激光刻膜机介绍.ppt

我司非晶硅薄膜产品线共含四台设备；其中激光划线机3台（1台1064nm红光；2台532nm绿光【两台一样】）；激光增透机1台；激光清边机1台。,非晶硅薄膜产品线介绍,华工非晶硅产品线介绍,激光划线机（P1为1064nm刻TCO膜、P2为532nm刻非晶硅膜、P3为532nm刻Al铝层）激光增透机（P4为532nm）激光清边机（P5为1064nm）,激光划线机设备机型介绍,激光划线机图片仅供参考,激光划线机介绍（P1、P2、P3）,激光划线运用,P1,P2,P3,激光划线机组成,系统组成红外激光器系统、（绿激光器系统）、声光调制系统及光学系统、分光机构、聚焦系统、控制及软件系统、除尘系统.视觉定位系统.二维高精度工作系统及定位系统和气动夹紧系统所组成。可根据客户需求配备玻璃翻转机构。（实现自动化生产）,系统的工作原理,划线机激光器,激光器1：(P1)激光波长：1064 nm工作频率范围：1100KHz平均功率：20W50kHz激光脉冲能量不稳定性：90%晶体：YVO4光束质量：M2 1.1出口光斑：0.9mm远场发散角：1.8 mrad泵浦方式：光纤耦合端面泵浦,划线机激光器,激光器2(P2、P3)：激光波长：532nm工作频率范围：1100KHz平均功率：5W30kHz激光脉冲能量不稳定性：90%光束质量：M2 1.1出口光斑：0.9mm远场发散角：1.8 mrad偏振方向：垂直晶体:YVO4泵浦方式：光纤耦合端面泵浦,划线所达到的指标,刻线光滑清晰，刻划线膜层两侧不能粘 连短路（检测方式为万用表档）线宽：0.04mm-0.08mm可调 三条线总宽0.4mm以内,光学系统（采用全封闭光路系统）,1）分光系统：四路同时输出，光束间功率最大差别小于5，且四条光束的间距可调，调节范围：5mm18mm；2）全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统 3）配置2-8 倍扩束系统，保证光束高质量,左图所示为四光路分光聚焦系统。二维平移台可使各自单光路系统在一定范围内移动，以调节单光路的水平位置；45度折返组件能将单束激光分成能量相当的四路激光。聚焦镜调节组件能方便用户调节激光在垂方向上的焦点位置。采用单光路高精度组合聚焦透镜 通过调节聚焦筒调节聚焦焦距，使之达到划线效果最好。聚焦筒上标有刻度，方便调整。焦距 f=100mm浮动Z轴光点焦平面可精细调节,聚焦系统,控制及软件系统,计算机控制系统是整个激光划线机控制和指挥的中心，同时也是软件安装的载体。通过控制声光调制系统、四光路分光系统、运动工作台（伺服系统）的协调工作完成对工件的刻线处理。软件系统是采用本公司自己研发的软件（华工激光专利），本软件操作简单，功能强大，易于掌握，刻划参数可由软件设定并保存。并实时显示运动轨迹。,软件功能介绍,划线软件（华工激光专利、是激光划线机重要技术支撑点）1）本软件界面友好，操作简单，易于掌握。刻划参数可由软件设定并保存。并实时显示运动轨迹,二维高精度运动系统,采用工作台作二维运动方式。二维运动系统采用大理石底座使运动的动刚度更好，有利于设备在高速运动平稳，选用进口直线电机和高精度导轨；重复定位精度：X轴和Y轴 3m定位精度：X轴 2m Y轴 2m 平行度：2m 平面度：0.02刻线直线度：15m/1400m CCD定位精度：1um 工作行程：1100*1400mm直线电机：X轴（龙门上激光头运动）最大推力:1200 N持续推力:586 NY轴（设备底座上工作台运动）最大推力:1200 N持续推力:586 N,玻璃基板固定夹具,激光划线机技术参数,1）红外激光波长:1064nm 2）绿激光波长:532nm 3）直线电机驱动划线速度：400mm-1500mm/s 4）工作幅面规格：1245mm635mm、1300mm1100mm 1400mm1100mm(工作台可根据客户工件其他规格设计制造)5）光栅定位 6）气动及弹簧夹紧装置,激光在P1层的划线效果,激光在P2层的划线效果,激光在P3层的划线效果,谢 谢！,