无尘室异物对策课件.ppt

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1、Panel製程教育訓練教材,無塵室之異物對策,1/67,PANEL製程教育訓練教材,左右CMO製造TFT機能的良率。原因之一為異物。因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，進而達到製品品質穩定之目的。使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用。,異物對策,異物不良,所有異物對策之目的,2/67,PANEL製程教育訓練教材,1)Array工程 發生大批pattern不良。 斷路、短路。 2)Panel工程 發生大批之pattern不良。 電氣特性及表示畫面不良。 3)模組工程 電氣特性不良。 BL異物不良。畫

2、面不良的原因。,異物對策,異物成為何種不良,3/67,PANEL製程教育訓練教材,在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。以m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。 異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01 m之物質皆有。現在的半導體業已經從64M 0.28 m更進一步到256M 0.2 m的Pattern配線，必需要求同程度以下的異物對策。人的頭髮直徑大約在5070 mTFT的配線大約在6 m的程度,異物對策,異物是何種尺寸的東西,4/67,PANEL製程教育訓練教材,依Array、Panel、Module之不同，對異物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。Array無塵室(

3、全室)管理等級訂定100。Panel管理等級訂定10010000。Module部份的管理等級訂定10000100000。,異物對策,工廠的異物管理,5/67,PANEL製程教育訓練教材,與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進無塵室。與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。從設備和工具，保修部品等帶進。從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。從器具備品、棚架和台車帶進。 上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。,異物對策,異物從何處進入?,6/67,PANEL製程教育訓練教材,付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有 被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。人員攜入

4、鞋子和無塵服和食物、手提袋等，會帶入污染物。從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙等，建築物的不 良部份侵入。,異物對策,異物如何進入,7/67,PANEL製程教育訓練教材,金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物 產生。加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因 摩擦而產生異物。材料的角邊和材質會產生異物。 在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材 質會因剝落而產生異物。,異物對策,異物如何產生,有摩擦的地方、部份等，全部會發塵,8/67,PANEL製程教育訓練教材,裝置驅動的地方就是產生異物的地方。 齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子等，會摩擦的地方 為發塵源。關於膠帶類的接著

5、材的接著部份，在經過一定期間 後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有 細小的異物付著。人體會有很多細小的異物產生。 皮膚、毛髮、體毛等異物會產生。,異物對策,實際上從哪裡產生的?,9/67,PANEL製程教育訓練教材,塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。,異物對策,有哪些種類的異物存在?,一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣,10/67,PANEL製程教育訓練教材,裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。材料關係 材料

6、材質的發塵，加工時的發塵。梱包關係 梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。人體 皮膚、手垢、體毛、動作。建築關係 外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。,異物對策,異物從哪裡產生?,11/67,PANEL製程教育訓練教材,半導體是高精密度的圖案製成的 , 因此 , 圖案上若 有東西附著或橫跨 , 會造成斷線及短路不良。 TFT是畫面的生命, 其中若有異物附著,會遮住於畫 面,造成不良。 ASSY製程中若異物進入 B/L(BLACKLIGHT) 內部 , 會遮住顯示畫面, 看不見部份即為不良。 異物是最大的敵人 , 建造工廠必須花費很多經費 , 因此設備也是異物對策中最優先的課題。,異物對策,半

7、導體製造是和異物的戰鬥,12/67,PANEL製程教育訓練教材, Array方面 4m以下。 由於配線上之異物造成短路 , 斷線。 Panel方面 4 m以下 由於配線上之異物造成短路 , 斷線。 Module方面 B/L異物是以250 m以下做為良品判定基準 , 且以 畫面上之障礙物之大小為主。,異物對策,半導體現在和異物大小間的關係,肉眼在外觀可視異物為不良原因,13/67,PANEL製程教育訓練教材, TFT的面積比現在的晶圓大。 晶圓尺寸是 2530 公分。 TFT 是大畫面 , 即使有 1 個規定以上的異物附著於 畫面上 , 都會引起畫面不良 , 因此比晶圓廠更嚴格 的塵度管理是有必

8、要的。 現實上常因不良異物造成不良率達 40 50 %,要說明 如何對策異物是困難的 , 但若能克服異物 , 即能期待 高品質 , 高良率的產出。,異物對策,異物是TFT之良品率的關鍵,14/67,PANEL製程教育訓練教材, Array 製程90分 機器手臂引起的灰塵 , 設備的清潔 Panel 製程70分 機器手臂, 仕掛品 , 材料 , 作業面積 Module製程30分 通箱 , 拖盤 , 材料 , 清掃 , 5S 品保30分 室內環境 , 5S , 室內面積資材中心30分 室內面積 , 開梱 , 搬入出方法 ,清掃,異物對策,現在的異物環境達多少分?,目標100分,15/67,PANE

9、L製程教育訓練教材,因成本的關係最少需 90 分。 本來 , 在工廠建設,設計階段時 , 檢討出塵埃管理標準 來維持管理規定。造成工廠污染 , 或低於設計以下的 , 是人所造成要教 導相關知識 , 及維持 無塵室 清潔 ,若無法推動 即會 造成污染。 制訂定期實施的適當維持體制 , 管理者的指導也是 很重要的。,異物對策,異物環境至少需多少分?,16/67,PANEL製程教育訓練教材,管理監督者必須對塵埃有深入的理解。人員必須有塵埃的意識。人員必須有塵埃的知識。人員必須有對於塵埃的實際操作技能。必須有對於塵埃的工作團隊體制。必須對塵埃管理。知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。,異物對策,

10、異物對策必要的工作有那些？,知不知道要做什麼？,17/67,PANEL製程教育訓練教材,知識關於異物三原則及其具體的內容和異物。意識品質的關係和製造損失等。實技實際上如何做？清掃道具什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？管理方法在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？管理者的意識推動塵埃關係的整合。,異物對策,以什麼樣的方式實施教育？,18/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對品質左右品質的一個原因為異物，突然使製品機 能變化造成不良。材料發塵，不當梱包方法產生異物，搬出入方法產生物品。設備及工具也會從測定器發塵。室內的一切器具備品，人員穿著的無塵服，鞋子，洗手機， Air Shower等的異物意識

11、。,異物對策,人的意識可以改變品質度,意識和知識,19/67,PANEL製程教育訓練教材,特殊的產業 就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活動 ,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工廠。 但是被要求以m為單位的場所,可說是以半導體相關的 行業為代表。塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用支出的 目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設備和維護管 理都必須用掉很大費用。,異物對策,所有異物的影響,20/67,PANEL製程教育訓練教材,廠內人員對塵埃不能理解。不能理解生產與塵埃間的關係。裝置必須在何種狀態?室內環境該如何?材料該如何?要用什麼樣的對策及方法來維持管理,若大多

12、數的人不 能 理解即是問題。,異物對策,連目的都不知道的人,21/67,PANEL製程教育訓練教材,不攜入 不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室的東西須 全數實施異物對策。不使發展 不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、設備及異物 發塵。去除到不殘留 要全部徹底除去潔淨室內的異物，從意想不到的地方 之發塵去除並建立發塵對策。,異物對策,所謂異物三原則,22/67,PANEL製程教育訓練教材,不良的半數為異物影響TFT或晶圓的良率，歸究原因為異物所引起的佔大 多數。在製品的圖案中，有異物附著會造成短路的情形，在傳 送的配(引)線上時，會對正確的配線構成損害。異物附著在畫面上，造成陰影而使影像無法

13、看見。異物 成為引發各種損害的原因。,異物對策,所謂異物三原則,提昇良率的第一步即為對異物的管理,23/67,PANEL製程教育訓練教材,氣象條件與國民性日本人是極為愛好清潔的。 即使在住家也區別室內、室外鞋。 四季分明，冬季寒冷，採取以門確實隔離內外部的生活 方式。可能和開放的炎熱國家，有很大的差異。 並且，維持良好的環境。被塵埃所左右生產的半導體產業，就日本人的生活方式 ，正好可輕易達成嚴實的生產條件。,異物對策,垃圾及異物與國民性,24/67,PANEL製程教育訓練教材,清掃，是對人的意識改革，由人來清除異物。異物決定了品質，影響利益，所以防止異物的對策可 謂關鍵。根據異物三原則，貫徹的

14、作法是必要的，建立這些(以下 等等)平常能實施的體制。 有效的清掃方法。 有效的清潔工具。 有效的清掃頻度。 制定不需清掃的環境。 有效清掃特定時間。,異物對策,要提高品質就要清掃,25/67,PANEL製程教育訓練教材,清掃的方法改變了成效清掃的方法決定成效 雖然稱做清掃，但若只將吸塵器啟動實施清潔那麼成效 並不彰顯。清掃地點的順序 從高的地方到低的地方，上風處至下風處。清掃上使用工具的順序 先用吸塵器再擦拭，擦拭時以單方向進行往復式清潔易 造成擦拭後仍有污染附著。,異物對策,用清掃的方法清掃效果的改變,26/67,PANEL製程教育訓練教材,半導體關連產業沒有異物的環境，可作為品質製造上的

15、基準。 必須和5S緊密的接合 作業場所雜亂會是什麼東西造成的？或是處於易發生錯誤 的狀態下。 在整齊和美觀狀態下之作業場所的生產人員，對於異物較 能察覺。 同一製品在大量生產時，要保持美觀、整齊，就是要先做 好異物的管理。,異物對策,清掃達到品質基準,27/67,每個人份內的清掃工作做好的話，那是製造完美產品的捷徑,PANEL製程教育訓練教材,清掃頻度 依清掃場所來決定清掃次數，次數越多越乾淨，但成本亦愈高，因此依地點決定清掃之次數。直接加工的場所的周邊清掃的頻度也較高。清掃時間 依場所裝置部分，有些地方必須花費必要之時間仔細的清掃。,異物對策,清掃頻度和時間,綜合場所、頻度和加工內容一併討論

16、，設定頻度及清掃時間,28/67,PANEL製程教育訓練教材,關於D計劃 D：日day 每天五分鐘，自作業場所一公尺內周邊實施清掃。關於W計劃 W：週week 週末的三十分鐘，將高架地板上面全部清掃。關於M計劃 M：月month 每月一次花費8小時的時間，從高架地板下面從頭到尾的仔細清掃。,異物對策,知道DWM計劃嗎？,29/67,PANEL製程教育訓練教材,掃除機(吸塵器)： 使用無塵室專用的掃除機(吸塵器)。 因製造廠商眾多，購入時要仔細確認。 或者使用無塵室 專用的中央控制真空集塵設備。種種情形就必須使用較 長的管子，故對於操作方法及保管場所必須加以檢討。擦拭材料： 因為無塵布的種類多，

17、選擇符合用途及等級之無塵布， 沾酒精之材料亦可使用。,異物對策,清掃道具,NO.1,30/67,PANEL製程教育訓練教材,小鑷子： 在金屬 (機器) 的狹窄空間作清掃時，手無法伸入， 即使伸入亦有危險，必須將無塵布纏繞在小鑷子或 金屬棒上做清潔動作。刷子： 就使用場所而言，依發塵的場所必須使用刷子清潔 時才使用。橡膠手套： 使用藥品等及清潔有油的地方時，必須戴上手套。,異物對策,清掃道具,NO.2,31/67,PANEL製程教育訓練教材,在金屬加工及其它加工所產生的粉塵散佈在地板上 ，人們穿的鞋子踏到粉塵後，在工場內到處走動而 造成異物的擴散。維修室的物品搬至無塵室時，須先清掃 (清除) 乾

18、淨 後再搬入。在維修室、設保的房間內，須設置清掃用具及無塵 布。,異物對策,維修室及保全室鞋子的發塵,鞋子要有內部與外部的區別,32/67,PANEL製程教育訓練教材,環境的確認 在無塵室入口徹底的清除異物是非常重要的。 Air shower能適時將異物吹落嗎？ 要從吹的高度及吹的時間等來觀察？雙層梱包的陷井 物品在雙層包裝中不會受污染，因此問題在於要在無塵室 開梱及是在何處梱包？ 若不檢討開梱場所的話，所攜入的物品就會散布異物。,異物對策,物品攜入無塵室應如何作？,33/67,PANEL製程教育訓練教材,去除異物場所的確認 開梱場所的指定和開梱方法及搬入都與散佈異物有所關 連。 直接在地板上

19、做開梱等動作時，會使異物附著在攜入物 品上。搬入路線和中途的置放場所 搬入路線和中途的置放場所一定要經過 Air shower再進入 無塵室。 置放的場所不可靠近地板，要考慮如何對策異物的附著。,異物對策,攜入物品時的注意點,34/67,PANEL製程教育訓練教材,去除異物的方法和場所？ 利用AIR Shower 走道。 用酒精等擦拭。 防止異物附著的對策 將物品保管在無塵罩內。 利用密閉容器。,異物對策,攜入物品時異物的去除,請確認己經將異物除去了嗎？,35/67,PANEL製程教育訓練教材,從人的衣服上 從衣服發出灰塵。 從內衣褲、外衣、襪子等產生。從皮膚上、體毛等 從手的皮膚上發出灰塵，

20、及臉上皮膚脫落。 化妝品也會在一天之中掉落，頭髮體毛等的脫落。活動時 人行動時產生風，因而將異物捲起向上擴散。 人打噴嚏也會引起。,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,36/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,在裝置方面： 在裝置的驅動部，傳動帶等摩擦的地方，動力部的Air、Gas 噴出口的周圍，裝置加工部，因不同的加工方法會產生不同 的發塵。在治工具方面： 在治工具中金屬角落 (邊) 摩擦產生的金屬粉屑。在計器類 (儀表) 方面： 油漆、接著劑等產生的粉屑。在材料、製品、取出口方面： 在材料的取出口，製品的出入口，及裝入材料及製品的容器。,37/67

21、,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,在材料搬入方面： 從外面搬入的材料，大量異物會附著在上面。 應該在何種環境下生產？包裝材料： 包裝材料的容器、包裝的袋子、瓦楞紙等都會產生 大量異物。,在工場的入口處要防止異物的搬入。,38/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,製品通箱 使用之製品容器，即通箱含有很多異物掉入， 因平常不會從下方抽出通箱，故易堆積異物托盤 使用之托盤平常為外露狀態，若不清掃會堆積 污垢，長時間下來若不擦掉污垢就無法去除,39/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,製品棚

22、架 製品架是異物易停留的地方，迴風是由上而下，因此從 上方而來的異物，全部被阻擋在製品棚架的上方。保管庫內 製品保管庫內若不清掃，亦會成為異物堆積的地方，但 每次出入時，會擾動異物而擴散至周圍。,40/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,台車 台車上也是異物常掉落而堆積的地方，儘量設計為不掉 落之構造，人員作上下裝卸時，引起很多風的捲動，異 物亦隨之散落。車輪 無塵室內來回移動台車的輪胎，會將異物帶至各處，且 輪胎本身亦會發塵。,41/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,文具類 紙類膠帶類筆記用品類等都是發塵的來源。記

23、錄用品類 從各種記錄用紙或紙類的四角磨擦皆會發塵。公告欄 公告欄長時間在乾燥的室內，表面會變的容易發塵。 卡片匣須作防靜電處理，若沒有則容易使異物吸付在 上面。,42/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,在什麼地方會產生異物,它項 ,無塵服 無塵服容易與裝置設備因接觸而污染，所以須定期送洗。 無塵服拉鍊須完全拉上，頭套須套住臉與頭髮，以防止 異物 發生。手袋(手套) 從破損、油、藥品及污垢等產生異物。,43/67,PANEL製程教育訓練教材,門 在門故障時，異物容易在間隙中積存。 在門的橫條縫中，異物容易在這裡積存。 從Air Shower 從門的空隙進入無塵室。 吹出口周圍及標示牌的

24、膠帶脫落後，都容易積存。,異物對策,它項,在什麼地方會產生異物,44/67,PANEL製程教育訓練教材,機械手臂 在貨物裝載的地方容易積存。 裝卸部的驅動部分容易堆積。 從機械手臂的導輪部發塵。機械手臂路徑 從導輪屑、導軌Tape的摩耗部發塵。,異物對策,它項,在什麼地方會產生異物,45/67,PANEL製程教育訓練教材,不注意下列項目物品就會發塵、散亂材料的開梱場所 開梱場所選定了嗎？ 開梱場所和生產場所有否分開？ 開梱場所地板的地上已舖上墊子嗎？ 包裝材的瓦楞紙是在外面做開梱嗎？ 開梱前的場所與開梱後的場所是分開的嗎？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO1,46/67,PANEL製程教育訓練

25、教材,不注意下列項目物品就會發塵、散亂裝置 是否有漏油嗎？ 是否有生銹嗎？ 從驅動部是否有異物發塵嗎？ 電鍍油漆部位是否有剝落？ 裝置的角落，是否有與台車或其他物品擦到而剝落嗎？ 氣體是否有外漏嗎？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO2,47/67,PANEL製程教育訓練教材,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂治工具 是否有污垢？ 是否有油污附著？ 是否生鏽？ 是否有金屬脫落及金屬屑？ 是否有鍍膜或油漆的剝落？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO3,48/67,PANEL製程教育訓練教材,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂部材 何種包裝材料？ 包裝材料是否有污染？ 裝材料用托盤是否

26、污染？ 材料無污染嗎？ 材料會發塵？ 開梱場所地板的狀況？,異物對策,無塵室內的發塵源,NO4,49/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO5,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂紙類 是否使用無塵紙？ 是否未切割的很小？ 是否無破裂？ 角落是否無磨擦到？ 開始發塵的期間是否不長？,50/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO6,若不注意下面所記載的事項，會造成發塵、凌亂搬運 搬運什麼？ 門如何地開關？ 何種搬運方法？ 如何地使用Air shower？ 搬運時從何處通過？ 何種的搬運速度？ 一次搬運的數量為何？ 容器放在什麼上面搬運

27、？ 使用何種的搬運車？,51/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO7,各種容器 托盤容易付著 托盤裝載半製品至次工程，當然製品的異物也容易 附著於拖盤，進而污染下一製品。 通箱和垃圾箱具有相同的污染程度，通箱內灰塵容易 聚集且不易掉落，因此在這種情況下製品取出放入的 磨擦又引起發塵，造成各式各樣的東西容易聚集、容 易發塵，且不易掉落的情形。,52/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO8,棚架 棚架容易遮斷氣流，堆積異物於週邊，所以不可 放置在加工作業場所附近，由於棚架容易堆積異 物，所以使用網板材。櫃子 東西放入裡面，門關起來,雖然外

28、表看起來美觀， 其實裡面容易污染，即使不整理被放置在裡面的 物品所產生的污染物也看不見，所以希望櫃子是 沒有門的。 重要物品及書類等要另外保管。,53/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO9,待投入品的放置場所 製品的放置場所，方便性是很重要的，但若設置 在通路及人通行頻繁的場所，容易引起異物的附 著。待投入品的放置方法 從地板上堆積待投入品，由於異物都集中在地板 下，較容易捲入異物，所以待投入品最低也要放 置在地板高80公分以上的地方。,54/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO10,空氣的利用及漏出 在無塵室內，無法排出過度擾亂之

29、空氣及氣體， 所以，軟管不可以脫落，確實安裝。氣體 當然有毒氣體，如果是氯氣類的氣體洩漏的話， 會 因為生鏽，這時有關金屬類裝置，如工具及計 量儀器類等全部被破壞。,55/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO11,漏水 漏出的水乾燥之後，和水一同聚集的異物會散佈週邊，造成不良的影響。另外，水乾燥後又造成金屬生鏽。藥品類漏出 藥品類漏出的週邊會有嚴重的生鏽發生，特別會 對金屬類造成影響，成為製品污染的原因， 所以藥品類漏出要十分注意。,56/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO12,垃圾箱 垃圾箱裝滿狀態下，若持續將垃圾放入時，需將垃圾

30、 擠壓，造成異物隨空氣排出，而污染無塵室。異物裝 滿垃圾箱時，若移動袋子，會造成異物散佈在四周。廢料 廢料不管放置到什麼時候，終究還是會造成污染，異 物會散佈在四周。,57/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO13,告示物：紙類這種東西，隨著時間會慢慢的破損，不久就 會成為細小的異物，而成為發塵源。膠帶類： 貼附的東西大部份是膠帶類，在貼附後，假如經 過長時間之後，膠帶本身和乾燥的接著劑便成了 異物。膠帶撕下後： 牆或石棉系的牆，在膠帶撕下之後，會因表面的 破損而成異物的發塵源。,58/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO14,膠帶類

31、： 膠帶剛開始貼時沒有什麼問題，但是經過六個月 之後，膠帶便會脫落而成為大的異物，而且，接 著劑亦因時間而掉落，亦是造成異物的原因。接著劑： 瞬間接著劑和其他接著劑常被使用，但再乾燥的 無塵室裏，是造成意想不到異物的原因。 有些接 著劑會和其它物品摩擦之後，會有細小的異物產 生而發塵。,59/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO15,工具類及工具箱： 工具類及工具箱都是異物容易聚集的地方，因此， 工具箱的構造也要檢討。 放入工具箱中的工具類也會攜帶異物使異物附著於工具箱中，所以要經常清掃。以油及化學藥品除銹： 工具使用油類及化學藥品等，維修設備時，在工 具上的油污

32、會吸附異物，也會因藥品的影響而產 生銹。 要經常觀察金屬在摩擦時有無銹的產生。,60/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO16,工作場所的周邊： 在工作場所的周邊，不要放置不必要的物品， 因 為這樣清掃是很困難的，而形成異物聚集的地方。作業方式： 作業空間內不要擾動空氣而引起風，不急劇動作 及不使物體來回振動，異物就不會隨著氣流飛揚。袋類的使用： 袋內的空氣因為袋子裝著空氣，急速地裝入物品， 袋內的空氣因受到壓擠而吹出氣 流，會揚起周圍 環境的異物。,61/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO17,維修作業： 為了維修而分解裝置的故障

33、部份時，同時會有大 量的金屬屑或異物的產生，另外，在螺絲旋緊時 及其他為了安裝而實施金屬加工時，亦會有金屬 屑的產生。防止異物掉落在周圍和地板下： 在維修作業時，不使各種屑掉落在周圍及下面地 板是很重要的，因此，加工應在無塵室外實施，然後在無塵室內部僅做安裝動作，這一點是很重要的。,62/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對策,無塵室內的發塵源,NO18,REPAIR作業 因需將部份已組合的製品，部份或全部分解，過程中 易伴隨各種異物的發生。偏光板切斷時的切斷屑、膠 帶剝離的接著劑、金屬屑、摩擦屑、鍍膜脫落屑及作 業台的摩擦屑。偏光板剝離 剝離時必然會產生接著劑屑、玻璃破片屑、偏光板屑、

34、切斷屑等產生。,63/67,PANEL製程教育訓練教材,NO1空氣過濾器的連續運轉 使用時的動作確認和使用狀態的確認。過濾的電源OFF時，從罩外侵入的異物堆積在罩內。清潔桌的門 使用後將防止污染的門關閉，或讓過濾器(風扇)連續運轉，也可防止污染。,異物對策,無塵室內的異物對策,預先做好外在污染不帶入無塵罩內的措施,64/67,PANEL製程教育訓練教材,NO02防塵罩內的活用 考慮氣流的活動，設置異物對策的防塵罩。不妨礙防塵的目的下，對物品及棚架的放置方法也需考慮。 PVC罩 PVC防止異物侵入之設置物不要任意打開或撤除。,異物對策,無塵室內的異物對策,即使材質不同也能達到相同之目的，注意使用及周邊利用確認做好靜電防止加工。,65/67,PANEL製程教育訓練教材,NO3棚架板的網孔化 大部分的方式為下吹式迴風，重複重天花板吹出較乾淨之 空氣並從地下吸入，不斷送出乾淨的氣。不阻礙空氣流動 的棚架及台子是必要的(網孔方式較好)。作業台的網孔化 設置很多的作業台時，好讓空氣的流動順暢，一定要挖孔。,異物對策,塵室內的異物對策,遮擋物會從天花板的空氣流動,66/67,