TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介解析课件.ppt

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2、胶后检查涂胶加盖遮光垫6,原理及方式,单片直立喷洒,瀑布流,多片直立浸泡,原理,1,2,3,4,减薄原理及方式,6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O,液体+固体（玻璃）-液体,7,原理及方式单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡原理1234减薄原理,单片直立喷洒,瀑布流,优点：1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点：1.蚀刻表面易产生凹点。,优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光,三种方式优缺点,8,单片直立喷洒瀑布流多片直立浸泡优点：优点：优点： 三种方式优,Text in here,蚀刻,清洗,减薄,减薄流程,9,Text 蚀刻清洗减薄清洗减薄流程Slimming9,10,减薄设备,其余组件

3、： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置,10减薄设备其余组件：Loader单元预清洗单元蚀刻单元清洗,11,减薄工艺参数,1.反应时间与玻璃质量损失的关系,图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系,11减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时,12,减薄工艺参数,2.反应速率与反应温度的关系,图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系,12减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF,13,减薄工艺参数,3.反应速率与HF酸浓度的关系,图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系,说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存

4、在的HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。,13减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在H,14,减薄清洗单元（后）,14减薄清洗单元（后）DI浸泡碱浸泡酸浸泡DI浸泡a. 5-,清洗,外观检查,Polishing,外观检查,Reject,研磨,15,清洗外观检查Polishing外观检查RejectItem自,16,减薄工艺自身不良,16减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀,17,减薄工艺自身不良,玻璃本身含有杂质.,1. 除胶未干净，有残留2. PT等未清洗干净,1. 设备故障（Conveyer）2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）3.Nozzle

5、堵塞（喷淋式蚀刻方式）,玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致,工艺设备,玻璃表面,玻璃本身,17减薄工艺自身不良玻璃本身含有杂质.1. 除胶未干净，,18,Slimming后划伤,18Slimming后划伤Slimming前发生轻微Scra,19,Slimming后划伤,Lift Pin 凹点,19Slimming后划伤Lift Pin 凹点,20,Slimming后划伤,2.Robot吸盘凹点,20Slimming后划伤2.Robot吸盘凹点,21,Slimming后划伤,3.轮印,21Slimming后划伤3.轮印,22,造成B-ITO不良,现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性,1.水渍酸印,22造成B-ITO不良现象：1.水渍酸印,23,其它不良,1.电阻超标,原因： 酸残留,23其它不良1.电阻超标原因： 酸残留,与减薄有关的性耐性,24,与减薄有关的性耐性冲击和跌落高温高湿老化玻璃基板表面蚀刻状况,End,25,谢谢！,End25谢谢！,