半导体IC切割SSS培训教材ppt课件.ppt
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1、SSS培训教材,第一章,V2 Handler 的各部分机械调节的方法,按下E-Stop,转动Turret,检查运动顺序是否正确: 外环下内环下外环上内环上 确定吸嘴的位置,在Reject Boat,Good Boat以及Orientater处的位置是否在正中间 。,Orientator,Reject Boat,Good Boat,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,8个吸嘴是否在同一个高度 方法:在XY Table上面确定一个固定点,转动Turret,看每一个吸嘴接触定点的高度是否相同,调节上方顶杆和杆
2、套,选取高度平均值,使各吸嘴处于同一高度。检查吸嘴在XY Table,Reject Boat,Good Boat以及Orientater处的高度是否满足要求:,在XY Table上面放置一个Unit,如图所示,吸嘴,Unit,XY Table,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,Orientator位置的高度标准:,Reject Boat,Good Boat上面高度标准:,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,检查
3、XY Table 在XY轴向的平行度: 固定一个吸嘴,转动XY Table 在X,Y轴向的马达,移动XY Table,检查Good Arm在Index Tray和Good Boat上面的高度,以在Index Tray上的高度为基准;Reject Arm在Reject Tray 和Reject Boat上面的高度,以Reject Tray上面的高度为基准。,Turret速度设定:旧机器50100,新机器100120,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,Good Boat802 sensor,Reject
4、Boat801 sensor 调节时Boat必须在Arm的正下方,Good Boat,Sensor,Sensor,Unit,Arm 2,检查Arm2 Gripper 和 Carrier是否在同一个平面;跑机过程中检查Gripper是否变形;Arm 2 在XY Table的马达位置,Retainer活动顺畅;Arm 2 在Flipper,Wash的位置是否正确,调节气阀,使上下运动力度再合适的范围之内;,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,Washing & Drying: Washing冲洗次数为36次
5、,速度为80mm/s Drying烘烤次数为810次,速度为60mm/s,温度设定为23 若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干,则必须检查如下:,清洗不干净:,检查上下喷嘴是否堵塞;检查高压水压力状况;Carrier在Start,End的位置是否正确,清洗不干净:,检查上下喷嘴是否堵塞;检查压缩空气的压力;加热泵是否工作;Carrier在Start,End的位置是否正确,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,发现链条活动常:,检查前后导矸是否平行;导杆前后距离太近导致链条过长刮到Wash底部;连轴器松动
6、导致位置变化;Carrier托盘是否松动,检查轴套是否破损,及时更换;长轴是否变形,Flipper检查,检查Flipper在Work,Home状态下是否平衡,调节连轴器,使之达到平衡;Carrier两头的夹子是否松动,固定架子的杆是否松动;检查Flipper在翻转是是否顺畅;检查定位针是否磨损;调节气阀大小,使之翻转的动作平缓,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,Lead in 检查: 检查Sensor高度,皮带是否磨损导致Substrate不能到位,检查轨道宽度,Arm 1检查,检查Arm 1 Lef
7、t在Lead in 位置是否平行,定位针是否破损,保证在吸料时,Substrate完好;检查Arm 1 Left在Chuck table位置,检查上下平面是否平行,确保放料位置正确;检查Arm 1 Right在Chuck table位置,检查平面度,下降高度不能太低,确保位置正确; 方法:手动使Carrier在Chuck table 位置下降到底,比较Chuck table 与Carrier两个平面,以Chuck table 平面为基准,同时移动Arm 1 Right到一个定位销与Chuck table 平面平行,再检查另外一个定位销是否与Chuck table 平面平行,若不平行,松开中间四
8、个螺丝进行调整。,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler机械位置调整,检查Arm 1 Right在Flipper位置: 确保位置正确,当Arm 1 Right下降抓Carrier时,不能太低,刚好能抓到位最好,检查整机效率,Saw机速度 60Wash 速度 80 , 次数3-6Dry 速度 60 , 次数8-10Turret速度 80-100 在跑机时,观察机器状态,协调各参数,若发现异常,及时处理,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler 机械
9、位置调整,Saw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Saw 机机械位置调整,镜头 (7.4),确定镜头聚焦的零点,一般在Rubber孔边缘面上,低倍镜头聚焦范围在高倍镜头聚焦的范围内,达到 High / Low 拒交相一致;任何原因拆开镜头,安装时要按照原次序安装,有空袭是要涂上密封胶,保证镜头十字架与Substrate十字架平行;若发现镜头脏污时应及时清洁,用净化纸棉签与酒精清洗。,断片处理,残片切割采用半自动切割方式(3.4),在CH3方向,只能在切两刀之后再重新对刀,第一刀,第二刀和第三刀的距离不同 ?,Saw Sort Syst
10、em Technician Training Manual ASA V2 Saw 机机械位置调整,保证切割残片时,抬刀高度和贴Marking 纸的厚度一般为5张,切完时最下面一层纸应不被切透。,(4.1.2)Z-Axis Auto Down Length 20mm Down 0.01mm注意:每一次NCS测高报警时,应清理 Sensor 直至测高完成,发现损坏请及时更换,Work Thickness 1.1mm Focus Stroke 2.5mm Focus Setup 0.05mm,2.5mm,1.1mm,做PR时, -Level 设置为45%50%。十字架边缘要清晰,斜光一般不要求太强,
11、一台机器的PR应该包括几种不同型号的Substrate.,第二章,换刀程序,退出主菜单.进入换刀菜单.如图,按F1进入换刀界面,二: 用换刀工具把新刀换上.(重要部分,需现场指导和培训 ),换刀工具如下:,装刀顺序如图,换刀要按照以上顺序进行安装保证每部分要正确和到位.并保证每部分清洁,清洁,未清洁,三: 对BBD进行清洁已达到指定要求,两种情况:磨轮罩打开和关闭的状态.,关闭,打开,BBD:调节方法如下调节BBD的螺丝,使BBD的感光量在 打开磨轮时在60%-80%之间 关闭磨轮时在10%左右 如果没达到规定量,请用棉签清洗传感器部分,四: 对非接触测高进行清洁已达到指定要求,在关闭清洗水和
12、吹气的情况下传感器的电压水平需达到90%-99%之间.如无法达到时.请用棉签对传感器清洗,进入测高菜单,选择F3测高模式后进入,选择Z1或Z2需测高对应的选项进行自动测高,进行刀痕校准,校准前,校准后,开始自动切割由技术员观察切割质量,注意事项:1:换刀时,需对刀架周围和刀架本身进行清洁.以防止sub残渣卡在刀架上造成切偏缺陷和掉真空报警。2:清洁刀架两侧的冷却水管。以防水管堵塞造成刀片冷却不够,使刀片变形导致刀痕变大产生的切偏缺陷.,第三章,打磨法兰程序,在生产过程中.出现打刀后法兰出现以下情况: 1:刀片打碎后,有残留在法兰上的碎片无法取下(打磨或更换) 2:在换刀时发现法兰外盖难以取下并
13、感到有卡住的情况(更换)3:把新刀放在法兰内环时发现刀活动范围过大,或发现刀无法轻松的放入内环(更换)4:内外环无法完好闭合.(打磨) 请根据以上情况对法兰进行打磨或对法兰进行更换,进入打磨程序.如图,按F1进入菜单,把工具按要求装上.如图,工具如图:,安装过程需现场培训和指导,打磨位置如图,侧面图,正面图,打磨高度和距离,进入设定程序.对各参数进行校对后开始打磨,注意:打磨参数已经设定,技术员只需选择所要打磨的(动作轴)后按enter就开始自动打磨。在打磨完毕后根据打磨效果对(总次数)进行修改以达到最佳效果,第四章,Saw PR,退到主菜单后选择F2进入,选择,选择F2,进行 Tech PR
14、程序,第一步,如图中所示,用绿色田字对准白色十字架后,在下列目录,选择F7或F8,进行灯光或聚焦设定,已确保到达最佳效果,完成以上步骤后,按F5进行水平校准,(校对同一条直线上的两个不同的十字架来达到水平),第二步,CH1方向,完成水平校准后,按”Enter”进行电脑自动teach如图框所示,达到此标准后按Enter进入下一步,第三步,确认切割道此步骤重点注意,如图:用3根绿线中,选择中间的实体绿线来对应白色十字架的中心。(这是刀片切割的位置,请保证要对应到中心位置)后按Enter确认,第四步,CH2方向的方法请参考以上四个步骤进行Tech,第五步,第六步,校准目标,确认切割道,完成PR,第五
15、章,HANMI更换程序。,更换程序,进入此键面进行程序选择,选定需要更换的程序后按(deviceChange)进行确认。产品选择后成红色状态表示更换成功,更换产品对应的模具,Saw block,Dry block,Turn table,Table picker,Unit picker,SQUARE PAD,校准吸嘴,先打开Special key on,按Auto Align进行自动校准吸嘴,观察吸嘴位置,以确定吸嘴已装正确,观察此数据,确保X:0.001-0.005之间,更换 Saw 程序,退到主菜单后选择F3(程序目录),选择需要更换的程序后,按F10确认,进行刀片测高,请根据换刀程序步骤进
16、行刀片测高,最后确认,以上步骤做完后,请按以下几点进行最后确认1:让操作员把相对应的产品放入机器。2:由技术员检查第一片产品的: 刀痕确认,Vision ,和摆放位置。并让R/L操作员确认产品质量,第六章,VISION,BGA Hanmi SSS vision操作,在 Hanmi SSS 机器系统里, 已存储了原始的 vision 检查程序 C:DBTeach Data.。根据不 同的产品所做的程序也同时存在 C:VisionDBTeach Data 里.每次产品更换,除了更换相应的 conversion kit 外,必须根据不同的产品调用相关的程序。 必须用无尘纸认真擦拭 Dry block
17、, 保证 Dry block 的清洁 .程序调用完毕, 主程序中以红色字体显示当前运行程序, 其已和 Vision 检查程序完成自动连接。(见图1),检查 Vision 端程序状态, 若在 Database Index 中和主机相同的程序通道显示出来,则程 序调用完成(见图 2)。否则, 重新在主机中调入一次, 或关闭 Vision 程序, 再重新启动,图 2,图1,第二步,一般而言,程序调用完成,即可开始生产。存在 C:VisionDBTeach Data 里的 Teach 文件 由 PM 或工程师完成并已优化。在跑第一条产品时,若发现白点X-Mark 未挑干净, 或很多Over-rejec
18、t, 操作员应通知当班负责技术员调整Teach 光线或重做Teach,Ball teaching,1. 选择检查球的摄像头, (见图3), 检查是否有切过的package 放在加热板上, 将检查摄像头移到加热板下可显示package 内一次检查的区域。,图3,2. 选择按钮 live, 以获得图像。(见图 4),图4,3. 选择通道“#1”,在“Light”中可调节主光和侧光的设定值, 保持“CH1”设定为0。(见图5,图6.图7),图5,图6,CH1,主光,侧光,图7,光线的优化对vision 的检测十分关键,优化程度可放大图象, 通过快捷键“Ctrl+A”显示各位置的灰度值来判断。见下图推
19、荐值。在主光和侧光的调节方面, 建议先设定侧光为0, 逐步调节主光, 使灰度值在以下的推荐范围内。,图8,记住此主光设定值,在设定侧光时, 可先使主光为0,逐步调节侧光, 使灰度值在以下推荐范围内,此后将两者组合, 得到较佳的光线组合。,图9,图10,4. 选择通道“#2”, 在“Light”中可调节“CH1”的设定值,保持主光和侧光的设定值设定为0,“CH1”中的设定值是否恰当, 可在整片“Strip”内寻找有白点的区域,看在此灯光下, 该白点是否清晰可见。见图12.图13.,图11,图12,图13,调节此处光的数值,使该白点是否清晰可见,5. 光线设定完毕, 建议先退回到“Setup DB
20、 Sheet”保存一次,防止灯光的设定因之后的“Teach”不成功而作废。图14,图14,6. 回到“Teach”界面将指针指在图象可视区域,右击鼠标,显示:,图15,7. 选择ROI Dragging,设定一次检查区域。,8. 画好一次检查区域,左击鼠标, 确定检查区域。注意确定的区域必须和主机设定的值一致,此后在“Setup DB Sheet”中显示的“Shot”值也是一样的。见图16,图16,此处设定值与下图一致,与上图设定相同,9. 若ROI 设定有误, 可取消此次设定。,10. 确定检查区域后, 点击“Teach”按扭。,11. “Threshold setting”窗口会自动弹出,
21、 设定“X-Mark low value”and “X-Mark high value”。,Vision 检查白点的原理是:在灯光的照射下,黑白灰度等级由0255, 但统计计算无法区分计算所有灰度等级, 所以设定了“Threshold value”, 高于“Threshold value”的灰度点,即判定为白象素点, 低于“Threshold value”的灰度点,即判定为黑象素点。,“X-Mark low value”是判定划伤缺陷的阀值,若设定的过低, package 上的一些稍亮的区域就会被判为白点,造成Over reject。若设定的过高,则划伤形成的稍亮部分无法检查出来,划伤缺陷无法
22、检测。最佳设定可根据以下推荐图象进行。,“X-Mark high value”是判定白点缺陷的阀值,拖动滑标,设定值以白点刚可以显示出来为准。该设定值和“Setup DB sheet”中“Maximum Reject Mark Area”配合使用,检出白点。,12. “Threshold setting”设定完成后,Teaching 区域若显示绿色, 则表示teach 成功, 保存“Setup DB sheet”,即完成Teach 工作。(见图25)若Teach 失败, 必须根据“Ball result” 的提示信息修改相关的设定值。,常用的快捷键:“Ctrl+ A”:显示各点色素值,辅助光线
23、设定“Ctrl+ D”打开DB sheet“Ctrl+ E”执行Test run“Ctrl+ T”执行Teach“Ctrl+ I”显示I/O 控制界面“Ctrl+ Alt+ V”显示主机和vision PC 之间的局域网通讯连接信息。,“Ctrl+ Alt+ Shift+ T”:显示“Threshold value”设定滑标, 用于设定辨别package 边界分辨值。“Ctrl+ Alt+ Shift+ R”:Ini 设定值写入运行程序。,Setup DB sheet 内关键参数的含义及设定:,IPIN Remove: Package 一角的方向标志, 亮度大, 可能被误认为白点或Extra
24、ball。因此程序中定义了一个矩形区域,将这个区域屏蔽,即视而不见。矩形区域大小由此参数决定。,Pkg Edge threshold: package 放在加热板上,切割道露出的区域和package 产生的黑白对比是辨认package 边界的依据。黑白对比的原理和X-mark 辨认原理一样。,所以,由于加热板太脏,package 边缘黑白对比度小,难于辨认出package 边缘,会造成PKG Absence 的over-reject. 或引发Missing ball 的over-reject。因为,系统程序中球的阵列是根据package 边界计算得到,在辨认package 边界后,计算得出理论
25、上球的相对位置,若边界确认有误,则球的阵列就会出错(见图33)。这是必须保持加热板清洁的又一原因。,图33,Pkg Edge threshold 的设定原则: 在Teach 过程中, 灯光设定完成后。通过快捷键“Ctrl+Alt+Shift+T”, 显示出“Threshold value”设定滑标(见图34), 通过调整滑标,使package 边界清晰可见(见图35)。记下该值,进入到Setup DB sheet 里修改Pkg Edge threshold为该值即可。可根据最终Teach 的结果适当调整。,在Teach 过程中的low limit and high limit 的设置显示窗口。
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