多晶截断机改善建议.ppt

多晶截断机相关改善建议,硅片设备部审核：方迪山提案人：王文海,目前，公司多晶截断机存在诸多问题，严重影响了生产效率。要解决这些问题，则需要各部门相互配合。2011年12月8日，经硅片设备部、生产部、技术部、品质部就多晶截断机一系列问题进行探讨研究后，一致认为锯条切割力下降引起的一连串问题。而锯条切割力下降的原因，有主观因素也有客观因素。客观存在的问题是不能改变的，但我们可以根据客观问题来从主观上做改变，以适应客观问题。主观上，部分操作人员违背目前品质部、技术部制定的工艺参数标准。如进给速率的选择超出了其参数可选范围。客观上，主要是多晶锭内含有高硬度的杂质，而目前工艺参数是否科学合理的问题。如锯条使用是否有规范指导书；进给速率是否合理等。实际上，锯条的使用缺乏一个严格的管理制度（使用周期，使用记录跟踪）！,主观与客观的矛盾,现 状,经观察和调查发现 113号机切边皮料、头杂料（或回炉锭）1424号机切正常晶料（或回炉锭）80%左右的6005RZ轴承用于113#机 70%左右的带轮（磨损、晃动）维修发生在113#机 70%左右的主轴承（6310）损坏发生在113#机 95%以上的断锯条发生在113#机,报废的锯条（调查）：95%是有裂纹的30%是完全断裂的切正常晶棒进给速率：规定1825mm/min实际有出现2835mm/min锯条使用周期：（正常锭）实际切割150220刀，甚至更高（头杂边皮）实际是到切不动为止或是锯条断裂规定切割（正常锭）120130刀（头杂边皮）2030刀,锯条使用不规范,报废底线太低，存在巨大安全隐患,主观违背,主观违背,调查发现,通过技术部得知，多晶棒不同于单晶棒，多晶内部含有一定量的杂质，而有的杂质硬度很高，这对锯条的损害是不可避免的。客观上降低了锯条切割能力使其向后游走，从而加剧6005轴承、带轮的损坏等一系列问题。实际对比，切单晶几乎不用6005轴承 切多晶实际用量超过150个/月（月计划为50个）,轴承紧缺,6005轴承作用：当切割力不足锯条向后走时，可以挡锯条 防止其向后跑出带轮 防止切到导向器铁块上，造成卡锯条或崩断锯条 所以，6005轴承作用是相当大的！,锯条切割力不足引起的一系列问题,生产部：1.严格按要求使用锯条，并对锯条使用情况进 行跟踪记录相关数据。技术部、品质部：1.制定锯条使用规范 2.制定锯条使用跟踪情况表，并突击稽核设备部：根据以上情况及生产部提出的问题做相应的设备改善,共同降低设备故障提高生产效益,可行性建议,一、付带轮的改善 1.根据锯条切割力不足引起的锯条向后跑并且始终有一个向后的力F的情况，我设备部将对付带轮进行改善，加装四块挡板或加工成台阶（见图一图二），其作用相当于6005RZ轴承，可以挡锯条，防止锯条跳出引起故障。,设备改善方案,（图一）,2.生产部反应：带轮背面污泥无法清除，会卡锯轮。这是因为原装带轮是全实心面的（无开孔），机台又没有合理的空间用于清理作业。导致长期结垢卡死锯轮。改善方法：在实心面上开几个孔（见图二），以便于清除污垢。,改善前,改善后,改善前后对比,方案1,方案2,孔（80）,台阶,挡板,（图二）,3.带轮轴承（6310）更换频繁，除了切割力不足引起张力过高导致轴承疲劳损坏之外，还有就是端盖密封方式有缺陷。其密封是采用密封胶密封，每次打胶可能没打好导致进水或胶太多漏进去等情况，引起轴承磨损和走处圆。现我设备准备在端盖上开槽，采用O型密封圈密封，以提高其密封性能，降低故障率。,槽、O型圈,改善前,改善后,O型圈可重复使用，密封胶只有一次性，此项改善能够节省一定费用。,二.伸缩防护罩经常性损坏 主要原因是，切割过程中含硅粉的污水浸到防护罩上，生产人员未及时清理又在其上面堆放晶块造成防护罩受力不平衡，左右行走不一致造成的损坏。另，机台上有个小缺点：排水口在防护罩之上，大量污水直排到防护罩上。针对这一缺点，我设备部将对其进行必要的改善。1.生产人员要经常对防护罩进行清理 2.设备部将对排水道进行加长，防止水直接流到防护罩上。（目前已在试用，见下图）,希望各部分积极配合，相互监督，共同营造一个良好的生产环境，从而降低生产成本提高效益！为了公司更是为了我们自己！,谢谢！,