扫描近场光学显微镜ppt课件.ppt
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1、扫描近场光学显微镜,汇报人:,主要内容,1. 概述2. SNOM的发展历史3. 基本原理及相关技术4. 应用前景,扫描近场光学显微镜(SNOMScanning Near-field Optical Microscopy)是依据近场探测原理发展起来的一种光学扫描探针显微(SPM)技术。其分辩率突破光学衍射极限,达到10 200 nm。在技术应用上, SNOM为单分子探测,生物结构、纳米微结构的研究,半导体缺陷分析及量子结构研究等多个领域提供了一种有力的工具;在物理上,它将量子光学、波导光学、介关物理等多个学科联系在一起,并由此开辟了一个新的光学研究领域近场光学( Near-field Optic
2、s)。,概 述,SNOM的发展历史及国内外的研究现状,1928年,E.H.Synge 提出“近场探测原理”1972年,E.A.Ash 等人在微波波段(= 3 cm)实现了/60(0.5mm)的分辨率 1981年,IBM的G.Binnig发明了STM1982年,D.W.Plhl实现了SNOM分辨率为25nm90年代后,Bell实验室的E.Betzig解决了镀Al膜的光纤超微探针制备和针尖样品间距控制这两个难题,目前,在我国较有影响的国外产品有: 美国Thermo Microscopes,Inc公司的SNOM,德国OMICRON Vakuunphysik GmbH公司的Twin-SNOM等。国内已
3、有清华大学、北京大学、大连理工大学以及上海光学仪器研究所等多家研究小组在开发或研制扫描近场光学显微镜,研制光纤探针的小组更多。,SNOM的原理,常规的光学方法:探测元件(如镜头)则位于远远大于波长的远场中,由于衍射效应,只能获得由传播场携带的大于波长一半的结构信息。 近场光学显微镜:光学探针尖端的孔径远小于光的波长。当把这样的亚波长光孔放置在近场区域时,可以探测到丰富的亚微米光学信息。,隐失波及隐失场,在近场中,一方面它包括可以向远处传播的分量,又包括了仅仅限于物体表面一个波长以内的成分。它的特征是“依附”于物体表面,强度随离开表面的距离增加而迅速衰减,不能在自由空间存在,因而被称为隐失波。它
4、的特点是沿x-y方向传播,而沿z方向迅速消失,并且以光的频率振荡。由隐失波构成的场称为隐失场或者非传播场。,当一个亚波长的微小光源,在一物体的近场范围内照射物体时,照射光斑的面积只和孔径大小有关,而与波长无关。这样,在反射光或透射光中,将携带物体亚波长尺寸结构的信息,通过采集样品各“点”的信号光,即可得到分辨率小于半波长的样品的近场图象。,有关SNOM的几个技术问题,光学“探针”的制作 Tip-Sample间距的控制 不同的SNOM模式,SNOM系统总体结构,光学探针 A 样品台 B 探针扫描控制 C(包括TS间距控制) 光输入系统 D 信号采集处理系统 E,光学探针,光学探针是SNOM中的一
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