单晶硅片单晶炉设备工艺流程课件.ppt

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2、就是为了不让强者做什么事都横行霸道。奥维德19、法律是社会的习惯和思想的结晶。托伍威尔逊20、人们嘴上挂着的法律，其真实含义是财富。爱献生单晶硅设备培训目录1硅料的提炼2单晶硅片工艺流程*3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程*9.晶升,埚升介绍10加热部分,单晶硅设备培训,目录1硅料的提炼2单晶硅片工艺流程*3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程*9.晶升,埚升介绍10加热部分,硅的提炼:硅,Si,地球上含硅的东西多的很好像90%以上都是晶硅的,也就是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上就可以了

3、开始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,在加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住的,气体通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢就变粗了,因为是气体变固体,所以很慢,一个月左右,箱子里有就很多长长的原生多晶硅,目录1硅料的提炼2单晶硅片生产流程3.单晶炉展示4.产品展示5.单晶炉种类6.单晶炉结构7.各个部件的作用8.单晶工艺流程9.晶升,埚升介绍10.加热部分,单晶硅片工艺流程:1.酸洗:使用稀硝酸HNO3,进行清洗,去除表面杂质及提炼时产生的四氯化硅2清洗:清洗硅料经过酸洗后的残留杂质。,3单晶硅料烘干:去除水分4.挑料:

4、区分P型,N型硅料。5配料:对拉晶的硅料型号进行匹配。,6单晶炉拉晶:,7.硅棒检测:检查有无位错,棱线断等现象。8开断:将单晶硅棒用带锯条切割成四方体。9包装:将开断后的单晶硅棒进行包装,送至下一道工序,10.磨圆:将单晶硅棒四个直角进行磨圆。11多线切割:瑞士的264,265。日本的PV800,MDM442DM设备进行切割033mm。,线切割原理:the wires cut thebrick into wafers,41、学问是异常珍贵的东西，从任何源泉吸收都不可耻。阿卜日法拉兹42、只有在人群中间，才能认识自己。德国43、重复别人所说的话，只需要教育；而要挑战别人所说的话，则需要头脑。玛丽佩蒂博恩普尔44、卓越的人一大优点是：在不利与艰难的遭遇里百折不饶。贝多芬45、自己的饭量自己知道。苏联,