复合式传感器测量系统技术规格及要求.docx
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1、复合式传感器测量系统技术规格及要求一、货物需求:1.1、 设备名称:复合式传感器测量系统1.2、 设备数量:一套1.3、 设备用途:用于具备小、薄、软特征的关键零件的高精度几何尺寸和形位公差的测量,具有测量微小孔径的能力,配置接触式测量系统,此测量系统具备可拓展模块,量测功能后期可升级开发。二、交货期:合同生效后4周内发货。三、设备技术要求:3.1、 性能指标*3.1.1测量行程:X:300mmY:300mmZ:200mmo*3.1.2测量精度(1.单位为mm):光学单轴Ex、Ey1.6+1.250m光学平面Exy1.8+1.250Um光学聚焦E1Z3.0+1.200m接触空间精度MPEe3.
2、5+1.150m*3.1.3采用精密固定桥式结构,花岗岩基座,Y向活动平台设计,采用高精度线性导轨,各轴驱动方式均为中央驱动,运动速度234Omn1./s。3.1.4钢化光学玻璃平台,并且采用双承载设计,光学平台承重20KG以上。3. 1.5采用高精度海德汉或雷尼绍光栅尺,光栅系统分辨率WO.4umo3.2、 测量系统配置要求*3.2.1设备必须预留多种传感器安装接口,后期至少可拓展白光与激光。且各种测量模块均可在同一个软件下运行,并且在同一坐标系下实现测量。*3.2.2光学CCD影像采用多种光源照明:绿色透射光;同轴光;白色环形光(六环八区分段编程控制)3.2.3采用电动无级变焦镜头,并且可
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