第二章无机非金属材料的合成方法方案ppt课件.ppt
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1、第二章无机非金属材料的合成方法,2.1固相法(solid method),固相反应法利用至少一种以上化合物在一定温度下反应获得另外一种原料的方法,固相固相反应如:制备镁铝尖晶石、莫来石、BaTiO3等;BaO(s)+TiO2(s)=BaTiO3(s)固相液相反应C(s)+Si(liquid)=SiC(s)固相气相反应如:氮化硅的合成;3Si(s)+2N2(gas)=Si3N4(s),热分解(heat decomposition),以制备MgO为例:其流程为:其中:流程图如下所示:,氮化硅陶瓷的合成(气-固反应),SP2杂化,2N2+3Si(solid)=Si3N4(solid),氮化硅陶瓷的物
2、理性质,氮化硅陶瓷的应用,固相反应工艺特点,原料粉碎,机械混合,高温反应,机械破碎、磨细,固相反应特点,反应在两相界面进行反应受物质扩散控制反应受反应物质的粒径、比表面积、表面状态、原料的历史、反应体系的气氛、温度等诸多因素影响较大,优点,工艺简单、容易操作、产量高生产成本低、适合工业化大批量生产缺点反应不易完全彻底反应所需温度高成分不容易控制产物需要后机械粉碎处理,容易引入杂质,2.2 气相反应法,反应物质均为气相的合成方法,A,B,产物,高温反应区,普通电加热、激光加热、等离子加热、微波加热等,气相反应特点,根据凝聚状态和反应物质的不同产物的形态差别很大过饱和度对产物的形态影响最大高过饱和
3、度的产物为粉体低过饱和度时:薄膜、晶须、结晶,气相反应过饱和度,aA(g)+bB(g)=cC(g)+dD(s)过饱和度,反应气体,形核,颗粒,薄膜,晶须,结晶,S很大,S很小,器壁或基板,气相反应过程中形核速度的表达式,式中:I为过饱和蒸汽中的形核速度、为气固界面的界面张力、v为1个分子的固体的体积、P为实际气体的蒸汽压、P0为固体的表面平衡蒸汽压、T为绝对温度、k为波尔茨曼常数、I0为比例常数。I受P/P0的影响非常大,当气相反应率为100时,气相中固体颗粒的粒径表达式,式中:D为固体颗粒的粒径、C0(mol/cm3)为气相中金属源的浓度、M为固相的分子量、为固体的密度(g/cm3)、N(1
4、/cm3)为单位体积反应气体中生成固相的颗粒数。,可采用含金属的气体源,金属卤化物金属卤烷(如:CH3SiCl3)金属卤氧化物(MOnClm)有机金属醇盐(M(OR)n),M(R)n 金属蒸气(易升华的金属,影响气相反应中粉体形成的主要因素,金属源气体的分压反应温度形核速度利用气相反应制造粉体的加热方式电炉加热电弧加热直流等离子加热感应等离子加热微波加热激光加热,利用气相反应制造粉体的特点,通过控制反应条件可以得到粒径比较一致的粉体,粒径分布很窄。粉体粒子之间的团聚很少粉体的纯度容易控制可以制造氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等种类繁多的陶瓷粉体,化学反应发生在蒸汽或基片上与物理法不同CVD W
5、 vs.PVD W,化学气相沉积(CVD制备薄膜,WF6(g)+3H2(g)=W+6HF(g),一种制备薄膜的途径与扩散和氧化不同CVD TEOS vs.Thermal Oxidation,什么是CVD,化合物已气相方式输运different from spin-on,electroplatingCVD Low k vs.spin-on low kCVD Cu vs.electroplated Cu,CVD,CVD热力学,ai:activity of species i.=1 for pure solidsPi:partial pressure of species ipi0:vapor pr
6、essure of species i,only a function of T,CVD过程热力学,G:Gibbs Free Energya:activityz:stoichoimetric coefficient,CVD过程热力学,At equilibrium,the change in Gibbs Free Energy is 0,在CVD反应器中不断有原料输送进来,副产品被抽走,所以体系永远达不到平衡状态。,CVD动力学,1.反应物在边界层中的扩散2.反应物基板上吸附3.基板表面发生化学反应4.吸附物的解附5.副产品扩散出去,CVD的种类,热 CVD使用热能生产高纯薄膜(hot wall
7、,furnace)3SiH4+4NH3=Si3N4+12H2TiCl4+NH3=TiN+byproduct高的覆盖率WF6+3H2=W+6HF,Metall-Organic CVD(MOCVD)热或等离子加热有机金属前驱体以气相方式输送金属元素(Pt,Al)降低毒性和危害性改变反应性降低杂质,CVD分类,等离子增强 CVD(PECVD)使用辅助等离子体降低沉积温度高沉积速度非平衡薄膜高缺陷含量非化学计量功能可调,CVD分类,高密度等离子气相沉积(HDP)同时气相沉积和溅射bottom up gap fill高品质 低杂质含量高密度高沉积速度价格昂贵,CVD分类,CVD的应用,现场涂层,Wate
8、r Droplets Spread Out On Surface Due To Hydrophilicity,Dirt Particles On Surface Picked Up in Water,Water Droplets Coalesce To Form“Sheet”,Dirt Washed Down In“Sheet”of Water and Off Glass,The coatings photoactivity breaks down organic material reducing adherence of dirt to surface.The coatings hydro
9、philic action then helps to wash off the dirt,自洁净玻璃,Building Glazing Trends,Energy Saving(heating)Energy Saving(cooling)Safety SecurityFire Protection AcousticSelf-cleaning,2.3 液相法湿化学法(Wet Chemistry),什么是湿化学法?即在相对低的温度(室温)下,利用无机有机溶液化学反应合成无机非金属材料。特点:实现溶液中分子、原子量级的混合产物均匀精确控制化学成分及化学计量包含:沉淀法、溶胶凝胶法、醇盐水解法、喷雾
10、干燥法、冷冻干燥法等。,2.3 液相法 liquid method,2.3.1 化学沉淀法(调整PH,沉淀法:,主要原理是:在液相中采用各种水溶性化合物经混合、反应,根据产物在溶液中的溶度积调整Ph值,生成不溶于水的沉淀物,将沉淀物分离、洗涤、干燥并热分解形成超细粉体。,沉淀法可以分为直接沉淀法、共沉淀法和化合物沉淀法等。,2.3.1 化学沉淀法,原理:各种金属氢氧化物沉淀时的PH值不一样条件:PH值差为3以内,2.3.1 化学沉淀法,1 直接沉淀法 向金属盐溶液中直接加入沉淀剂(如:碱)进行反应得到细小沉淀物的方法。该法容易因为溶液中局部沉淀剂浓度过高,发生不均匀沉淀。,2 共沉淀法 控制搅
11、拌和沉淀剂的添加速度,在溶液中同时沉淀出含两种或两种以上金属离子的均匀性好的沉淀物。,2.3.1 化学沉淀法,3 化合物沉淀法 在溶液中沉淀出含两种或两种以上金属离子的复合金属化合物,通过加热煅烧得到含两种以上金属离子的化合物粉体的方法。,2.3.1 化学沉淀法,优点:晶粒细小,纯度高,化学活性好等。例如:,共沉淀法,获得两种以上金属离子的氢氧化物同时沉淀。如:,钇稳定氧化锆陶瓷的化学沉淀法制备,2.3.1化合物共沉淀法制备钛酸钡,制备法,2.3.2一般的草酸盐(oxalate)分解制备高纯氧化物,有两种分解途径:,对于A主族,有时 不分解到 而直接溶解放出,2.3.2草酸盐(oxalate)
12、分解,由沉淀法可以合成的物质如下:,氧化物:氢氧化物:不定形:,2.3.3 化合物直接水解反应法生成氢氧化物时伴随放出大量水解热,2.3.3有机醇盐水解法,特点:直接由液相 获得固相,氧化物或固 溶体。,有机醇盐水解法:,金属醇盐水解法是目前 很活跃的纳米或超细粉体研究方法之一,该方法可制得纳米或微细,高纯度粉末。金属醇盐是金属与醇类反应而生成的MOC键的有机金属化合物,可以广义式M(OR)n代表,其中M是金属,R是烷基或丙烯基。代表性反应为:M+nROHM(OR)n+n/2 H2 金属醇盐一般可溶于乙醇。利用金属醇盐M(OR)n(R为烷基)遇水后容易分解的特点,用水水解成醇和构成醇盐的金属元
13、素氧化物、氢氧化物和化合物的沉淀。将分解得到的胶体沉淀在低温下干燥,在一定温度下煅烧处理可得到化学组分及形貌均匀的氧化物粉体。金属醇盐具有挥发性,容易精制,水解时不需添加其它阳离子或阴离子便可得高纯度的化合物。该方法被认为是制造单一或复合氧化物高纯超细粉末的重要方法。许多无机化合物可溶于多元醇,由于多元醇具有较高的沸点,可大于100,因此可用高温强制水解反应制备纳米颗粒。醇盐遇水分解的通式:,M(OR)n+n(H2O)M(OH)n+nROH,2.3.3有机醇盐水解法,例1:SrTiO3的制备,2.3.3有机醇盐水解法,例2:Al2O3粉的制造工艺,氧化铝的工业制备,2.3.4 喷雾干燥法,原理
14、:利用液体热风喷雾后,脱水;或利用喷嘴喷出细小液滴,干燥工艺过程:制备浆料:原料、水、粘结剂、脱胶剂、润滑剂;球磨:制浆:喷雾:,2.3.5 溶液燃烧法(liquid combustion method),例如:金属的硝酸盐溶解在酒精中,喷射燃烧,制备超细陶瓷颗粒;利用各种有机金属化合物,在空气下燃烧来制备微粉,工艺简单,成本低,易控制。Ba与Ti的醇盐溶液混合后燃烧得到BaTiO3超微粒100nm,2.3.6 自蔓延燃烧(SHS),例如:制备硼化钛和碳化钛,2.3.7 冷冻干燥法,水溶液与水的蒸汽压相等,室温 冷冻冰与盐的混合 减压低于不变点T2 缓慢升温到4,冰盐中冰升华,剩下盐,0.10
15、.5m,易烧结,2.3.8水热反应法,水热法是在高压釜里的高温、高压反应环境中,采用水作为反应介质,使得通常难溶或不溶的物质溶解,反应还可进行重结晶。水热技术具有两个特点,一是其相对低的温度,二是在封闭容器中进行,避免了组分挥发。水热条件下粉体的制备有:水热结晶法 比如 Al(OH)3 Al203H2O水热合成法 比如 FeTiO3+K0H K2O.nTiO2水热分解法 比如 ZrSiO4+NaOH ZrO2+Na2SiO3水热脱水法水热氧化法 典型反应式:mM十nH2O MmOn+H2 其中M可为铬、铁及合金等水热还原法 比如 MexOy+yH2 xMe+yH2O 其中Me可为铜、银等水热沉
16、淀法 例如 KF+MnCl2 KMnF2,水热反应法设备,2.3.9球磨反应法,一定粒度的反应粉末(或气体)以一定的配比置于球磨机中高能球磨,同时保持研磨体与粉末的重量比和研磨体球径比并通入气体保护。反应性球磨法克服了气相冷凝法制粉效率低、产量小而成本高的局限,可应用于各类金属化合物粉体的制备,而且在球磨过程中可以进行氧化合还原反应。,滚动球磨,搅拌球磨,振动球磨,2.3.10溶胶凝胶法(Sol-Gel):,溶液 溶胶 凝胶 固化(等工艺)金属氧化物(亚微米级)溶胶:1nm-0.1m 的分散相定义:真溶液:分散相为分子或离子状态 凝胶:介于固相与液相间的形态连续相为介质,不连续相为分散相连续相
17、/分散相:气/液,气/固,(气溶胶);液/气,液/液,液/固(溶胶),固/气(泡沫塑料),固/液(凝胶),固/固,2.3.10胶体化学初步,胶体系统,颗粒尺寸范围10 A-5000 A1 A=10 cm=10 m小尺寸颗粒对应大的界面积。因此胶体系统的界面性质非常重要,o,o,o,-8,-10,2.3.10胶体化学初步,定义,Sol一般讲是指固体颗粒分散在液体中,但是也有分散于固相和气相介质的情形。hydrosol 在水中的分散alcosol 在醇类中的分散aerosol 在气相中的分散,2.3.10胶体化学初步,定义,Gel胶体处在特定的浓度和温度条件下,形成固态或半固态凝胶的硬度来源于分散
18、体被介质的网状结构固定或者束缚,2.3.10胶体化学初步,定义,疏液胶体(Lyophobic Colloid)疏水胶体(hydrophobic colloids)亲液胶体(Lyophilic Colloids)亲水胶体(hydrophilic colloids)缔合胶体(Association Colloids),2.3.10胶体化学初步,定义,疏液胶体Lyophobic Colloid热力学不稳定体系分散与介质间的相互作用较小粘结力很小,粘度小,2.3.10胶体化学初步,定义,亲水胶体Lyophilic Colloids热力学稳定分散体与介质间存在很强和宽范围的相互作用,2.3.10胶体化学
19、初步,定义,缔合胶体Association Colloids分散体中存在两性分子或离子的团聚(微胶团或胶囊)的体系热力学是稳定的在低浓度时上述团聚存在于真溶液中在高浓度时显示为微胶团或胶囊,或胶态离子,2.3.10胶体化学初步,胶体系统的分类,分类,亲水(Hydrophilic),疏水(Hydrophobic),缔合,分散相,单分散大分子,大量离子聚集,表面活性分子的聚合(micelle),与分散介质的相互作用,强,弱,强,形式,自发可逆,特殊技术,特定条件下自发可逆,2.3.10胶体化学初步,胶体系统的分类,分类,亲水,疏水,缔合,稳定机理,水合静电排斥,静电排斥,水合/疏水 相互作用,粘度
20、,戏剧性的增加,不变,不变;在高浓度时增加,举例,甲基纤维素的白明胶,碘化银金溶胶,Tween 80Bile Salts,2.3.10胶体化学初步,光学Tyndall Effect光被溶胶中的分散相吸收,散射,极化 或 反射,溶胶性质,beam of light,solution,beam of light,colloid,2.3.10胶体化学初步,胶体性质,布朗运动(Brownian Movement)胶体颗粒尺寸足够小,而运动受到介质分子碰撞的影响可以观察到胶体颗粒无规的随机运动特征,2.3.10胶体化学初步,胶体性质,布朗运动产生的相对现象稳定胶体中的颗粒由于重力受到布朗运动抵消而不会发
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