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    MOS器件物理基础.ppt

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    MOS器件物理基础.ppt

    第二章MOS器件物理基础,MOSFET开关,N型MOSFET,导通时VG的值(阈值电压)?源漏之间的电阻?源漏电阻与各端电压的关系?,MOSFET的结构,衬底,Ldrawn:沟道总长度,Leff:沟道有效长度,Leff Ldrawn2 LD,MOSFET的结构,LD:横向扩散长度,(bulk、body),tox:氧化层厚度,源极:提供载流子,漏极:收集载流子,MOSFET:Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect TransistorCMOS:互补MOSn型MOSFET:载流子为电子p型MOSFET:载流子为空穴,阱:局部衬底,MOS管正常工作的基本条件,MOS管正常工作的基本条件是:所有衬源(B、S)、衬漏(B、D)pn结必须反偏,寄生二极管,同一衬底上的NMOS和PMOS器件,寄生二极管,*N-SUB必须接最高电位VDD!*P-SUB必须接最低电位VSS!,*阱中MOSFET衬底常接源极S,MOS管所有pn结必须反偏:,例:判断制造下列电路的衬底类型,n型衬底p阱,p型衬底n阱,MOS晶体管符号,NMOS晶体管工作原理,导电沟道形成,VGSVT、VDS=0,VGSVT、0VDS VGS-VT称为三极管区或线性区,沟道未夹断条件,VGSVT、VDSVGS-VT称为饱和区,NMOS器件的阈值电压VTH,(a)栅压控制的MOSFET(b)耗尽区的形成(c)反型的开始(d)反型层的形成,形成沟道时的VG称为阈值电压记为VT,MS:多晶硅栅与硅衬底功函数之差,Qdep耗尽区的电荷,是衬源电压VBS的函数,Cox:单位面积栅氧化层电容,2F:强反型时的表面电势,k:玻耳兹曼常数q:电子电荷Nsub:衬底掺杂浓度ni:本征自由载流子浓度 si:硅的介电常数,阈值电压调整:改变沟道区掺杂浓度。,NMOS沟道电势示意图(0VDS VGS-VT),边界条件:V(x)|x=0=0,V(x)|x=L=VDS,Qd:沟道电荷密度,Cox:单位面积栅电容,沟道单位长度电荷(C/m),WCox:MOSFET单位长度的总电容,Qd(x):沿沟道点x处的电荷密度,V(x):沟道x点处的电势,I/V特性的推导(1),电荷移动速度(m/s),V(x)|x=0=0,V(x)|x=L=VDS,I/V特性的推导(2),对于半导体:,且,I/V特性的推导(3),三极管区(线性区),每条曲线在VDSVGSVTH时取最大值,且大小为:,VDSVGSVTH时沟道刚好被夹断,三极管区的nMOSFET(0 VDS VGSVT),等效为一个压控电阻,饱和区的MOSFET(VDS VGSVT),当V(x)接近VGS-VT,Qd(x)接近于0,即反型层将在XL处终止,沟道被夹断。,MOSFET的I/V特性,Triode Region,VDSVGS-VT,沟道电阻随VDS增加而增加导致曲线弯曲,曲线开始斜率正比于VGS-VT,VDSVGS-VT,用作恒流源条件:工作在饱和区且VGS const!,NMOS管的电流公式,截至区,VgsVTH,线性区,Vgs VTHVDS Vgs-VTH,饱和区,Vgs VTHVDS Vgs-VTH,MOS管饱和的判断条件,NMOS饱和条件:VgsVTHN;VdVg-VTHN,PMOS饱和条件:VgsVTHP;VdVg|VTHP|,g,d,g,d,判断MOS管是否工作在饱和区时,不必考虑Vs,MOSFET的跨导gm,MOS模拟开关,MOS管D、S可互换,电流可以双向流动。可通过栅源电源(Vgs)方便控制MOS管的导通与关断。关断后Id0,NMOS模拟开关传送高电平的阈值损失特性,假定“1”电平为3V,“0”电平为0V,VTN0.5V,试确定C1、C2的终值电压。,PMOS模拟开关传送低电平的阈值损失特性,假定“1”电平为3V,“0”电平为0V,VTP-0.5V,试确定C1、C2的终值电压。,二级效应,MOS管的开启电压VT及体效应,体效应系数,VBS0时,0,MOS管体效应的Pspice仿真结果,Vb=0.5v,Vb=0v,Vb=-0.5v,Id,Vg,体效应的应用:利用衬底作为MOS管的第3个输入端利用VT减小用于低压电源电路设计,衬底跨导 gmb,MOSFET的沟道调制效应,MOSFET的沟道调制效应,L,L,MOS管沟道调制效应的Pspice仿真结果,VGS-VT=0.15V,W=100,ID/VDS/L1/L2,=2,=6,=4,MOS管跨导gm不同表示法比较,上式中:,亚阈值导电特性,(1,是一个非理想因子),MOS管亚阈值导电特性的Pspice仿真结果,VgS,logID,仿真条件:,VT0.6,W/L100/2,MOS管亚阈值电流ID一般为几十几百nA,常用于低功耗放大器、带隙基准设计。,MOS器件模型,MOS器件版图,MOS电容器的结构,MOS器件电容,C1:栅极和沟道之间的氧化层电容,C2:衬底和沟道之间的耗尽层电容,C3,C4栅极和有源区交叠电容,C5,C6有源区和衬底之间的结电容,栅源、栅漏、栅衬电容与VGS关系,1)VGS VTH截止区,2)VGS VTH VDS VGS VTH深三极管区,3)VGS VTH VDS VGS VTH饱和区,栅源、栅漏电容随VGS的变化曲线,NMOS器件的电容-电压特性,积累区,强反型,减小MOS器件电容的版图结构,对于图a:CDB=CSB=WECj+2(W+E)Cjsw,对于图b:CDB=(W/2)ECj+2(W/2)+E)Cjsw CSB=2(W/2)ECj+2(W/2)+E)Cjsw=WECj+2(W+2E)Cjsw,栅极电阻,MOS 低频小信号模型,完整的MOS小信号模型,作业:2.1,2.2,2.5,2.9,2.15,实验熟悉HSPICE环境及MOS晶体管特性 在Windows下Tanner环境下SPICE的使用任务:1)完成NMOS和PMOS晶体管I-V特性的仿真,包括 A W,L不变,在不同的Vgs下,Ids与Vds关系 B W,L不变,在不同的Vds下,Ids与Vgs关系 C Vgs不变,在不同的W/L下,Ids与Vds关系2)习题2.5b3)衬底调制效应的仿真:习题2.5e时间 4小时实验报告要求画出各个曲线,上交电子版。,例:求下列电路的低频小信号输出电阻(0),例:求下列电路的低频小信号输出电阻(0),例:求下列电路的低频小信号输出电阻(0),小信号电阻总结(0),对于图(A):,对于图(B):,对于图(C):,例:若W/L50/0.5,|ID|500uA,分别求:NMOS、PMOS的跨导及输出阻抗以及本征增益gmr0(tox=9e-9 n=0.1,p=0.2,n=350cm2/V/s,p=100cm2/V/s),tox=50,Cox6.9fF/m2(1=10-10 m,1fF=10-15 F),tox=90,Cox6.9*50/90=3.83fF/m2,同理可求得PMOS的参数如下:gmP 1.96mA/V,r0P 10K,gmP r0P 19.6,本章基本要求,掌握MOSFET电流公式及跨导公式。掌握MOSFET小信号等效电路。掌握MOSFET的二阶效应、用作恒流源的结构特点及其饱和的判断条件。掌握MOS管的开关特性。,

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