高纯电子稀有气体项目 制氮装置.docx

高纯电子稀有气体项目制氮装置使用说明书ZtongtiCryogenic中泰深冷报告单位：杭州中泰深冷技术股份有限公司2023年6月目录前言2第一章装置概述1第二章装置的组成13第三章干燥吹扫213.1 注意事项213.2 吹扫验收合格的标准223.3 冷箱吹扫流路22第四章裸冷244.1 裸冷试车的目的244.2 裸冷试车依据及范围244.3 裸冷应具备的条件及准备工作244.4 裸冷前的检查确认内容254.5 裸冷试车的程序254.6 裸冷试车274.7 裸冷验收合格标准294.8 裸冷的安全注意事项及安全措施29第五章空气分离设备的启动及操作说明概述315.1 启动前的准备工作315.2 阀门及控制器的位置325.3 启动冷却水系统335.4 启动自洁式空气过滤器335.5 启动原料空气压缩机335.6 原料空压机启动前应具备以下条件335.7 启动空气预冷机组345.8 纯化系统的启动345.9 分储塔系统的启动345.10 冷箱加温42第六章操作及维护446.1 正常操作446.2 维护456.3 故障及排除506.4 安全规程53安全指导1：低温液化气处理64安全指导2：缺氧68安全指导3：氧气富集71安全指导4：低温灼伤和冻伤74安全指导5：在密闭的车辆内运输气罐76第八章特殊操作788.1 纯化器吸附剂的装填788.2 装填绝热材料78附录A铝制板翅式换热器使用说明书80中泰深冷前言本操作手册基于杭州中泰深冷技术股份有限公司长期的理论和实践经验编制而成。本手册系统阐述了杭州中泰深冷技术股份有限公司空分装置的正确操作、威胁装置正常运行的因素以及预防措施等。本操作手册根据现有的资料和经验认真编写，基于以下假设：空分装置专门由受过良好培训、并具有责任心的合格人员进行操作。本操作手册不可能面面俱到。培训期间或培训结束以后，在涉及装置的操作和安全防范等方面有任何疑问，杭州中泰深冷技术股份有限公司都将及时响应并协助解决。也可以通过商业交往的形式获得杭州中泰深冷技术股份有限公司其他技术上的帮助和建议。杭州中泰深冷技术股份有限公司建议：用户应按照本手册对操作人员进行培训，确信操作人员己经完全理解手册的内容及安全预防措施，并在以后的操作中严格遵守。本操作手册以及由杭州中泰深冷技术股份有限公司专家进行的培训并不能免除用户在装置运行和安全方面所负有的责任。用户必须遵守相关的法定条例、规程、指导方针以及专业协会的规范（如环保、事故防范保护、劳动者安全设施等等）。杭州中泰深冷技术股份有限公司将根据装置启动和正常运行期间所测得的经验值以及技术上新的发展，对操作手册进行必要的增补。警告：装置必须在合同规定的公用工程条件下进行操作。如果装置的运行条件超出所规定的范围，如原料气（空气）的改变、大气中危险杂质的剧增、大气温度或压力的剧烈变化等等，这些都将严重地影响装置的安全性和可靠性，对设备、人身及相邻的财产造成破坏。擅自修改或改造装置也将面临同样的危险。任何涉及操作条件的变化，以及对装置进行的修改或改造，都需要获得杭州中泰深冷技术股份有限公司的书面确认，以便杭州中泰深冷技术股份有限公司在装置的安全性、可靠性、连续性等方面进行评估。如果需要，更新操作手册。中泰深冷第一章装置概述1.1 前言本使用说明书各部分的叙述，是基于终版工艺流程图而编制的。本制氮装置用于配套高纯电子稀有气体项目氟氤精制装置(由氢能公司负责)，负责氮敷预浓缩、制取超高纯液氧、为氧值精制装置提供氮气和液氮，同时回收蒸发液氧。主要包含制氮系统、氮伍预浓缩系统、超高纯氧精馈系统、蒸发液氧回收系统。本套装置采用常温分子筛吸附净化、氮气循环带增压透平膨胀机的全精馀制氮装置。以确保制氮装置生产过程长期稳定可靠运行。以节能，操作维修方便为设计原则。整套机组包括：空气过滤压缩系统、空气预冷系统、分子筛纯化系统、透平膨胀机系统、分储塔系统、仪电控系统等。本装置在性能和设计方面具有如下特征：A分子筛纯化系统和冷箱成撬设计，降低项目现场装置的安装难度，减少项目现场的安装工作量。A分子筛吸附器采用立式双床层结构，底部为活性氧化铝，上部为分子筛，以吸附空气中H2O、CO2、C2H2、N2O等杂质。1.2 装置性能参数1.2.1 原料液氧、氧气参数(1)原料液氧：来自2000m3低温液氧贮槽。原料液氧纯度：99.6%O2,0.28%Ar,Kr84.25ppm,Xe28.43ppm,CH4200ppmo(2)来自氟氤精制装置的氧气(可能含有10%的氮，CH4lppm):压力0.34MPa.G温度Oc1.2.2 产品产量、纯度及压力制氮装置各运行工况的产品产量、纯度及压力详见产品指标及水、电消耗统计表。基本原理1.3.1 空气组分空气是一种混合物，除水汽外，其余的组份波动不明显。干燥空气的主要成分如下：介质化学符号体积比-%质量百分比-%氮气N278.175.5氧气O220.9523.1氮气Ar0.931.29氮Kr0.0001140.00032Xe0.00000870.00004空气中99.05%是氧气和氮气，0.93%是氧气，它们基本不变。氢、二氧化碳和碳氢化合物视地区和环境在一定范围内变化。空气中水蒸汽含量则差异很大，取决于空气的温度、气象条件和当地的地理环境。1.3.2 空气各组分化学性质低温状态下相关气体的物理特性见以下表格:介质化学符号分子量熔点温度压力熔解热KTorrkcal/kg氮He4.003一一0.8351)包Ne20.18324.6-248.63253.98Ar39.94483.8-189.4516.37.03筑Kr83.80116.0-157.25484.67SvX131.3161.4-111.8612.24.18氢H2"2.01614.0-259.25413.9氮N228.01663.2-210.094.06.1O232.00054.3-218.91.23.31氯Cl270.914172.5-100.7-"21.660.3-212.9液体空气28.9657.0-216.2固体一氧化碳CO28.01168.1-205.1115387.18一氧化氮NO30.008109.9-163.317.018.3氯化氢HCl36.465158.9-114.3103.6013.07水（蒸汽）H2O18.016273.20.04.5879.76硫化氢H2S34.082187.7-85.5173.816.69二氧化硫SO264.066197.7-75.512.5627.5二氧化碳CO244.011216.6-56.65.28atm43.2氨NH317.032195.5-77.745.679.4氧化亚氮N2O44.016182.4-90.8659.1735.33甲烷CH416.04390.7-182.58813.97乙烷C2H630.07089.9-183.30.0122.70乙烯C2H428.054103.7-169.50.8824.9乙焕C2H226.038191.7-81.51.29atm23.06丙烷C3H844.09785.4-187.87xIO-619.1丙烯C3H642.08187.8-185.42.7xIO516.7n-丁烷C4Hi058.124134.9-138.3-19.2i丁烷C4Hio58.124113.6-159.6一-18.7丁烯C4H856.10887.8-185.4一19.39b-丁烯C4H8146.2-127.0一一g-丁烯C4H8132.9-140325.33n-戊烷C5H272.151143.5-129.7一27.7己焕C6H678.114278.75.536.130.41）2.5K;2）标准氧75%正氢，25%逆氧。介质液相沸点(760Torr)比重最大比重点温度100ONm3GAS折合液体量比热温度汽化潜热kg/Lm3kcal(Nm3oC)Kkcal/Nm3氮0.125沸点1.4320.1914.2-268.90.875颊1.204If0.7480.40127.1-246.118.515M1.4003«11.2730.44987.3-185.969.51氧2.155-1461.7350.478120.0-153.2103.06赦3.52-1021.6640.475165.2-108.0134.74氢0.0708沸点.1.2700.200620.4-252.89.6氮0.812-1961.5390.61677.4-195.859.6氧1.14-182.51.2520.57790.2-183.072.8氯1.557沸点.2.032一239.2-34.0217.6空气0.860Il1.50278.7-194.5液相63.4281.7-191.5一氧化碳0.791Il1.5800.66581.7-191.564.25一氧化氮1.269Il1.055一121.2-152.0146.78氯化氢1.188Il1.369一188.1-85.0172.4水1.000+40.80380.806373.2+100.0434.2硫化氢0.914沸点.1.6640.726212.8-60.4198.84二氧化硫1.46Il1.9580.923263.2-10.0265.9二氧化碳1.178-56.61.6670.850194.7-78.5163.03)氨0.678沸点.1.1210.812239.8-33.4248.97氧化亚氮1.225It1.603-184.5-88.7176.5甲烷0.42«11.7040.588111.7-161.586.2乙烷0.547Vl2.4530.774184.6-88.6155.48乙烯0.5699Il2.1969.837169.3-103.9144.06乙焕0.5185-23.52.241189.6-83.6230丙烷0.582-403.3801.05Sp.230.9-42.3200.0丙烯0.6095-473.0800.943(-83)225.5-47.7205丁烷0.6009沸点4.3161.417272.7-0.5238.7i丁烷0.5944Il4.363一261.5-11.7226.6a丁烯0.6250Il4.005一267.1-6.1240.5b-丁烯0.6298Il3.975一274.2+1.0240.5g-丁烯0.600+15.564.172266.3-6.9232.0n-戊烷0.6263+205.1401.75309.3+36.1己焕0.8790+203.9651.63153.3+80.1328.53）三相点:介质临界点气相温度压力比重比重比热(15)导热系数(0)Kkgcm2kg/LKkcal/Nm3氮5.2-268.02.3350.06930.17850.22320.12344.5-228.728.130.4840.89990.22340.0398M150.7-122.549.60.5311.78390.22340.0140氟209.5-63.756.00.9093.740.22670.00763289.8+16.660.11.1555.890.22670.00446氢33.2-239.913.40.0300.089870.30700.150氮126.1-147.134.60.3111.25050.3100.0206氯154.3-118.951340.431.428950.31340.0210氯417.2+144.078.60.5733.220.3600.00684空气132.5-140.738.450.35最大1.29280.31120.02080.31最小一氧化碳133.0-140.235.660.3011.25000.3120.0193一氧化氮179.2-94.067.20.521.34020.3190.0200氯化氢324.6+51.485.70.611.63910.309一水647.4+374.2225.70.3290.7680.3600.0208(100下)硫化氢373.6+100.491.937一1.53920.3700.0110二氧化硫430.4+157.280.220.5242.92630.4320.00702二氧化碳304.2+31.075.30.4681.97680.3920.0123氨405.6+132.4115.20.2350.77140.3940.0185氧化亚氮309.7+36.574.10.451.9780.3940.0130甲烷190.7-82.547.120.1620.7170.3770.0260乙烷305.3+32.149.80.2131.3560.5450.0157乙烯282.8+9.652.60.2161.26050.4520.0145乙焕309.2+36.064.00.2311.17090.4630.0158丙烷370.0+96.843.40.2262.00370.8610.0130丙烯365.3+92.146.60.2401.9150.697-n-丁烷425.2+152.038.70.2252.7030.880.0116i-丁烷406.9+133.737.70.2212.668一0.0120a-丁烯417.2+144.037.5一一b-丁烯428.2+155.036.5一g-丁烯417.2+144.040.000.234n-戊烷470.4+197.234.10.23233.4570.0112己块561.4+288.549.50.3051.0030.00754水蒸汽和二氧化碳的物性与空气大不相同。在大气压力下，水蒸汽到时变成冰，二氧化碳在-79时变成干冰。因此，如果将水蒸汽或二氧化碳带进冷箱，就会阻塞板式换热器通道和分馄塔里面的填料，必须清除干净。空气中的危险杂质是碳氢化合物。特别是乙快，如果在液空和液氧中浓缩到一定程度，就有发生爆炸的可能。因此，必须清除空气中的碳氢化合物等危险杂质，乙快在主冷液氧中的含量规定不得超过O.lppm。稀有气体是惰性气体，除了筑、氨气外，对空分流程一般不会产生影响。由于筑、氮气的冷凝温度很低，总以气态形式集聚在冷凝蒸发器中，侵占了换热面积，从而影响换热效果，因此也要经常排放。1.3.3 精微分离过程可获得相当产量的高纯度产品。空气的精储是通过气、液两相中氧一氮组分的相互交换实现的。气体自下而上，液体则自上而下，该过程由所谓的精储塔板（例如填料）来完成。由于氧、氮组份沸点的不同，氮比氧易蒸发，氧比氮易冷凝。在精偏过程中，上升气流中氮的浓度不断增加，回流液中氧的浓度也不断增加。因此只要有足够多的塔板，即可在塔顶部获得高纯的氮气，塔底部获得高纯度液氧。O2%上升气体和下流液体在塔板上的热质交换过程可通过上图来中理解：进入某一块塔板上的上升气体在A点的温度T2比在相同成份下的液体的B点的温度Tl高，随后的平衡将发生在Tl与T2间垂直线上的C点（温度T3）o但在T3温度下，只有具有比B点氧浓度更高的液体E点和比A点氧浓度更低的气体D点才能平衡。这样氧组份在下流液体中聚集，而氮组份在上升气体中富集，通过足够多塔板的分离，最后可得液体为纯氧，气体为纯氮。饱和氧一混合物平衡图O10?03040SO60708090100。2%CliquidA1.3.4 氮保预浓缩的基本原理和过程主要组分的物理特性见1.3.2。由表1.3.2可知，氯、债是空气中沸点高、难挥发的组分，所以总是集中在主冷凝蒸发器的液氧和气氧中。从空分装置中提取氮、流，需要从产品氧中提取氟值原料液（即贫氟）。1.3.4.1 基本原理1 .氯、债在空气中的含量极微（氮约1.14ppm,氤约0.087PPm）,要从空分装置中提取这些极微量的气体组分，要经过多次的浓缩、提纯，最后产品产量还是很少量。2 .氟、伍由于其高沸点的原因总是和氧在一起，所以提取贫麴症的过程，就是一个将氧和氯、值混合物分离的过程。3 .随着氨、次的浓缩，气体混合物中的碳氢化合物也必然跟着一起浓缩（因其沸点与氟、氤接近），这样在伴随大量氧存在的情况下，碳氢化合物的浓缩将有爆炸的危险。所以在提取贫氟氤的工艺过程中很重要的一个方面，就是在氯、氤浓缩的同时，控制碳氢化合物的含量在安全范围内。1.3.4.2 主要工作过程液氧进入氟氤预浓缩塔，用精储法提取贫氮液。1.4工艺流程简介本套装置的成套工艺流程详见工艺流程图ZTAXO82-02-02。1.4.1. 空气过滤及压缩系统空气首先被吸入自洁式空气过滤器（AFlOOl）,在其中除去灰尘及其它机械杂质，然后进入原料空气压缩机（AClOOl）,经过压缩后去空气预冷系统，空气在压缩机级间压缩产生的热量被中间冷却器中的冷却水带走。空气进入压缩机前的压力为0.098MPa（八）,温度为大气温度，出原料空压机的空气温度W40C,压力为0.575MPa.A。1.4.2. 预冷系统压缩后的气体进入空气预冷系统中的空气预冷机（RUllo1）,在其中被冷却。空气出空气预冷机的压力为0.56MPa.A,温度为11.5Co1.4.3.纯化系统出空气预冷系统的工艺空气进入用来吸附水分、二氧化碳、部分碳氢化合物的空气纯化系统，纯化系统中的吸附器（MSI201/MSI202）由两台立式容器组成；两台吸附容器采用外绝热双层床结构，底部为活性氧化铝，上部为分子筛,当一台运行时，另一台则由来自冷箱中的污氮通过电加热器（EHI201）加热后进行再生。空气出纯化系统的温度为21,压力为0.55MPa.A。再生气进纯化系统的压力为12kPa.G,温度为32.5C。1.4.4. 循环氮气压缩机系统从冷箱送出的中压氮气，抽取一部分作为产品中压氮气送入用户管网，进入循环氮气压缩机（NC3101）。经循环氮气压缩机压缩后，从循环氮气压缩机（NC3101）末级抽出后送入增压透平膨胀机增压端。氮气进入压缩机前的压力0.495MPa.A,循环氮气压缩机末级氮气的温度W40°C,压力为1.5MPa.A（止回阀后）。1.4.5. 分储塔系统氮的制取出纯化器的纯化空气除一部分作为仪表空气外，其余全部进入主换热器，被返流的气体冷却，接近露点的空气进入下塔（CI）的底部，进行精偏。下塔（Cl）精储后顶部得到满足纯度的氮气，抽取一部分氮气经主换热器复热后送出冷箱，其余氮气进入主冷凝蒸发器氮侧冷凝后成为液氮，作为下塔回流液。在气氮冷凝的同时，主冷凝蒸发器中的液氧得到气化。下塔底部的富氧液空经过节流后进入氧回收冷凝蒸发器（K2）。闪蒸氧气的回收液氧总闪蒸量为估算量，包括各工况下，两台2OOOm3贮槽、外购液体卸车闪蒸量、制氮系统液氧节流进贮槽的闪蒸量。来自液氧平底贮槽的闪蒸氧气进入氧回收冷凝蒸发器（K2）被冷凝为液氧,在氧气被冷凝的同时，氧回收冷凝蒸发器（K2）中的富氧液空得到气化。被冷凝的液氧送入副产品液氧贮槽。从氧回收冷凝蒸发器（K2）顶部蒸发的富氧空气和底部的富氧液空进入上塔（C2）参与精储。来自氟制精制装置常温氧气的液化分离来自氟制精制装置的常温氧气送至主换热器（E1）,被反流的气体冷却至一定温度后送入上塔（C2）参与精锵，上升气体与下流液体充分接触，传热传质后，最终在主冷凝蒸发器（Kl）底部得到满足纯度要求的液氧，抽取一股液氧送入脱甲烷塔（C3）。从塔顶抽取污氮气经主换热器（EI）复热至常温后送出冷箱，污氮气除部分作为分子筛再生气进入纯化系统和液氧吸附器外，其余放空。超纯氧的提纯从主冷凝蒸发器（KI）底部引出一股液氧送入脱甲烷塔（C3）进行精憎，经过脱甲烷塔（C3）的精馈，脱去比氧气沸点高的组分，脱甲烷塔（C3）塔釜的液氧作为产品送入副产品液氧贮槽。从脱甲烷塔（C3）顶部引出一股氧气送入高纯氧塔（C4）参与精偏。高纯氧塔（C4）底部设置有蒸发器。来自膨胀机的氮气作为精微塔塔底蒸发器的热源，使塔底液氧蒸发而成为上升蒸汽，同时氮气被冷凝成为液氮，再送至高纯氧冷凝器作为冷源，将精微塔顶部上升的蒸汽冷凝成回流液，液氮则蒸发成氮气后返回主换热器复热，送出冷箱。上升气体与下流液体充分接触，传热传质后，最终在高纯氧塔底部得到满足纯度要求的超高纯氧，超高纯液氧出冷箱后送入贮槽。液氧预浓缩制取贫氟敬液首先用低温离心泵从贮槽抽取含有氮制的液氧，并将液氧增压送至冷箱内的液氧吸附器（MS（HA/B）,去除掉其中大部分的二氧化碳及氧化亚氮之后的液氧被送至氨限预浓缩塔。氨流预浓缩塔（C1301）采用填料塔，底部设置有蒸发器。来自膨胀机的氮气作为精微塔塔底蒸发器的热源使用，同时使贫氨氤液蒸发而成为上升蒸汽。氮气被冷凝成为液氮，再送至氮氤预浓缩冷凝器作为冷源，将精微塔顶部上升的蒸汽冷凝成回流液，液氮则蒸发成氮气后返回主换热器复热，送出冷箱。最终在氟氤预浓缩塔（C1301）底部得到浓缩的贫氮愈液，在精憎塔顶部得到脱去氯、氤的液氧，液氧出冷箱后送入副产品液氧贮槽。氟敬预浓缩塔（C1301）底部得到的贫氟猷液送入贫氟敷液真空贮槽。1.4.6. 膨胀机系统装置所需的冷量由增压透平膨胀机提供。从冷箱送出的中压氮气，抽取一部分作为产品氮气送入用户管网，其余经循环氮压机（NC3101）进一步压缩后进入透平膨胀机增压端（ET401AB）o经透平膨胀机增压端增压冷却后：大部分增压氮气送入主换（El）中抽出来后进入透平膨胀机膨胀端，膨胀后的低压氮气送入脱甲烷塔蒸发器、氨债预浓缩蒸发器高纯液氧蒸发器作为热源，吸收冷量冷凝为液氮后送入氨低预浓缩冷凝器和高纯氧冷凝器作为冷源；一部分增压氮气进入贫氮氤液汽化器（LVI301）,被返流的贫氯包液冷却后送入主换热器，被返流的气体液化后节流送入贫氮氤冷凝器和高纯氧冷凝器作为冷源；其余增压氮气直接进入主换热器，由主换热器冷端抽出后节流送入贫氯缶（冷凝器和高纯氧冷凝器作为冷源。冷凝器顶部蒸发的氮气和下塔抽取的氮气一起去主换热器复热后送入用户管网和循环氮压机入口。冷凝器液氮抽取一股作为液氮产品送入液氮贮槽，其余送入下塔顶部作为下塔回流液。JVMWIQOvaQWMk中泰深冷第二章装置的组成该制氮装置的基本部机组成如下：2.1自洁式空气过滤器制造厂型式、型号处理空气量处理能力1台苏州安派自洁式ZKG-4005000Nm3h100OONm3Zh过滤效率过滤阻力99.9%,>2m150-650a最大阻力适应工作制800pa连续，在线更换滤筒安装型式平整水泥地面，有基础安装目的：在空气进入原料空气压缩机前之前除去灰尘和机械杂质。2.2原料空气压缩机制造厂型式、型号介质流量1台钛灵特离心式、电动机驱动Va-5000N湿空气5000Nm3Zh（干基）进气压力进气温度相对湿度98kPa.A3080%排气压力0.575MPa,A（末冷+止回阀后）可调范围75-105%排气温度电源条件<4010kV50Hz关于空气压缩机的详细资料见由分供商提供的空气压缩机操作维护说明书。2.3循环氮压机制造厂1台钛灵特ZTMaraqtfTI中泰深冷使用说明书型式、型号离心式、电动机驱动MnH-20000N介质干燥氮气流量2OONm3Zh进气压力0.495MPa.A进气温度30相对湿度0%排气压力1.5MPa.A（末冷+止回阀后）可调范围75105%排气温度<37电源条件10kV50Hz关于循环氮压机的详细资料见由分供商提供的循环氮压机操作维护说明书。2.4空气预冷机1台制造厂苏州百年处理空气量5000Nm3/h（干基）空气入口压力0.575MPa.A空气进口温度40空气出口温度10空气压力损失<12kPa空气预冷机冷却方式水冷却制冷剂R407C关于空气预冷机的详细资料见分供商提供的空气预冷机操作维护说明书。2.5纯化器系统撬块1套制造厂杭州中泰成套外形尺寸5650×2850×-3200mm纯化器系统撬块主要组成：2.5.1纯化系统处理空气量5OOONm3h工作压力0.56MPa.A空气进口温度12ZTMiraq*1中泰深冷使用说明书空气出口温度分子筛再生气体2C富氧空气分子筛再生温度单筒吸附时间切换周期再生气量出分子筛空气Co2含量（1）吸附器制造厂1708小时16小时1400Nm3hIppm2台杭州中泰型式主体材料外形尺寸立式Q345R1500mm,H=6539mm目的：除去空气中的水份、二氧化碳以及部分的碳氢化合物。分子筛吸附器是立式柱形容器，采用双层床结构，底部为活性氧化铝，上部为分子筛。基本结构见设备供货图。分子筛吸附器用来吸附空气中的水份、二氧化碳以及部分的碳氢化合物。吸附剂对上述组份的吸附能力有一个上限，经过一定时间工作以后，必须进行再生。当一台运行时，另一台则由来自冷箱中的污氮通过电加热后，返流穿过吸附剂床层，从而实现吸附器的再生。（2）吸附剂1套型号数量分子筛（In型高效分子筛）2500kg台（3）氧化铝型号1套35数量（4）电加热器制造厂型式主体材料1200kg1台（带50%裕量）安徽华瑞卧式Q345B电加热管材料外形尺寸（5）污氮气放空消声器制造厂排放压力进口压力设计流量（污氮气）消音量主体材料内件材料2.6分储塔系统（冷箱）2.6.1 主换热器型式材质制造厂2.6.2 贫氟猷汽化器型式材质制造厂2.6.3 下塔型式材质制造厂2.6.4 主冷凝蒸发器主要组成：冷凝器本体板式单元制造厂S32168DN350, H=2830mm1台（PPU撬块外）启东常压0.004MPa.G900Nm½（氮气）+2150Nm3Zh45dB（八）Q235B3041套1台板翅式铝合金杭州中泰1台绕管式不锈钢杭州中泰1台规整填料塔铝合金杭州中泰1台1台1台杭州中泰ZrMira1中泰深冷使用说明书2.6.5上塔1台型式规整填料塔材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.6氧回收冷凝蒸发器主要组成：1台冷凝蒸发器器本体1台板式单元1台制造厂杭州中泰2.6.7脱甲烷塔1台型式规整填料塔材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.8脱甲烷塔蒸发器板式单元1台型式板翅式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.9高纯氧塔1台型式规整填料塔材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.10高纯氧蒸发器板式单元1台型式板翅式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.11高纯氧冷凝器板式单元1台型式板翅式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.12液氧缓冲罐1台型式立式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.13液氮气液分离器1台型式卧式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.14液氧吸附器2台型式立式材质不锈钢吸附剂硅胶制造厂杭州中泰2.6.15氟掠预浓缩塔1台型式规整填料塔材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.16氯敬预浓缩蒸发器板式单元1台型式板翅式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.17氮纲预浓缩冷凝器板式单元1台型式板翅式材质铝合金制造厂杭州中泰2.6.18分储塔支架1套包括保冷箱内设备支架、阀门支架、管道支架主要材料铝合金、不锈钢等高纯电子稀有气体项目制氮装置第18页中泰深冷使用说明书2.6.19 系统内手动阀门及附件2.6.20 分储塔调节阀及附件2.6.21 分储塔内系统管道及附件主要材料2.6.22 分储塔楼梯平台包括保护）主要材料2.6.23 珠光砂2.6.24 残液蒸发器材质制造厂2.7增压透平膨胀机组制造厂加工介质膨胀端：膨胀机流量进口温度1套1套1套铝合金、不锈钢1套平台、楼梯、栏杆（斜梯、平台Q235B、钢管20等足量5052杭州中泰2台（一用一备）简阳瑞特干燥氮气17620Nm3h121.3K进口压力出口压力1.6IMPa.A0.675MPa.A膨胀端效率增压端：增压机流量84%19800Nm3h进口温度313.15K进口压力出口压力膨胀端效率1.48MPa.A1.655MPa.A77%其余详见增压透平膨胀机操作维护说明书。2.8增压机后冷却器2台ZrMIrM*Itygttnt中泰深冷使用说明书制造厂型式湖北迪峰管壳式主体材料S31603（固溶）2.9液氧吸附器再生气电加热器制造厂型式主体材料电加热管材料外形尺寸壳体：Q345R；换热管：1台安徽华瑞卧式Q345BS32168DN200,H=1620mm中泰深冷第三章干燥吹扫空分装置正常启动阶段吹扫的性质完全不同于空分装置安装完毕吹扫的性质，加温吹扫的工作目的就是去除管内残存的水份、杂质和灰尘。吹扫用气采用出分子筛纯化系统的常温干燥空气。在吹扫过程中，应经常检查各吹除口气量大小并经常调节，以保证每一条管线均应吹刷，直到吹扫气中不含水份和灰尘为止。3.1注意事项吹扫工作可分区域、分片段，按压力高低逐步进行。可先设备、后管道，按照工艺流程走向，由里向外开展，具体应注意以下事项：1）吹扫时的空气压力，中压系统应保持在0.250.4MPa.G,低压系统应保持在0.040.05MPa.G,任何时候都不允许超压吹扫，当压力不足时，应待升压后逐只设备、逐条管线进行吹扫。2）完成预冷纯化的吹扫后再进行分子筛的装填及再生。3）后续系统吹扫前，分子筛纯化器应再生彻底。4）系统吹扫在调节气量分配时要缓慢进行，避免对分子筛床的冲击，同时注意空压机组的操作，避免造成喘振。5）各系统之间的连通管线、阀门，中、低压系统的连通管线、阀门，排液阀，吹扫前要认真检查，由专人负责关闭，避免通气时发生超压。6）为防止塔外管道中的杂质带入分储塔内，应首先对塔外空气、污氮管道、氧气管道及氮