佳总兴业股份有限公司内层干膜作业流程指导书.docx
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1、內層乾膜作業流程指導書1. 目的:建立操作程序方法及制度,並提供作業人員及新進人員訓練參考之教材。2. 範圍:本操作規範適用於內層課作業人員,於作業內層板時使用。3. 權責:3-1. 該生產單位負責內層之運作及生產工作,依化驗數據配製及添加化學藥品、化學用品之領用及存放。3-2. 化驗室負責管控全場藥液取樣、分析及提出化驗報告。3-3. 維修單位須負責機器設備異常的處理。4. 作業流程說明:4-1. 針對各製程段進行機器、材料、藥水濃(溫)度等製程條件進行定期檢驗,以達到製程穩定品質提升之效能。製程管控項目換槽添加規定配槽量配槽說明脫脂槽換槽:(每星期)1. 漏掉槽液。2. 清除槽底污垢。3.
2、 重新配槽如配槽程序。注意事項:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。槽體積:1000酸性清潔劑(C768S):40L1. 先注入纯水至槽內1/2水位再倒入酸性清潔劑(C768S)40L再將水加入標準位置。2. 攪拌時間需達到10分鐘以上,並且空機run 15分鐘以上讓藥水完全混合均勻。製程管控項目換槽添加規定配槽量配槽說明微蝕槽H2SO2:25SPS:70100 g/lCu2+:Below35 g/l溫度控制:282換槽:(銅含量達35 g/l)1. 漏掉槽液。3. 清除槽底污垢。4. 重
3、新配槽如配槽程序。5. 每日取樣依化驗室分析數據添加。化驗後添加:1. 磅秤所應添加入槽中之SPS後,將SPS倒入配槽用水桶,取微蝕槽內之原液加入配槽用水桶、(目地為加水會稀釋原藥液)、攪拌使SPS溶解後,始倒入工作槽內。注意事項:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。槽體積:1000SPS:75硫酸50:50硫酸98:2 gal化驗後:使用量桶裝盛SPS磅秤化驗後所需重量。1. 將微蝕槽加入純水400公升。2. 倒入銅面處理劑(sodium persulfate)簡稱SPS-e285。3包
4、75,攪拌均勻,或用水桶攪拌均勻再倒入槽內。3. 倒入硫酸502桶50。4. 倒入硫酸982 gal,加水至1000L即完成配槽。在配完槽時,到入原先預留舊液5公升,目的是讓化學反應更快,並且空機run 15分鐘以上讓藥水完全混合均勻。5. 未經攪拌溶解之SPS藥粉,不能直接倒入槽內。6. 攪拌時間需達到10分鐘以上。製程管控項目換槽添加規定配槽量配槽說明酸洗槽換槽:(每班)1. 漏掉槽液。2. 清除槽底污垢。3. 重新配槽如配槽程序。注意事項:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。槽體積:
5、250硫酸98:2gal1. 先注入纯水至槽內1/2水位再倒入硫酸982gal再將水加入標準位置。顯影槽PH值:10.811.2。溫度:2830。CO32-:912 g/l。換槽:(每星期)1. 漏掉槽液,清除槽底污垢。2. 加入TC-607顯影槽清潔劑600L,加滿水,升溫45,空Run 1小時。3. 待清洗完畢後,漏掉清潔劑,加入清水清洗2次,每次30分鐘,完成後更換濾心,即完成洗槽。4. 重新配槽如配槽程序。5. 每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即
6、送醫。槽體積約1000。PC-450顯影液約22L。1. 按下添加水開闢注入純水於預備槽,待水位達到1/2,將PC-450顯影液8 L倒入後,在將水加至365L,打開攪拌器,攪拌時間需達15分鐘以上,使水及顯影液混合均勻,才可注入建浴槽。2. 當完成配槽後、人員需做最後確認、開啟攪拌開關時、一定要打開預備槽,槽蓋確認攪拌器是否有動作,避免顯影濃度不均。製程管控項目換槽添加規定配槽量配槽說明蝕刻槽1. 比重:1.3051.320。2. Acid:1.42.0N。3. Cu2+:115135。1. 漏掉槽液。2. 清除槽底污垢。3. 重新配槽如配槽程序。4. 每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項
7、:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。槽體積:1500。HCL:CC-352:51. 由AQUA再生機控制蝕刻液之比重及Acid,當比重低於1.305或Acid低於1.4 N時自動添加。去膜槽1. 去膜液鹼濃度:2.83.5。2. 溫度:555。換槽:(每星期)1. 漏掉槽液,清除槽底污垢。2. 加入防白水40L,加滿水,空Run1小時。3. 待清洗完畢後,漏掉防白水,加入清水清洗1次,30分鐘,即完成洗槽4. 重新配槽如配槽程序。5. 每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項:1. 加藥時
8、須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。槽體積:1400。片鹼42。1. 按下添加水開闢注入純水於預備槽,待水位達到1/2,將片鹼11倒入後,在將水加至365L,打開攪拌器,攪拌時間需達15分鐘以上,使水及粒鹼混合均勻,才可注入建浴槽。製程管控項目換槽添加規定配槽量配槽說明抗氧化槽換槽:(每班)4. 漏掉槽液。5. 清除槽底污垢。6. 重新配槽如配槽程序。注意事項:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。
9、槽體積:300公升。硫酸98:1 gal。抗氧化劑:30。先注入纯水至槽內1/2水位再倒入硫酸98 1 gal及抗氧化劑30,再將水加入標準位置。4-2.序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC1.接收轉帳1. 確定工單待作業製程是為該站,並檢查上站是否簽名。2. 作業前確實清點板數、料號、尺寸、銅厚及板厚是否與工單相符。3. 如無誤,在生產流程管控表上填上接收日期、時間、接收數量並簽名並接收轉帳。1. 每批號均須檢驗。工單2.進料檢驗1. 檢查板面及孔邊是否有毛屑、顆粒、刮傷、撞傷、沒R角。2
10、. 進料檢驗出問題板,則向上級反應,按其異常退發生問題站處理。1. 每批號均須檢驗。1. 工單。2. 【內層基板進料檢驗與轉入記錄】【PSC-05F136】3.生產進度安排所有產品共分為:加價趕貨、特急件、樣品、尾數急件、補料急件、普通件7種,以其優先順序,依序製作。1. 該單位主管須依生管部之指示客戶交期之先後,進行生產進度之安排。2. 生產進度之安排,應讓相關人員容易取得。3. 對於安排上線之料號,課長及組長,須事先了解該料號之生產條件是否正確,是否有特殊流程,若有須特別注意事項應向作業人員說明與教育,以免作業錯誤。4. 課長及組長應了解每一個工作人員之專長,對於安排上線之料號,應安排適當
11、的人作業。生產排單序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC4.前處理生產前準備與檢查事項1. 生產前各槽須先加熱到所規定之溫度。2. 開啟加熱器前先檢查液味是否在配槽液位高度。3. 任何槽別補水時,人員不可離開。4. 若機台發生故障時,除向上級主管反應外,仍須在生產日報表上註明。藥水維護:1. 加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2. 如不慎皮膚接觸藥液時,應立即以大量清水沖洗,如有不適時應立即送醫。3. 所有藥水槽濃度,是否控制在範圍內,(所有藥液之分析與分析頻率均
12、依化驗室藥水分析檢驗規範之規定進行)。4. 只有經單位主管訓練並認可之作業人員,才可進行藥液添加,以免發生意外。5. 依規定更換水洗水。6. 藥水液位不可超過水洗槽。生產前準備與檢查事項:1. 確認所有藥水槽溫度、槽液液位是否到達設定值,(所有濃度、溫度、藥水添加均須記錄備查)。2. 依設備點檢表點檢。3. 確認各水洗槽水閥是否開啟。1. 開線前均須以此步驟確認各生產條件是否正常,如有異常須立即向該單位主管反應並於(工作日報表)註明,同時停止投料動作。【藥水分析結果與添加量報告】【PSC-06F87】5.放板1. 放板輸送速度2.4。2. 投入放板由計時器依基板寬度設定延遲時間放板。1. 兩片
13、檢測設定:按設定模式(set mode)至設定位置(set)按o-adj讓它空跑一次,待out-1、out-2燈閃爍,記憶(ch)閃動。取一片投入基板放置在檢測sensor,按set-1待out1閃爍,然後記憶(ch)閃爍,完成第一片設定。將第二片同樣放置在檢測sensor,按set-2待out-2燈閃爍,記憶(ch)閃爍完成第二片設定。2. 放板由計時器依基板寬度設定延遲之時間,板與板之間距離至少10,避免疊板。1. 確認各項參數是否在設定內。2. 兩片偵測是否正確,警示是否會響。3. 板與板間距是否達10。序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必
14、要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC6.脫脂槽1. 溫度控制:3022. 噴壓1.50.5/2。1. 去除裸銅板上之污垢及油脂。2. 確認喷嘴無阻塞。1. 確認槽液液位是否達標誌位置。7.水洗槽1. 噴壓1.50.5/2。1. 將清水加入標準位置2. 確認循環水是否打開。3. 確認喷嘴無阻塞。1. 確認參數是否在設定內。8.微蝕槽1. 微蝕槽噴壓2.00.5/2。2. 微蝕速率20-30m1. 增加銅面之粗糙度,藉以達到與乾膜更佳的附著力。2. 確認喷嘴無阻塞。3. 說明:取尺寸為1010之裸銅基板,將裸銅基板進行水洗、烘乾、清潔表面步驟,再放入烘烤箱烘烤12015min,
15、ok後再放入電子天枰稱重(w1),取小數點4位數,w1稱重ok後記錄起來,接著進行微蝕製程,ok後再將基板拿去烘烤,ok後電子天枰稱重(w2)取小數點後4位數。(w1-w2)92900/420微蝕速率(標準1030)4. 作業中如遇卡板時應先將傳動停止,並將所有藥水、及水洗開關停止,打開相關作業蓋子、取出板子後,至品保設有cmi面銅量測區全檢量淵。1. 微蝕速率檢測流程圖裸銅基板水洗/烘乾烘烤12015min(稱重為w1)微蝕製程再烘烤12015min(稱重w2)公式計算(單位:)完成2.量測面銅後NG則報廢處理。【藥水分析結果與添加量報告】【PSC-06F87】序號流程產品、設備、製程重要之
16、管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC9.酸洗槽酸洗噴壓1.50.5/21. 去除銅面上之氧化2. 確認喷嘴無阻塞。1. 確認槽液液位是否達標誌位置。10.水洗槽1. 噴壓1.50.5/2。1. 作業時打開循環水洗,停止作業,關閉循環水。.2. 清潔板面,避免各藥水槽藥水帶入。1. 噴嘴無阻塞。11.擠乾1. 海棉滾輪。1. 檢查吸水滾輪濕潤而無殘水。1. 富有彈性,無破損。2. 每班潤濕。12.吹乾1. 吹風刀正常。1. 每週清濾網。序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢
17、查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC13.烘乾1. 烘乾溫度:10010。1. 該製程主要是烘乾再製品,減少銅面氧化。1. 確認銅面是否有烘乾不良而造成氧化。14.暫存機1. 轉速4010刻度。2. AIR 4.51.5kg/cm2。1. 啟動電源在ON位置。2. 作業中途發生停頓,可暫時將PCB儲放。1. 儲存數量10 PNL。15.壓膜前準備1. 線寬/間距4.0/3.6mil使用312內層乾膜,膜厚1.2mil。鑽孔鍍銅or盲埋孔使用115外層乾膜,膜厚1.5mil。2. 線寬/間距3.9/3.5mil使用1912內層乾膜,膜厚1.2mil。鑽孔鍍銅or盲埋孔使用1915
18、外層乾膜,膜厚1.5mil。1. 核對工單線寬/間距,方便使用何種乾膜。2. 乾膜用量計算公式:膜長6001225.4基板寬度可壓片數。3. 同一料號,有不同板厚、銅厚及夾板,應區分截角後,方可逐一壓膜,不可混淆。1. 檢查乾膜無流膠、氣泡。2. 檢查乾膜保存期限是否在6個月內。工單序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC16.黏塵機1. 轉速3.01.0刻度。1. 降低殘留在PCB表面髒東西、毛屑、銅渣或粉塵。2. 確認黏塵紙具有黏性。1. 每50 PNL割除黏塵紙一次。2.每4小時除塵滾輪擦
19、拭一次.17.板溫預熱機1. 板溫預熱:60102. 速度4.00.5m/min。3. 壓膜前板溫度505。1. 啟動電源在ON位置,待溫度上升。2. 讓輸送速度與前後速度一致。1. 測量溫度計。2. 每班一次。18.定位中心1. 定位速度23sec。1. 調整中心定位至板子適當位置及前後緣差距。1. 不同發料尺寸。序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC19.壓膜1. 壓膜機壓膜速度2.42.8m/min。2. 上壓板溫度555,下壓板溫度555,壓膜滾輪溫度11010。3. 壓著計時21se
20、c。4. 貼膜輪上壓力3.00.5kg/cm2;貼膜輪下壓力4.00.5kg/cm2。5. 壓膜滾輪壓力4.00.5kg/cm2。6. 氣閥壓力3.41.2kg/cm2。7. 主AIR氣壓46kg/cm2。8. 真空壓力10-60 -Hg。9. 壓膜後板溫度505。1. 以酒精擦拭滾輪及切刀清潔,切刀以目視檢查是否缺角或毀損,有毀損立即更換,其切刀壽命7000080000次。壓膜滾輪每班以酒精清潔並檢查,有無刮痕壓膜滾輪每班以酒精清潔並檢查,有無刮痕、凹陷,有即更換,避免影響壓膜品質。2. 板厚0.050.5滾輪壓力4kg/cm2 ;板厚0.552.5滾輪壓力3kg/cm2 。3. 壓膜最大寬
21、度610。1. 檢視首片壓膜好的板子是否有膜皺、氣泡現象、有無異物,如不良挑出退洗。每批量須檢查10 PNL,發現有問題當批量前後10 PNL做檢查或全檢。2. 壓膜滾輪於每卷膜用完即用無塵紙沾酒精擦拭乾淨.1. 依點檢表點檢及一般保養做保養。2. 【內層壓膜作業及自主檢驗報表】【PSC-05F134】20.翻板機1. 翻板速度3010刻度。1. 翻板作用,是使壓膜後,迅速散熱,使之定形,不易流膠。1. 檢視每一片是否有隔開重疊。序號流程產品、設備、製程重要之管制特性作業條件參數作業標準重點注意事項首件、自主、必要檢查檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC21.收板機1. 收板速度
22、3010刻度。1. 同一批量,工單應隨PCB,整齊放在台車上待曝光。2. 註明壓膜日期、時間、乾膜型號。壓膜完應在72 hr內曝光,超過應退洗重工。依【內層重工處理作業規範】(PSC-05S17)重工。22.收板1. 人員自收板機上將壓完之板子,由收板機上搬至台車每50 PNL為一單位整齊排放在台車上。2. 搬運時輕拿輕放,避免將乾膜刮傷。1. 作業人員隨時抽檢乾膜是否有刮傷。23.曝光前準備1. 底片繪製漲縮比率10000:12. 底片靜置時間15 hr以上。3. 底片存放區溫度222,相對濕度5510%RH。4. 底片量測器具,二次元與50倍目鏡。1. 工單與底片核對需相同,其項目包括:板
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- 兴业 股份有限公司 内层 作业 流程 指导书
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