中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范.精讲.docx

中华人民共和国国家标准干净厂房设计规范（1）发布者：admin发布时间：2008-11-29阅读：53次第一章总则第条干净厂房设计必需贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、平安适用、确保质量，符合节约能源和环境爱惜的要求。第条本规范适用于新建和改建、扩建的干净厂房设计，但不适用于以细菌为限制对象的生物干净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层干净厂房和地下干净厂房的设计。第条在利用原有建筑进行干净技术改造时，干净厂房设计必需依据生产工艺要求，因地制宜、区分对待，充分利用已有的技术设施。笫条干净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和平安运行创建必要的条件。第条干净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。其次章空气干净度等级第条空气干净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。空气干净度等级表等级每立方米（每升）空气中0.5微米尘粒数每立方米（每升）空气中5微米尘粒数100级35×100(3.5)100O级35×1000(35)250(0.25)100Oo级35×10000(350)2500(2.5)IoOOOO级35×100000(3500)25000(25)注：对于空气干净度为100级的干净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时,方可认为该测试数值是牢靠的。第条干净室空气干净度等级的检验，应以动态条件卜测试的尘粒数为依据。干净室空气干净度的测试,应符合附录二规定。第三章总体设计第一节干净厂房位置选择和总平面布置第条干净厂房位置的选择，应依据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严峻空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严峻空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧：三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。第条对于兼有微振限制要求的干净厂房的位置选择，应实际测定四周现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。第条干净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，干净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.L4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。第条干净厂房四周宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第条干净厂房四周的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。第条干净厂房四周应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。但不得阻碍消防操作。其次节工艺布置和设计综合协调第条工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。干净室或干净区内只布置必要的工艺设备以及有空气干净度等级要求的工序和工作室。二、在满足生产工艺要求的前提下，空气干净度高的干净室或干净区宜靠近空气调整机房，空气干净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近干净区人口处宜布置空气干净度等级较低的工作室。三、干净室内要求空气干净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。四、应考虑大型设备安装和修理的运输路途，并预留设备安装口和检修口。五、应设置单独的物料人口，物料传递路途应最短，物料进入干净区之前必需进行清洁处理。第条干净厂房内宜少设隔间，但在下列状况下可予以分隔。一、按生产的火灾紧急性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能实行局部措施加以限制者。三、生产联系少，并经常不同时运用的两个生产车间之间。第条干净厂房的平面和空间设计，宜将干净区、人员净化、物料净化和其他帮助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和修理、气流组织型式、管线布置以及净化空气调整系统等各种技术设施的综合协调效果。第3.2.4条干净厂房设计必需合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。第3.2.5条干净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调整系统的要求。page第三节噪声限制第条干净室内的噪声级，应符合下列要求：一、动态测试时，干净室内的噪声级不应超过70分贝A。二、空态测试时，乱流干净室的噪声级不宜大于60分贝A：层流干净室的噪声级不应大于65分贝A°注：（1）由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；（2）上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。第条干净室的噪声频谱限制，应接受倍频程声太级；各频带声压级值不宜大于表3,3.2的规定。第条干净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声限制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。第条干净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过干净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声年等）。第条净化空气调整系统噪声超过允许值时，应实行隔声、消声、隔声振等限制措施。除事故排风外，应对干净室内的排风系统进行减噪设计。第条净化空气调整系统，依据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为610米/秒。二、无送、回风口的支风管为68米/秒。三、有送、回风口的大风管为36米/秒。第条干净厂房的噪声限制设计必需考虑生产环境的空气干净度要求，不得因限制噪声而影响干净室的净化条件。第四节振动限制第条干净厂房和四周帮助性站房内有猛烈振动的设备（包括水泵等）及其通往干净室的管道，应实行主动隔振措施。第条对干净厂房内外各类振源，应测定其对干净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可依据阅历对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其实行必要的隔振措施。第条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑削减发生量、保持干净室内合理的气流组织等要求。当接受空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到干净室的空气干净度等级。第四章建筑第一节一般规定第条干净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵敏性。洁净区的主体结构不宜接受内墙承重。第条干净室的高度以净高限制，净高应以100亳基本模数。第条干净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、限制温度变形和不匀整沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避开穿过干净区。第条送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等：穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。第条对兼有一般生产和干净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避开在人流与物流运输以及防火方面对干净生产带来不利影响。其次节人员净化和物料净化设施第条干净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据须要设置生活用室和其他用室。第4.2.2条人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、干净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，可依据须要设置。第条人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。二、存外衣室和干净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和干净工作服柜应按设计人数每人设一柜。三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。四、干净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吸淋室应设在干净区人员入口处，并应与干净工作服室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数银30人设一台。当仅为100级垂直层流干净室时，可改设气闸室。干净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。第条人流路途应避开往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，一般按图4.2.4的人员净化程序进行布置。第条依据不同的空气干净度等级和工作人员数量，干净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按干净区设计人数平均每人46平方米计算。第条干净工作服室内，对空气净化应有确定的要求。第条干净室的设备和物料出入口，应依据设备和物料的性质、形状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。第三节防火和疏散第条干净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，其耐火极限不宜小于0.25小时。第条干净厂房内一般的生产工作间的火灾紧急性，可按附录三进行分类。第条甲、乙类生产的干净厂房，宜接受单层厂房。其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3,000平方米，多层厂房应为2,OOO平方米。第条甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式干净室，其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。第条在一个防火区内的综合性厂房，其干净生产与一般生产区域之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线四周空隙应接受非燃烧材料紧密填塞。第条技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6小时：竖井内在各层或间隔一层楼板处，应接受相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线四周空隙，应接受非燃烧材料紧密填塞。第条干净厂房每一生产层、每一防火分区或每一干净区的平安出口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个平安出口：一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内的生产人员总数不用过5人；二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的建筑设计防火规范的规定者。平安出口应分散匀整布置，从生产地点至平安出口不用经过曲折的人员净化路途。第条干净区与非干净区和干净区与室外相通的平安疏散门应向疏散方向开启。平安疏散门不得接受吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。第条当干净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房干净区的门窗，其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750亳米，高度不应小于1800亳米，并应有明显标记。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。第四节室内装修第条干净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度等变更作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保温层时。应接受非燃烧体或难燃烧体。第条干净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、避开眩光、便于除尘等要求：应削减凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜接受于操作；如为抹灰时，应接受高级抹灰标准。第条干净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易枳聚鄢电、避开眩光、并有舒适感等要求。第条干净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应接受防水或防潮、防霉措施。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并应易于除尘。第条干净室和人员净化用室设置的外窗，应接受双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。第条干净室内的密闭门宜朝空气干净度较高的房间开启。无窗洁净室的密闭门上宜设视察窗。第条干净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，均应实行牢靠的密封措施。第条干净室内的色调宜淡雅松软。室内各表面材料的光反射系数，顶棚和墙面宜为0.6-0.8；地面宜为0.15-0.35。第五节装配式干净室第条在新建或改建的干净厂房设计中，对于面枳不大、层高较低、要求空气干净度较高的生产环境可接受装配式干净室。第条装配式干净室所在的房间应有空气净化要求，并应与装配式洁净室的空气干净度等级相适应。外围建筑的耐火等级不得低于二级。第条装配式干撑室顶棚可由装配式干净室本身内壁板或支柱支承，也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。第条装配式干净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配式干净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、包装和运输。第条装配式干撑室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清扫距离。当装配式干挣室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面之间净宽不宜小于600亳米。第五章空气净化第一节-般规定第条干净厂房内各干净室的空气干净度等级的确定，应符合下列要求：一、干净室内有多种工序时，应依据各工序的不同要求，接受不同的空气干净度等级。二、在满足人生产工艺要求的前提下，干净室的气流组级别，宜接受局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。第条层流干净室和乱流干净室以及运行班次和运用时间不同的干净室，其净化空气调整系统均宜分开设置。第条干净室内的计算温、温度、应符合下列规定：一、满足生产工艺要求二、生产工艺无温、湿度要求时，干净室温度为2026度，温度70度。第条干净室内应保证确定的簇新空气量，其数值频取下列风量中的最大值；一、乱流干净室总送风量的10%30%,层流干净室总送风量的24%。二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的簇新空气量。三、保证室内每人每小时的簇新空气量不小于40立方米。第5.1.5条干净区的清扫，宜接受移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。干净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。第条在净化空气调整系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。其次节干净室正压限制第条干净室必需维持确定的正压。不同等级的干净室以及干净区与非干净区之间的静压差，应不小于4.9Pa,干净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa.第条干净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：Q=ql•Z（q•L）（）式中：Q-维持干净室正压值所需的正压风量（米3/时）：a-依据围扩结构气密性确定的平安系数，可取1.11.2；q-当干净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（米3/时•米）；1.一围扩结构的缝隙长度（米）。第条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3接受。压差(Pa)门窗形式非密闭门密闭门单层固定密闭木窗单层固定密闭钢窗单层开启式密闭钢窗传递窗壁板漏风量(米3/时米)4.91741.00.73.52.00.39.82461.51.04.53.00.614.73082.01.36.04.00.819.63692.51.57.05.01.024.540102.81.78.05.51.229.444113.01.98.56.01.434.348123.52.19.07.01.539.252133.82.310.07.51.744.155154.02.510.58.01.949.060164.42.611.59.02.0第条送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时，联轴和序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。第条非连续运行的干净室，可依据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。page第三节气流组组织和送风量第气流组织的选择，应符合下列要求：一、干净工作区的气流速度，应满足空气干净度和人体健康的要求，并应使干净工作区气流流向单一。二、回风口宜匀整布置在干净室下部。三、余压阀宜设在干净室气流的下风侧，不宜设在干净工作区高度范围内。第条干净室的气流组织和送风量，宜按表5.3.2选用。第条乱流干净室的送风量，应取卜.列规定的最大值；一、为限制室内空气干净度所须要的送风量。二、按表5.3.2规定的送风量。三、依据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量。四、按空气平衡所须要的送风量。第条当生产工艺仅要求在干净室内局部工作区达到更高的空气干净度时，其气流组织设计应使干净气流首先流经该工作区，或在干净室的不同区域形成不同气流流型和空气干净度等级的干净工作区,其型式可分别按图5.3.4-1、5.3.4-2o第条层流干净室内不宜设置干净工作台；乱流干净室内可设置干净工作台，但其位置应远离回风口。第条干净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。第四节空气净化处理第条各等级空气干净度的空气净化处理，均应接受初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。注L100,OOO级空气净化处理，可接受亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。第条确定集中式或分散式净化空气调整系统时，应综合考虑生产工艺特点和干净室空气干净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、干净室面积较大时，位置集中以及噪声限制和振动限制要求严格的干净室，宜接受集中式净化空气调整系统。第条净化空气调整系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。第条净化空气调整系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应实行防止室外污染空气通过新风口参入干净室内的防倒灌措施。第条空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调整系统的正压段。三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调整系统末端。四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用。五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一干净室内。六、高效空气过滤器安装方式应简便牢靠，易于检漏和更换。第条送风机可按净化空气调整系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高效空气过滤器的阻力宜接其初阻力的两倍计算。第条净化空气调整系统如雷电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火平安措施。第五节采暖通风第条干净室的采暖型式，应按下列不同状况确定：一、IoO级、IoOO级、10,OoO级干净室，不应接受散热器采暖，100,OOO级干净室，不宜接受散热器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖。或接受间歇运行净化空气调整系统，值班风机系统进行热风采暖。第条散热器应接受表面光滑不易积尘、便于清扫的形式。第条干净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置、排风罩的操作口面积应尽量缩小。第条局部排风系统在下列状况下，应单独设置：一、非同一净化空气调整系统。二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸紧急性。三、所排出的有害物毒性相差很大。第条干净室的排风系统设计，应实行下列措施：一、防倒灌措施。二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。第条换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应实行通风措施，其室内的静压值，应低于干净区。第条干净室事故排风系统的换气次数，应接受每小时1520次。事故排风装置的限制开关，应分别设在干净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调整系统联锁，其室内宜设报警装置。第六节风管和附件第条风管断面尺寸的确定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。第条净化空气调整系统的新风管、回风总管，应设置密闭调整阀。送风机的吸入口处和须要调整风量处，应设置密闭调整阀。送风机的吸入口处和须要调整风量处，应设置调整阀。干净室内的排风系统，应设置调整阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必需设置防火阀。第条净化空气调整系统的风管和调整阀以及高效空气过谑器的爱惜网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应依据输送空气的干净要求及其所处的空气环境条件确定。干净室内排风系统的风管、调整阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应依据解除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。第条在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及须要调整风量的支管上，应设置风量测定孔。第条解除腐蚀性气体的风管，可接受塑料风管，其他风管以及风管的保温顺游泳场材料及其粘结剂，应接受非燃烧材料或难燃烧材料。#P#第六章给水排水第一节一般规定第条干净厂房内的给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或地下埋设。干净室内应少敷设管道。引入干净室的支管宜明敷，但对空气干净度等级要求高的干净室可暗敷。第6.1.2条干净厂房内的管道外表面，如可能结露，应实行防结露措施。第条管道穿过干净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应实行牢靠的密封措施。第条管道不宜穿过防火墙。如必需穿过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。其次节给水第条干净厂房内的给水系统设计，应依据生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，分别设置直流、循环或重复利用的给水系统。高纯水系统应设置循环管道。第条管材的选择，应符合下列要求：一、纯水管、高纯水管应接受硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；二、冷却循环给水和回水管宜接受镀锌钢管；三、生产用水设备与管道的连接直接受优质软管；四、管道的配件应接受相应的材料°第条干净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净扮装置应放在靠近用水点处。第条干净厂房的四周，应设置洒水设施。第三节排水第条干净厂房的排水系统设计，应依据生产排出的废水性质、浓度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。第条干净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置,并应有防止水封被破坏的设施。第条100级、IooO级干净室内，不宜设置地漏；如必需设置时，应接受有盖地漏，并不应设排水沟。10,000、100,OOO级干净室内允许穿过排水竖管，但在竖管上不得设置检查口。第条干净厂房内应接受不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管材、管架及其附件。第四节消防设施第条干净厂房应依据生产的火灾紧急性分类和建筑物耐火等级等因素确定消防设施。第条干净厂房室内消火栓给水系统的消防用水量不应小于10升/秒，每股水量不应少于5升/秒：第6.4.3条干净厂房的消火栓设置，应符合下列要求：一、消火栓的水枪充溢水柱，不应小于10米。二、消火栓的栓口直径应为65壳米，配备的水带长度不应超过25米，水枪喷嘴口径不应小于19亳米。第条干净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有宝贵设备仪器或生产的火灾紧急性较大的干净室，以及当火灾发生时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。第七章工业气体管道第一节一般规定第条工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道且明敷，如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应实行良好的通风措施。引入干净的支管宜明敷。第条高纯气体管道设计，应符合下列要求：一、依据计算确定管径。二、管道系统应尽量短。三、不宜设预留口。四、不应出现“行管”等不易吹除的部位。五、干管不支管上应设置吹除口。六、在管系统上应设置吹除口。第条穿过干净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应实行牢靠的密封措施。第条氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷爱惜区内。第7.1.5条气体净扮装置应依据气源和生产工艺对气体统支配的要求进行选择。气体终端净扮装置应设在靠近用气点处。第条气体过滤器应依据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤昨。其次节管道材料、阀门和附件第条依据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：、气体纯度大小或等于99.999%时，应接受不锈钢管。二、气体纯度大于或等于99.99%时，宜接受不锈钢管、铜管、无缝钢管。三、气体纯度小于99.99%时，可接受无缝钢管。四、管道与设备的连接段，宜接受金属管道；如为非金属软管时，宜接受聚四氨乙烯管、聚乙烯管、不得接受乳胶管。第条高纯气体管道应接受密封性能好的低门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氤乙烯材料。阀门的填塞料应接受聚四氨乙烯材料。第高纯气体管道与附件连接的密封垫，应接受不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。第三节管道连接和清洗第条管道连接应接受焊接。高纯气体管道应接受承插焊。第条管道与设备、阀门的连接处，宜接受法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件C螺纹处宜接受聚四瓶乙烯带密封。第条高纯性气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。第四节平安技术第条工业气体管道设计的平安技术，应符合下列规定；一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器。二、氢气和飙气管道应设置导除静电装置。三、各种气体管道应设明显标记。第条干净室内运用氢气时，宜在室内设置报警装置。第条各种气瓶应集中设置在干净厂房外，当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在干净室内。