扫描电镜应用实例ppt课件.ppt

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2、态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,能谱原理,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,1、在真空和电子束轰击下稳定2、试样分析面平、一般要求垂直于入射电子束3、试样尺寸大于X射线扩展范围4、有良好的导电和导热性能5、均质、无污染无法满足上述要求的试样，定量结果准确度低,能谱定量分析试样要求,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,定量分析结果解读样品定量分析结果中常以质量百分比（wt ）和原子比（Atomic ）表示:Weight% -试样修正后的浓度App. Con

3、c./Intensity corn. = Weight %（所有元素结果可归一化）Atomic ：wt 分子量后归一化得到。所有元素的原子重量归一化,定量分析结果解读在能谱中1置信度：68.3%; 2置信度：95.4%; 3置信度：99.7%。1：元素可能存在；2：存在；3：大量存在。如果Weight%0.2wt.%, Sigma=0.12wt.%, 则Weight%小于2，该元素不一定存在。如果试样中某种元素的20.24wt.%,元素含量为0.2%,认为该元素不存在或小于0.1%。要证明该元素的存在，必须延长测量时间，这属于低于检测极限技术。,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析

4、,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,材料表面失效分析,1、线扫描的线高度代表元素含量，同种元素在相同条件下可以定性比较含量变化。2、因为不同元素产生的X射线产额不同，所以元素之间的峰高不能进行元素含量的比较。除非峰高度相差较大，可以定性比较。3、即使元素含量没有变化，沿扫描线的元素分布通常也不是一条直线，这是由于X射线计数统计涨落引起的。,材料表面元素分析,材料形态研究,材料尺寸大小分析,材料表面元素分析,材料表面失效分析,观察试样表面元素分布时（黑白或者彩色显示），元素含量高的区域，显示的白点多、亮度高，但本底噪音也会产生少量白点，无法和低含量元素区分。对低含量元素无法显示元素分布特征。元素面分布一般与相同部位的形貌像对照分析。由于面分布灵敏度低，面扫描往往采用大探针电流分析，特别对轻元素，如果探针电流小，特征X射线信号很弱，无法显示元素分布。,材料表面元素分析,材料表面失效分析,thanks,