無塵室定義南台科技大學知識分享平台EshareInfoCleanroomdefinitionofSouthernTaiwanUniversityofscienceandtechnolog.ppt
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無塵室定義南台科技大學知識分享平台EshareInfoCleanroomdefinitionofSouthernTaiwanUniversityofscienceandtechnolog.ppt
專題討論,何謂無塵室指導老師:蕭瑞陽班級:自控四甲姓名:吳昇翰49612068 許學文49612088,無塵室定義:,可維持空氣中懸浮粒子在特定限制數量以內的房間內,英制:1立方英呎空間內的空氣中含有大於等於0.5um的灰塵顆粒數目ISO:標準是大於等於0.5um的塵埃顆粒在1立方公尺內之數目來定義無塵室之等級,無塵室基本要求,無塵室種類,垂直室,水平式,亂流室,無塵室四項原則,汙染來源,污染物大於十分之一半導體元件之線寬，就會對產品產生影響,污染物的影響,濾網結構：濾網通常事由直徑極小但粗細不等之玻璃纖維（Glass Fiber）任意交錯疊製,濾網原理,濾網種類,出去無塵室,進入無塵室,
