奈米科技教学改进计画数位化网路自我学习练习题「微电薄膜...课件.ppt
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1、奈米科技教学改进计画数位化网路自我学习练习题微电薄膜,奈米科技教学改进计画数位化网路自我学习练习题微电薄膜,( ) 何謂真空的定義? (A) 容器內的壓力低於一大氣壓(B)容器中沒有任何的氣體(C) 容器中氣體密度小於2.510-19 mol/cm3.,精,2,( ) 精4,( A ) 何謂真空的定義? (A) 容器內的壓力低於一大氣壓(B)容器中沒有任何的氣體(C) 容器中氣體密度小於2.510-19 mol/cm3.,精,3,( A ) 精5,( ) 真空可以真空度來區分為(何者為非):(A) 粗略真空(1105 Pa 1 10-1 Pa) (B) 高度真空(110-6 Pa 1 10-9
2、 Pa) (C) 超高真空(110-4 Pa 110-6 Pa),精,4,( ) 精6,( B ) 真空可以真空度來區分為(何者為非):(A) 粗略真空(1105 Pa 1 10-1 Pa) (B) 高度真空(110-6 Pa 1 10-9 Pa) (C) 超高真空(110-4 Pa 110-6 Pa),精,5,( B ) 精7,( ) 下列敘述何者為非? (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空,精,6,( ) 精8,( B ) 下列敘述何者為非? (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C)
3、 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空,精,7,( B ) 精9,( ) 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分? (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非,精,8,( ) 精10,( C ) 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分? (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非,精,9,( C ) 精11,( ) 如何選擇真空計:(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇,精,10,( ) 精12,( B ) 如何選擇真空計:(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇,精,11,( B
4、) 精13,( ) 以下何者為非: (A) 粗略真空110-6 Pa 1 10-9 Pa (B) 中度真空 110-4 Pa 110-6 Pa (C) 高度真空110 Pa-1 110-4 Pa (D) 超高真空1105 Pa 1 10-1 Pa,精,12,( ) 精14,( D ) 以下何者為非: (A) 粗略真空110-6 Pa 1 10-9 Pa (B) 中度真空 110-4 Pa 110-6 Pa (C) 高度真空110-1Pa 110-4 Pa (D) 超高真空1105 Pa 1 10-1 Pa,精,13,( D ) 精15,( ) 目前最常用的真空單位:(A) Pascal (B)
5、 Torr (C) mbar (D) atm,精,14,( ) 精16,( A ) 目前最常用的真空單位:(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm,精,15,( A ) 精17,( ) 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750 mbar,精,16,( ) 精18,( C ) 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750mbar,精,17,( C ) 精19,( ) 下列何者非真空計(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) TA真空計,精,18,( ) 精20,( C )
6、 下列何者非真空計?(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) TA真空計,精,19,( C ) 精21,( ) 以下何者為是 : (A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標,精,20,( ) 精22,( C ) 以下何者為是 : (A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標,精,21,( C ) 精23,( ) 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressur
7、e ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed),精,22,( ) 精24,( A ) 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed),精,23,( A ) 精25,( ) 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則? (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range)
8、,精,24,( ) 精26,( C ) 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則? (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range).,精,25,( C ) 精27,( ) 下列何者為真空系統所需俱備的必要項目 ?(A) 幫浦 (B) 真空計 (C) 腔體(D)以上皆是,精,26,( ) 精28,( D ) 下列何者為真空系統所需俱備的必要項目 ?(A) 幫浦 (B) 真空計 (C) 腔體(D)以上皆是,精,27,( D ) 精29,( ) 下列何者為儲氣式幫浦? (A) 活塞式幫浦
9、(B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦,精,28,( ) 精30,( C ) 下列何者為儲氣式幫浦? (A) 活塞式幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦,精,29,( C ) 精31,( ) 真空幫浦在真空系統中的主要作用為: (A) 抽氣 (B) 排氣 (C) 打氣 (D) 儲氣,精,30,( ) 精32,( A ) 真空幫浦在真空系統中的主要作用為: (A) 抽氣 (B) 排氣 (C) 打氣 (D) 儲氣,精,31,( A ) 精33,( ) 下列何者為排氣式幫浦?(A) 吸附幫浦 (B) 結拖幫浦 (C) 擴散幫浦,精,32,( ) 精34,( B ) 下列何者為排氣式幫浦?(A
10、) 吸附幫浦 (B) 結拖幫浦 (C) 擴散幫浦,精,33,( B ) 精35,( ) 下列何者非大氣壓可啟動的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非,精,34,( ) 精36,( C ) 下列何者非大氣壓可啟動的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非,精,35,( C ) 精37,( ) 真空系統可能因什麼因素而受到汙染?(A) 氣體在腔體中燃燒 (B)幫浦的油氣回流造成污染 (C) 氣體管路帶來的不明氣體導致氣體生成物,(B) The hydrogen (氫) atom at ground state
11、(A) can, (B) cannot, absorb a photon with 9.0 eV.,精,36,( ) (B) The hydrogen (氫) a,( B ) 真空系統可能因什麼因素而受到汙染?(A) 氣體在腔體中燃燒 (B)幫浦的油氣回流造成污染 (C) 氣體管路帶來的不明氣體導致氣體生成物,精,37,( B ) 精39,( ) 想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 魯式幫浦 (C) 冷凍幫浦,精,38,( ) 精40,( B ) 想從一大氣壓將系統降至粗略真空範圍需要選用什麼樣的幫浦? (A) 擴散幫浦 (B) 魯式幫浦 (C)
12、 冷凍幫浦,精,39,( B ) 精41,( ) 何為RCA 清洗(何者為非)?(A) 屬於半導體製程的一部份 (B)可去除晶圓上的油污、附著物及表面氧化物 (C)處理矽晶圓的主要清理流程,精,40,( ) 精42,( C ) 何為RCA 清洗(何者為非)?(A) 屬於半導體製程的一部份 (B)可去除晶圓上的油污、附著物及表面氧化物 (C)處理矽晶圓的主要清理流程,精,41,( C ) 精43,( ) 下列何者非RCA清洗所需藥品? (A)氰氟酸 (HF) (B) 氨水 (NH4OH) (C) 鹽酸 (HCl),精,42,( ) 精44,( C ) 下列何者非RCA清洗所需藥品? (A)氰氟酸
13、 (HF) (B) 氨水 (NH4OH) (C) 鹽酸 (HCl),精,43,( C ) 精45,( ) RCA清洗的步驟中哪個動作是不需要的? (A) 加熱 (B) 以去離子水清洗 (C) 活化/敏化,精,44,( ) 精46,( C ) RCA清洗的步驟中哪個動作是不需要的? (A) 加熱 (B) 以去離子水清洗 (C) 活化/敏化,精,45,( C ) 精47,( ) 選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空?(A) 魯式幫浦+擴散幫浦 (B) 擴散幫浦+冷凍幫浦 (C) 冷凍幫浦+渦輪分子幫浦,精,46,( ) 精48,( A ) 選用下列何種幫浦組合可以達到中度真空?(A) 魯式幫浦+擴
14、散幫浦 (B) 擴散幫浦+冷凍幫浦 (C) 冷凍幫浦+渦輪分子幫浦,精,47,( A ) 精49,( ) 以下哪一種方式不能達到高度真空?(A) 乾式幫浦+渦輪分子幫浦 (B) 乾式幫浦+冷凍幫浦 (C) 以上皆可,精,48,( ) 精50,( C ) 以下哪一種方式不能達到高度真空?(A) 乾式幫浦+渦輪分子幫浦 (B) 乾式幫浦+冷凍幫浦 (C) 以上皆可,精,49,( C ) 精51,( ) 高真空使用的幫浦跟低真空使用的幫浦有什麼差異? (A) 轉速不同 (B) 低真空幫浦可以從大氣壓啟動,高真空幫浦無法從大氣壓下啟動 (C) 高真空幫浦可以從大氣壓抽到高真空,低真空幫浦只能從一大氣壓
15、抽到低真空,精,50,( ) 精52,( B ) 高真空使用的幫浦跟低真空使用的幫浦有什麼差異? (A) 轉速不同 (B) 低真空幫浦可以從大氣壓啟動,高真空幫浦無法從大氣壓下啟動 (C) 高真空幫浦可以從大氣壓抽到高真空,低真空幫浦只能從一大氣壓抽到低真空,精,51,( B ) 精53,( ) 高真空系統的保護裝置有何功用? (A) 在非正常啟動的環境下,避免氣體分子進入,會自動斷電,系統關機 (B) 在非正常啟動的環境下,避免氣體分子進入,會關上閥門隔絕 (C) 在非正常啟動的環境下,避免氣體分子進入系統,旋葉會反轉排出氣體,精,52,( ) 精54,( B ) 高真空系統的保護裝置有何功
16、用? (A) 在非正常啟動的環境下,避免氣體分子進入,會自動斷電,系統關機 (B) 在非正常啟動的環境下,避免氣體分子進入,會關上閥門隔絕 (C) 在非正常啟動的環境下,避免氣體分子進入系統,旋葉會反轉排出氣體,精,53,( B ) 精55,( ) 到達超高真空所需的主要後段幫浦 (A) 渦輪分子幫浦 (B) 擴散幫浦 (C) 旋片幫浦,精,54,( ) 精56,( A ) 到達超高真空所需的主要後段幫浦 (A) 渦輪分子幫浦 (B) 擴散幫浦 (C) 旋片幫浦,精,55,( A ) 精57,( ) 觀察高度真空所需的真空計為下列何者? (A) 彭甯冷陰極真空計 (B) 熱電偶真空計 (C)
17、派藍尼真空計,精,56,( ) 精58,( A ) 觀察高度真空所需的真空計為下列何者? (A) 彭甯冷陰極真空計 (B) 熱電偶真空計 (C) 派藍尼真空計,精,57,( A ) 精59,( ) 到達高度真空系統所需的真空計組合為何?(A) 熱電偶真空計+派藍尼真空計 (B) 熱電偶真空計+彭甯冷陰極真空計 (C) 派藍尼真空計,精,58,( ) 精60,( B ) 到達高度真空系統所需的真空計組合為何?(A) 熱電偶真空計+派藍尼真空計 (B) 熱電偶真空計+彭甯冷陰極真空計 (C) 派藍尼真空計,精,59,( B ) 精61,( ) 下列哪一種真空幫浦兼具有真空計的效用(A) 鈦昇華幫浦
18、 (B) 擴散幫浦 (C) 以上皆可,精,60,( ) 精62,( A ) 下列哪一種真空幫浦兼具有真空計的效用(A) 鈦昇華幫浦 (B) 擴散幫浦 (C) 以上皆可,精,61,( A ) 精63,( ) 下列哪一種真空幫浦具有油氣污染的疑慮而須加設油氣捕捉陷阱 (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦 (D) 乾式幫浦,精,62,( ) 精64,( A ) 下列哪一種真空幫浦具有油氣污染的疑慮而須加設油氣捕捉陷阱 (A) 擴散幫浦 (B) 渦輪分子幫浦 (C) 冷凍幫浦 (D) 乾式幫浦,精,63,( A ) 精65,( ) 下列何者非RCA清洗的目的 (A)去除表面有機物汙
19、染 (B) 去除金屬鍍膜層 (C) 去除生長閘極氧化層前之原生氧化矽,精,64,( ) 精66,( C ) 下列何者非RCA清洗的目的 (A)去除表面有機物汙染 (B) 去除金屬鍍膜層 (C) 去除生長閘極氧化層前之原生氧化矽,精,65,( C ) 精67,第二單元感應耦合電漿離子束濺鍍沉積銅金屬化薄膜製備與分析 逢甲大學材料科學與工程學系編製,精,66,精68,( ) 本系統有採用MFC(流量控制器),請說明本系統所採用的單位為何 ?(A) SCCM, (B) SCKM, (C)SCLM.,精,67,( ) 精69,( A ) 本系統有採用MFC(流量控制器),請說明本系統所採用的單位為何
20、?(A) SCCM, (B) SCKM, (C)SCLM.,精,68,( A ) 精70,( ) 本系統採用哪 種低度真空計(A) 冷陰極真空計, (B) 派藍尼真空計, (C) 液位真空計,精,69,( ) 精71,(B) 本系統採用哪 種低度真空計(A) 冷陰極真空計, (B) 派藍尼真空計, (C) 液位真空計,精,70,(B) 精72,( ) 本系統採用的低度真空計工作範圍約略在幾Pa (A) 1100, (B)0.1104, (C) 10-210-5,精,71,( ) 精73,(B) 本系統採用的低度真空計工作範圍約略在幾Pa (A) 1100, (B)0.1104, (C) 10-
21、210-5,精,72,(B) 精74,4. ( )本系統採用的高度真空計工作範圍約略在幾Pa (A) 110-7, (B)0.1104, (C) 10-210-5,精,73,4. ( )精75,4. ( A )本系統採用的高度真空計工作範圍約略在幾Pa (A) 110-7, (B)0.1104, (C) 10-210-5,精,74,4. ( A )精76,5. ( ) 本系統採用的低度真空幫浦工作範圍約略在幾Pa (A) 1100, (B)1105, (C) 10-210-4,精,75,5. ( ) 精77,5. ( B ) 本系統採用的低度真空幫浦工作範圍約略在幾Pa (A) 1100, (
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