半导体、液晶行业设备材料选用介绍.ppt
半导体、液晶行业设备材料选用介绍,目录,1.机台常用材料种类2.各种常用材料特性&应用位置,1.机台常用材料种类,金属类：Al-profile:铝框架；LG2:炮铜，一种优质铜合金；Al+Electroless Ni plating：化学镀镍铝合金；SUS:SUS304/SUS440C/SUS316:不同代号的不锈钢；,聚合物类：PP:聚丙烯PC:聚碳酸酯PVC：聚氯乙烯C-PVC：氯化聚氯乙烯POM:聚甲醛塑料PVDF：聚偏氟乙烯PTFE：聚四氟乙烯,Nylon 610：聚癸二酰己二胺Nylon 612：聚十二乙烷二酰己二胺Anti-static Transparent Acryl:抗静电透明丙烯酸酯树脂；PEEK:聚醚醚酮；UHMW-PE：超高分子量聚乙烯；PET:聚对苯二甲酸类塑料MC-Nylon:单体浇铸尼龙,Al-profile:铝质框架 主要是铝合金型材，一般加入Mg或Mn等金属形成相应的合金，具有密度小、强度高，耐蚀性好等优点，是很好的框架材料。,2.各种常用材料特性,LG2:炮铜，一种优质铜合金：一种集耐腐蚀抗疲劳耐磨损于一身的优质铜合金，一般在工业上用作活动连接件。机台中把Bearing grease的材质就是采用这种合金。Al+Electroless Ni plating：化学镀镍铝合金 利用化学镀膜方法在铝合金表面镀一层镍，具有很好的耐腐蚀能力、良好的机械性能，难溶及不易与被空气氧化。（主要用于Dry CV unit）,SUS:SUS304/SUS440C/SUS316：不锈钢SUS304是奥氏体不锈钢，塑性较好因而其冷加工性能佳，同时因其奥氏体组织结构，无磁性，热处理难以增加其强度，其耐腐蚀性能较优；多用于制作不锈钢日用品、容器。（主要用于碱液单元、水单元传动轴、风刀本体等）SUS440C是马氏体不锈钢，机械强度较SUS304高，并且可以通过热处理来进一步增强其机械性能，有磁铁吸附的特性；多用于制作工具、刀具及其它强度硬度要求较高的用途，可制造在腐蚀环境和无润滑强氧化中工作的轴承零件。（主要用于SUS Bearing）,SUS316不锈钢塑性、韧性、冷变性、焊接工艺性能良好，高温强度好，耐蚀性优秀，由于含碳量低且含有2%-3%的钼，提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸、碱、盐类的耐腐蚀性能，同时高温性强度。(主要用于高压气体管路、药液单元等),PP:聚丙烯 耐水性、化学稳定性、耐热性、成型性好等特点,机械性能较好，弯曲强度和拉伸强度接近于聚苯乙烯，刚性和延伸率好，抗应力开裂性比聚乙烯好，但耐磨性稍差；严重缺点是在氧，热，光作用下容易降解，老化，为此，应在聚丙烯塑料中加入稳定剂。（主要用于马达传动的斜齿轮处）,Anti-Static Transparent PC:抗静电透明聚碳酸酯 PC是一种综合性能优良的非晶型热塑性树脂，具有优异的电绝缘性、延伸性、尺寸稳定性及耐化学腐蚀性，较高的强度、耐热性和耐寒性，价格低廉；还具有自熄、阻燃、无毒、可着色等优点；但也有硬度不足容易刮花，不耐强酸，不耐强碱，不耐紫外线。（主要用于设备的Cover、door等位置）,PVC：聚氯乙烯 可分为硬聚氯乙烯和软聚氯乙烯。硬聚氯乙烯：不含或只含少量的增塑剂。强度较高，质硬，介电性能好，化学稳定性好，抗酸碱能力强，但耐热性不高。主要用于制造片材，板材，管材，棒材，弯头等各种型材或泡沫塑料。软聚氯乙稀：含较多的增塑剂，可塑性，流动性比硬聚氯乙稀好，制品柔软且富有弹性，抗酸碱能力强，耐寒耐光且不受氧及臭氧的影响，但耐热性，机械强度，耐磨性，耐溶性及介电性不如硬聚氯乙稀。用于制造手柄，绝缘垫等结构性零件，电线电缆的绝缘层和软管。(主要用于chamber、DIW tank等),C-PVC：聚氯乙烯-C PVC经氯化而得的一种热塑性树脂，含氯量6168%，氢原子没有全部被氯取代。溶解性、耐热性、耐寒性均比聚氯乙烯优越，不易燃烧，耐气候、耐化学药品及耐水性均优，可主要作热水上水管使用。（主要用于水、药液管路等）,POM:聚甲醛塑料 俗称赛钢，性质最接近金属。具有高机械强度和刚性、最高的疲劳强度、耐有机溶剂性佳、耐反覆冲击性强、使用温度范围广、良好的电气性质、复原性良好、具自已润滑性、耐磨性良好、尺寸安定性优等特点，但也有加工过程若长时间高温下易起热分解、抗酸性差的不足。可用于生产工业零件：机械零件、齿轮、把手、玩具、螺杆等。（用于马达齿轮等位置）,PVDF：聚偏氟乙烯 偏氟乙烯均聚物或者偏氟乙烯与其它少量氟乙烯基单体的共聚物，它兼具氟树脂和通用树脂的特性，除了具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温、耐候性、耐射线辐射性能外还具有压电性、介电性、热电性等特殊性能，是目前含氟塑料中产量名列第二的产品。（外观为白色，用于需要耐氧化、耐酸碱，防离子析出等级高的单元&机构）,UHMW-PE：超高分子量聚乙烯 分子量极高，属于价格适中、性能优良的热塑性工程塑料，它几乎集中了各种塑料的优点，具有普通聚乙烯和其它工程塑料无可比拟的耐磨、耐冲击、自润滑、耐腐蚀、吸收冲击能、耐低温、卫生无毒、不易粘附、不易吸水、密度较小等综合性能。事实上，目前还没有一种单纯的高分子材料兼有如此众多的优异性能。（主要用于Dry unit的CV Roller上）,PET:聚对苯二甲酸类塑料 PET是乳白色或浅黄色高度结晶性的聚合物，表面平滑而有光泽。耐蠕变、抗疲劳性、耐摩擦性好，磨耗小而硬度高，具有热塑性塑料中最大的韧性；电绝缘性能好，受温度影响小，但耐电晕性较差。无毒、耐气候性、抗化学药品稳定性好，吸水率低，耐弱酸和有机溶剂，但不耐热水浸泡，不耐碱。（一般用于导轮）,MC-Nylon:单体浇铸尼龙 分子量高,物理机械性能优于普通尼龙，有较好的强度，刚性、韧性、耐磨性、化学稳定性；吸水率低，尺寸稳定性好；有自熄性，持续耐热可达100。机械性能受温度影响较大，随着温度的升高，机械性能明显下降。（主要用于马达传动齿轮）,Nylon 610：聚癸二酰己二胺Nylon 612：聚十二乙烷二酰己二胺 二者分别为Disk Brush和Roller Brush的刷毛材料，与尼龙相比，二者材质均具有较低的吸湿性，因此在有水的条件下仍有较好的刚性，对去除Partical有利，此外二者具有尺寸稳定、介电性好，柔软耐磨、成型加工简便等优点，能有效抗虫咬、霉菌侵蚀等。,
