LCD培训教材无尘室的原理ppt课件.ppt

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1、2022/12/30,LCD培训教材-无尘室的原理,题目:无尘室的原理,内容简介: 无尘室的原理; 无尘室方式; 无尘室管理.关键词:无尘室(Clean Room); 洁净度(Class);,作成:金昌明,无 尘 室,什么是无尘室(Clean Room): 用通俗易懂的语言来描述的话,无尘室就是在某个空间的空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下,把压力、温度、湿度、气流分布及其形状和速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子.Clean Room简称为CR,洁 净 度,什么是洁净度(Class)? 就是指单位体积 ( 通常是立方英尺) 的空气中含有大于、等于0.5m直径的尘粒的数量,也称为无尘度.,

2、1英尺=30.48cm,为0.5m直径的尘粒. 尘埃的个数,就是洁净度.例如: 有80个尘粒,那么洁 净度就是80.,0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000,粒径: m,烟尘,大气尘,云,雾,大气中存在物,常见的粉、尘,空气清洁装置,电子显微镜下看得见的粒子,光学显微镜下看得见的粒子,肉眼看得见的粒子,头发,一般空气过滤网,微粒子的大小,什么是尘粒? 尘粒是微小的灰尘、悬浮的东西. 尘粒越小,其表面积的比例相对增加,并不遵从牛顿定律运动,按重力垂落.而是在空气中做不规则的运动,这种运动叫布朗运动. 因是悬浮的东西,而且做不规则的运动,在洁净化技术、产品制造中是令人头痛的代表物

3、. 总之,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要. 如:电腐蚀现象.,尘 埃,电腐蚀现象,尘粒(与空气中的微量水份结合在一起),这样尘粒付着状态下通电的话,电流通过尘粒流向邻近的ITO中,会造成浅横线不良.,这种状态下继续使用,渐缓短路现象(在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于最后造成ITO断线电腐蚀现象),无尘室的原理,通过空调系统和净化装置把空气进行调湿、调温和过滤,然后把净化的空气通过无尘室的高效过滤器送入到无尘室内,达到洁净等级的标准. 通常: 温度: 223 ;湿度:55%5%.,包括: 1. 空气调节系统; 2. 空气净化系统.,无尘室的类型,按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式

4、: 紊乱式无尘室; 水平平行流式无尘室; 垂直平行流式无尘室.,1.紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):,HEPA:High Efficiency Particulate Air filter.以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网,通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风.,无尘室的类型,1. 紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):,多孔板进气口,无尘室的类型,无尘室的类型,空气调和器,照明,吹出口,2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR):,HEPA过滤网,HEPA过滤网,HEPA过

5、滤网,通过无尘室墙壁的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风.,无尘室的类型,2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR):,HEPA过滤网,点检空间,墙壁吸附口,空气室,无尘室的类型,3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR):,HEPA过滤网,空气调和器,通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过地板的排气口回风. 因通过整个屋顶的高效过滤器向下送风,故该类型无尘室的造价高于其他类型.,地板(吸附口),无尘室的类型,3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR):,HEPA过滤网,空气调和器,屋顶内空气室,地板下空气室,地

6、板吸附口,无尘室的管理原则,四大原则:,杜绝把灰尘带入无尘室;减少和防止无尘室中尘粒的产生;清除无尘室中的灰尘;监测环境参数.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,进入无尘室中的有: 空气; 人员; 设备; 材料等.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(一). 空气:(1).通过过滤网净化空气:常用的过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等. 玻璃纤维:能过滤0.3 m的悬浮尘粒, 甚至达到0.04 m 的悬浮尘粒; 过滤效果:99.99% 玻璃石棉:根据石棉的的直径大小决定; 例:1 m 的石棉过滤1 m 的尘粒.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(一). 空气:(2).设定室内压力高

7、于室外. 为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进入到无尘室中,无尘室内要保持一定的静压. 无尘室中的空气压力一般要比室外高25 Pa左右.,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(二). 人员: 进入无尘室的人员必须穿着无尘衣(包括手套、帽子、鞋、口罩), 用纯水洗手, 再通过风淋室进入无尘室.参考资料 : 进退入无尘室手顺书,原则-1,1. 杜绝把灰尘带入无尘室;,(三). 设备及材料: 进入无尘室的设备及材料要经过特殊的清洁方法, 即除尘处理后,才可以进入无尘室.,原则-2,进入无尘室必须穿着无尘衣.不得使用容易产生灰尘的材料、设备、备品等.使用无尘室用品.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等

8、)减少没必要的人员的活动、设备的运转.制定设备的摆放结构设计方案.没必要的物品禁止带入到无尘室.无尘室中禁止脱无尘衣.无尘室内物品数量限制在最少的限度.物品摆放作出规定,减少空气乱流.参考资料: 无尘室管理规定,2. 减少和防止无尘室中尘粒的产生.,原则-3,定期打扫无尘室(每周一次大扫除); 设备、工作台每天要打扫; 增加换气,特别是易产生灰尘的场所.,3. 清除无尘室中的灰尘.,原则-4,定期测定无尘度(每周一次); 空调系统定期点检;,4. 监测环境参数.,无尘室测定数据-1F,测定日期:2004年6月份(15日-30日),无尘室测定数据-2F,测定日期:2004年6月份(15日-30日),无尘室测定数据-3F,测定日期:2004年6月份(15日-30日),