TFTLCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介学习教案课件.pptx

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1、会计学,1,TFTLCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介,会计学1TFTLCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介,Contents,2,第1页/共25页,Contents减薄的作用1减薄工艺简介2常见的减薄不良32,减薄的作用,1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性,3,第2页/共25页,减薄的作用1.减少占有的空间3第2页/共25页,减薄工艺简介,4,第3页/共25页,减薄工艺简介用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。,封胶,一般在这之前还会进行检查。,涂胶后静置1min。,清除多的UV胶。,UV固化后检查,5,第4页/共25页,封胶 封胶工艺防止强酸破坏Cell封框胶以及进入

2、Cell内部,封胶,UV固化,UV灯,涂胶后检查,涂胶,加盖遮光垫,6,第5页/共25页,封胶UV固化UV灯GLS边框胶涂胶后检查涂胶加盖遮光垫6第5,原理及方式,单片直立喷洒,瀑布流,多片直立浸泡,原理,1,2,3,4,减薄原理及方式,6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O,液体+固体（玻璃）-液体,7,第6页/共25页,原理及方式单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡原理1234减薄原理,单片直立喷洒,瀑布流,优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。,优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光,三种方式优缺点,8,第7页/共25页,单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡优点：

3、优点：优点： 三种方式优,Text in here,蚀刻,清洗,减薄,减薄流程,9,第8页/共25页,Text 蚀刻清洗减薄清洗减薄流程Slimming9第8页/,10,减薄设备,其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置,第9页/共25页,10减薄设备其余组件：Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗,11,减薄工艺参数,1.反应时间与玻璃质量损失的关系,图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系,第10页/共25页,11减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时,12,减薄工艺参数,2.反应速率与反应温度的关系,图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系,第11

4、页/共25页,12减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF,13,减薄工艺参数,3.反应速率与HF酸浓度的关系,图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系,说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。,第12页/共25页,13减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在H,14,减薄清洗单元（后）,第13页/共25页,14减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸泡酸浸泡DI浸泡a. 5-,清洗,外观检查,Polishing,外观检查,Reject,研磨,15,第14页/共25页,清洗

5、外观检查Polishing外观检查RejectItem自,16,减薄工艺自身不良,第15页/共25页,16减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀第15页/共,17,减薄工艺自身不良,玻璃本身含有杂质.,1. 除胶未干净，有残留2. PT等未清洗干净,1. 设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）,玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致,工艺设备,玻璃表面,玻璃本身,第16页/共25页,17减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1. 除胶未干净，,18,Slimming后划伤,第17页/共25页,18Slimming后划伤Slimming前发生轻微

6、Scra,19,Slimming后划伤,Lift Pin 凹点,第18页/共25页,19Slimming后划伤Lift Pin 凹点第18页/共,20,Slimming后划伤,2.Robot吸盘凹点,第19页/共25页,20Slimming后划伤2.Robot吸盘凹点第19页/共,21,Slimming后划伤,3.轮印,第20页/共25页,21Slimming后划伤3.轮印第20页/共25页,22,造成B-ITO不良,现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性,1.水渍酸印,第21页/共25页,22造成B-ITO不良现象：1.水渍酸印第21页/共25页,23,其它不良,1.电阻超标,原因： 酸残留,第22页/共25页,23其它不良1.电阻超标原因： 酸残留第22页/共25页,与减薄有关的性耐性,24,第23页/共25页,与减薄有关的性耐性冷热冲击（TS）冲击和跌落高温高湿老化玻璃,End,25,谢谢！,第24页/共25页,End25谢谢！第24页/共25页,