显影清洗台制作方案.doc

显影清洗台制作方案一、总述：序号名称及规格数量单位备注一整机部分1整机一、整机材料：10mm厚优质pp板，约2000（长）X1400mm（宽）X2000mm（高）。二、设备主体分4个工作区：（1）工艺槽工作区。（2）排风区。（3）水电气控制区。（4）阀箱区。三、排风系统：（1）设备后部多个条状孔排风孔，手动调节挡风板可调节排风量。（2）台面板开有多个8mm孔，用于底部排风与水清洗工作台面的排液。（3）设备主排风有一个200mm排风管。（4）排风量： 1500m3/h=3000 m3/h。四、设备采用上下无段式推拉门。五、照明系统：两个30W日光灯照明，装有防腐灯罩。六、化学槽液体单独排放，采用塑料电磁阀排液。1台整机功率：5KW，AC220V；排水口径60，上水口径25，2.5Kg/Cm2,气体接口3/85Kg/Cm2。2控制系统1、 操作面板位于设备前上部，人机界面、控制按钮及主要显示仪表设置其上。2、电气系统采用日本OMRON公司PLC实现控制功能。用户可根据需要，通过触摸屏对整机工艺实现设置和控制。设备的控制系统可随时提供设备的工作状态显示，并具备历史记1套二槽体部分1化学槽见详细描述2套适用4英寸1篮25片2QDR清洗槽见详细描述4套去离子水适用2英寸2篮，每篮25片或4英寸1篮25片三辅助系统1水枪美国进口，枪体材质为铁氟龙2只接去离子水2氮气枪美国进口，枪体材质为铁氟龙2只高纯氮气 二、详细描述： 台面由8个功能槽组成，1#4#槽为不锈钢常温槽（后面带搅拌机构），5#8#槽为QDR冲洗槽。1、1#-4#不锈钢常温槽（带搅拌机构）槽体描述：不锈钢常温槽的结构如下图所示，主要由不锈钢槽、托板、排放口、管路和管件等组成。不锈钢常温槽结构及示意图槽体材质：SUS316L。内槽有效尺寸：长×宽×高 = 250 L（mm）×250 W（mm）×250 H（mm）。化学液：显影液。液体温控： 常温。抖动装置：槽体后面带片盒搅拌机构，伸到槽体材质：PTFE材料。抖动装置均由调速电机驱动，抖动频率10-60次/min连续可调，振幅为30mm，搅动装置结构示意图见下图。抖动装置结构示意图 人工加药。电磁阀排药。配槽盖（SUS316L）。2、5#-8#QDR槽QDR快排冲洗槽的结构如下图所示，主要由喷淋槽、溢流槽、匀流板、快排汽缸体、喷嘴喷管、管路和管件等组成。基本流程 : 放入工件开始喷淋,同时快排阀打开底部注水，同时快排阀关闭，氮气鼓泡打开溢流漂洗氮气鼓泡快排阀打开，快速排放，一次冲洗快排工艺结束。在QDR 槽体溢流部设水阻计，时时监控水质。各功能的运行时间及次数可编程控制。匀流板溢流槽喷淋槽N2DIQDR快排冲洗槽结构及示意图氮气鼓泡控制喷淋、溢流控制快排汽缸DIW喷淋溢流快排两用结构电阻率检测溢流排放槽体描述：槽体由进口NPP板材焊接加工而成。QDR槽由安装在槽体底部的快排汽缸、底部DI水注入孔及顶部左右两侧的DI水喷嘴实现槽体的快速注入与排放，有氮气鼓泡功能。QDR槽用来实现刻蚀后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗去除，具有喷淋、溢流、氮气鼓泡等功能，各功能的运行时间及次数可编程控制。槽体内口有效尺寸：长×宽×高 = 200（mm）×200（mm）×200（mm）。注入时间：60秒（DI水压力为23Kg）。排放时间：6秒。在溢流排放口安装有DIW电阻率检测仪，可队冲洗溢流的水质适时检控；电阻率检测仪型号为：台湾SUNTEX生产的EC430。槽体内安装带网眼的匀流板一个，用来承载花篮以及均匀流场。槽盖：采用透明PVC槽盖，槽盖可以竖直悬挂在槽的旁边。