《冷阴极电离真空规》PPT课件.ppt

冷阴极电离真空计,冷阴极电离真空计是以冷阴极取代热阴极作为电离真空计的离子源，利用低压力下气体分子的电离与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，俗称冷规。,冷规的组成,冷规由规管和测量线路两部分组成，这种真空计规管中的电子是在平行电磁场或正交电磁场作用下维持放电而进行工作的，因此被称为磁放电真空计。,冷规的分类,冷规主要有两大类型，即电场与磁场方向相互平行的普通型冷阴极电离真空计和电场与磁场方向相互垂直的磁控管式冷阴极电离真空计。而后者又分为倒置磁控管式和正置磁控管式两种类型。,冷阴极电离真空计优点,1.冷阴极消除了因为高温灯丝产生的化学清除作用，使真空计读数不受影响。2.不需要对热丝电子发射和控制，简化了仪器结构。3.被测容器发生漏气时冷规管不存在被烧毁的危险。4.冷规管可避免被真空系统内部的化学活性气体所毒化或破坏，因此使用时间比较长。,冷阴极电离真空计优点,5.冷规管灵敏度比普通型电离规管灵敏度高1个数量级。6.冷规管结构与控制线路均较简单，易于制作。7.冷规继承了电离计的一般特性，能够连续，远距离测量全压力，响应速度快。,冷阴极电离真空计缺点,冷阴极电离真空计的主要缺点是冷规管必须具备磁铁，因此使规管占用的体积大，而且因磁场不能承受高温烘烤去气，必须去下磁铁，从而给操作带来不便，而且由于此帖的存在，无法将其放入大容器的内部代替裸规快速测定各部分的压力，以求的空间的压力分布。,普通型冷阴极电离真空计,工作原理是利用低压下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量指示，有电流cb做为真空度指示仪表给出读数。冷电离真空计是靠冷发射所产生的少量电子在正交电磁场作用下，能够长时间在两块阴极极板间往返作螺旋线行运动，直至被测气体分子放生碰撞，使其电离，最后电子被阳极吸收，电离产生的正离子高速的打到阴极上，并且产生二次电子发射。气体分子电离产生的电子和阴极发射产生的二次电子也在阴极极板间做长期运动，从而使电离过程连锁进行.,测量范围,测量低压力时采用高电压，大尺寸的电离室；测量高压力时采用低电压，小尺寸的电离室。测量范围1-Pa,