光学元件表面光洁度标准课件.ppt

,表面光洁度标准讲稿2019/8/6,定义表面缺陷标准:依据美国军用标准 MIL-PRE-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。道子、亮路都统称为划痕。斑点、坑点、点子都称为麻点规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。划痕,划狠点子当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。B区80-50如左图元件表面质量要求不同,则在判定A区是否符合要求时,应取内圆直径进行计算。而B区则取整个元件A区20-10的圆直径,美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。长方形面积=长宽=abb长方形的等效直径DD=2,/b面积=(D/2)角的面积为(低高)/2=(ab)2h三角等效直径DD=2B区:80-50对于长方形元件(当长与宽的比5:1时)可以用简单公式:等效直径=(长+宽)/2来计算。如左图元件A区:20-10A区等效直径为(1+3)/2=2mn2mmB区等效直径为(2+4)/2=3mm对于长与宽比5:1的产品不能用简单公式计算等效直径,划痕以美国军用标准MIO-13830的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。)这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80#5个级。SCQA027表面质量标准共有7条划痕判定标准,前5条是美军标的规定,后两条是公司内控标准。以下逐条讲解:1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格例如:元件的表面质量要求为6040,则代表元件的划痕必须60#的划痕,则元件不合格。,