脱鞋方可进入,不允许穿着拖鞋在更衣室内走动(违者每次罚款30元)。更衣室内地板,柜子顶端不允许随意乱丢手套,口罩等垃圾,违者每次罚款30元。领取手套,发帽
5、,口罩等物品时,需按顺序排队领取。手套,发帽等物品需以破旧换新方可领取,如无破旧物品换新,则需以手套1元/双,发帽1元/个购买,否则不予发放。,进入更衣室相关规定,更衣室内不允许穿拖鞋,1.进入无尘室之工作人员须穿着合适之连体无尘衣服、鞋子、网帽,不可穿着过宽或过紧之连体无尘衣、鞋、网帽。2.穿着连体无尘衣、鞋、网帽、口罩等,须依下列顺序进行(见无尘服穿戴步骤彩图)a、戴上口罩(钢丝线朝上,以手指按捏钢丝,使口罩与鼻梁密合(如下图)b、扎好头发,戴上网帽(头发不可露出,如下图)。c、穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴)(如下图)。d、戴上手套(衣袖口须包住手套口)(如下图)。e、着
6、装完成照镜检查服装仪容,无尘衣穿戴标准,1.戴上口罩,钢丝线朝上,2.扎好头发,戴上网帽(头发不可露出),3.穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴),4.穿上无尘鞋,无尘衣穿戴流程1.1,5.戴上手套(手套口反卷入衣袖),OK规范佩带图,NG 错误佩带图,无尘衣穿戴流程1.2,步骤一:轻踩在海绵上沾湿鞋底。,步骤二:沾湿的鞋底在刷子上来回刷三次,清洁鞋底脏污。,清洁鞋底,进入风淋室、入口和出口的门不可同时打开,进入风淋室以3人为上限(具体如风淋室要求),不得超过。、空气吹风未停止时,禁止将风淋室的门打开。、空气淋浴时,须高举双手并转动身体,以利灰尘吹除,吹净时间10S以上。、空气淋浴
7、时,双脚须踩踏脚踏粘垫3次以上,以利清除鞋底灰尘、异物。、风淋室的吹气口不得任意调整。、风淋室入口门禁系统拆除,须恢复原始功能,入口门开,出口门须关闭。,不能带入无尘室之物品,1.没有经过清洁之器材设备或测定器等物品2.瓦楞纸箱、木材、铅笔、普通用纸、橡皮擦、立可白3.普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张4.香烟、打火机、饮料、食品、泡泡糖、化妆品挥发性油剂或瓦斯罐等,静 电 防 制,任何物质在静止状态呈“电中性”,但当不同带电的两个物体,彼此接触、摩擦或分离时就会产生静电,例如用布摩擦过的尺,可以吸起碎纸。若静电过大就会造成静电放电(Electrostatic Discharge简称ESD)
8、,会引起火花,甚至会引起暴炸。精密的半导体组件只要几百伏特的静电位,就会造成破坏。,静 电 之 产 生,各种物体经彼此摩擦后,由于电子移转率之不同,所产生之静电荷也就有大小之分,表中所列之物体,是按“摩擦电”的静电位大小而排列次序,愈在上位者,愈趋正电性,愈下愈趋负电性,当上、下两物体摩擦时,顺序差越远则所产生的静电荷越大。,静 电 产 生 之 大 小,(1)破坏电子回路(2)吸附微尘粒子,造成污染(3)放电火花易引起灾变表 2-5 静电之破坏电压,静电之破坏力-以半导体为例,1.物体接地-物体如果是导体,将其接地可以使静电流向打大地释出2.增加环境湿度-非导电物体表面吸收水份,可以增加其导电
9、性,藉以使静电释出,一般湿度应控制在40 60%RH3.在物体上涂抹带电防止剂-在非导电物体表面涂抹,使其成为有导电性4.物体在制造时增加导电材料-如 IC TRAY盘、静电袋5.使用静电消除器-可以产生正、负空气离子,来中和物体上之静电6.减少接触次数,动作速度放慢7.使用防静电之无尘衣8.穿戴静电手环或导电鞋,静 电 防 制,常 犯 问 题 点 说 明,将食品饮料带入更衣室内包装纸箱与物品直接进入室内同时打开传递箱俩侧直接交谈涂抹化妆品或喷香水在身体上穿脱防尘衣的动作顺序错误未定期换洗防尘衣防尘衣破损或磨耗起毛球未换没有定期擦拭防尘鞋底随意调出风口角度及吹气时间在室内急速行走或奔跑扬尘在作
10、业现场拉开防尘衣拿东西穿防尘衣座于地板或踏高台阶上选用乳胶手套的尺寸不合适在作业现场脱除乳胶手套在乳胶手套上书写文字或图像使用黏胶带后未清洗乳胶手套就作业清扫过后未清洗乳胶手套就作业处理破裂玻璃后未清洗乳胶手套就作业进行药剂(水)调配后未清洗乳胶手套就作业撕黏着踏垫后未清洗乳胶手套就作业,接触油溶剂后未清洗乳胶手套就作业混用无尘抹布将脏污加载产品流动区域内使用有回转功用的椅子带入非防尘室专用纸张或笔记本在室内使用铅笔及橡皮擦在室内有撕纸或搓揉纸张动作在受热的地方使用非耐热胶带在设备或工具的驱动部使用胶带固定对象清扫过程中未依从上而下顺序打扫选用错误吸尘器清扫大量发尘接触产品正面将流程卡放于篮具
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