二次配工程规范(DOC41页).doc

中緯積體電路(寧波)有限公司Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc.資料名稱TITLE:氣體管線二次配工程規範頁 數 PAGE:32 OF 32資料號碼SPEC NONS-SP006版本 REV.0中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTSPAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明45.其他說明96.驗收標準107.保固期限121. 目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。2. 範圍2.1. 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VMB/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。2.2. 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。2.3. 本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。2.4. 配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。2.5. 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。2.6. 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。2.7. 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。2.8. 氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。3. 文件送審文件名稱投標階段(3份)設計階段(5份)竣工階段(5份)報價表(Quotation form)X專案組織表(Project organization)XX專案執行時程表(Project schedule)XX工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point)XXX系統管儀圖(P&IDs)XXX焊接設備清單(Equipment list)XXX設備及材料型錄及資料(Vendors catalogs and information to support his quotation， including electrical system & I/C system)XXX儀表安裝詳圖(Instrument installation drawing)XX送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule)X品質管制程序書(Quality control procedure)X工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)X驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports)XX製造商測試報告(Manufactures inspection & test reports/records)XX計算書(Contractors calculations)XX管線配置圖(Pipe routing plan)XXX管線支撐詳圖(Pipe support drawing)XX管材規格(Piping material specification)XX管線施工程序書(Piping construction specification)XX註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔4. 施工說明4.1. 一般說明4.1.1. 承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核通過後，方可據以施工。4.1.2. 承攬商需於工作場所設置工程負責人，需有相關工程經歷三年以上，其工作職責為：4.1.2.1. 施工進度控制。4.1.2.2. 施工人員管理及安排。4.1.2.3. 材料數量管制。4.1.2.4. 現場會勘放樣。4.1.2.5. 參與承攬商溝通協調會議4.1.3. 承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.3.1. 施工品質控制。4.1.3.2. 施工完工品質驗收。4.1.3.3. 施工驗收報告匯總。4.1.3.4. 原料進廠自主檢查。4.1.4. 承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年以上，其工作職責為：4.1.4.1. 材料數量管理。4.1.4.2. 進廠料件驗收。4.1.5. 承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.5.1. 現場安全衛生工作監督。4.1.5.2. 參與承攬商安全衛生協調會議。4.1.5.3. 承攬商施工人員安全衛生訓練。4.1.6. 施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執照，並由一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。4.1.7. 品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不可由品管負責人擔任。4.1.8. 承攬商有任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提出異議要求更換，承攬商不得有異議。4.2. 材料說明4.2.1. 氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。氣體種類材質a.一般大宗氣體GN2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5Sb.自燃性氣體SiH4, SiH4/N2, PH3/N2內管SUS 316L EP/外管SUS 304c.其他氣體PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。4.2.2. 各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需經過業主審核同意後使得選用。項目規格廠牌a.SUS 316L BA pipeRmax < 3.0mSumikin/ Kuzeb.SUS 316L BA tubeRmax < 3.0 mSumikin/ Kuzec.SUS 316L BA fitting (for pipe)Rmax < 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letd.SUS 316L BA fitting (for tube)Rmax < 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-lete.SUS 316L EP pipeRmax < 0.7 mSumikin/ Kuzef.SUS 316L EP tube (註1)Rmax < 0.7mSumikin/ Kuzeg.SUS 316L EP fitting (註1)Rmax < 0.7mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-leth.SUS 316L BA valve (15A)Bellow valve, Rmax < 4.5 mKitz/ Ohno/ Motoyamai.SUS 316L BA valve (< 15A)Diaphragm valve, Rmax < 3.0 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamaj.SUS 316L EP valve (15A)Bellow valve, Rmax <1.0 mKitz/ Ohno/ Motoyamak.SUS 316L EP valve (< 15A)Diaphragm valve, Rmax < 0.7 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamal.RegulatorSUS 316L EP, VCR type, Rmax < 1.0 mAP-tech/ Veriflo/ Tescom/ Crownm.Filter in VMB/ VMPSUS 316L EP, VCR type, pore size：0.003 µmPall/ Milliporen.Gasket filterSUS 316L EP, pore size：0.01 µmPall/ Millipore註：1.Cl2、NF3等氣體需選用VIM+VAR鋼材。4.2.3. VMB/VMP設備4.2.3.1. 承包商需負責設計及提供特殊氣體供應所需VMB及VMP，其安裝數量及位置請參照”附件二 Specialty Gas VMB list”及相關圖面指示辦理；經過VMB/VMP後管線則直接接至使用點。4.2.3.2. VMB及VMP所需安裝各項閥件及儀表請參照”VMB/VMP示意圖”(圖號SP-230)指示辦理。承包商於每種氣體之VMB/VMP，均需於進氣主管路預留3/8”隔膜閥(氫氣為1/2”)以供未來擴充用。4.2.3.3. VMB需具備差壓計以檢視排氣之正常與否。4.2.3.4. VMB須具備緊急關斷功能，且緊急關斷需能於現場及遠端控制。4.2.3.5. 所有儀電設備之組裝與測試需根據NFPA 70，National Electrical Code。4.2.3.6. 得標商應於現場進行VMB/VMP之功能測試，現場測試其氦測漏率應1×10-9atm-cc/sec。4.2.3.7. 各VMB所需氣體偵測器由業主提供，承包商需負責安裝及連結各項控制線路。4.2.3.8. VMB內所有閥件與管件均需以VCR形式銜接。4.2.4. 承包商於每批材料進廠時，需檢附原廠檢驗及測試報告，若為國外進口品則需附進出口文件；所有材料須經業主對於外觀、潔淨度進行檢驗，合格後方能進廠；如有需要也要將所有材料樣品交由公證單位檢驗，費用由承包商負擔，如檢驗未達標準造成延誤之後果，由承包商負責。4.2.5. 所有二次配工程所需材料，備料時間需於機台Move-in前一個月完成，且須有足夠的安全庫存量。4.2.6. 無共用管架處之獨立配管管路support由承包商負責，support/clamps/screws/nuts材質應為SUS 304之材質，承包商需經過計算後，提送標準圖送審。4.3. 施工規範4.3.1. 預製作業4.3.1.1. 於機台move in前三十天進行現場會勘，承包商依會勘結果繪製電腦施工圖。4.3.1.2. move in前二十五天進行套圖會議，確認各管線之高程及路徑。4.3.1.3. 高純度管件需在Class 1,000或更佳的環境內進行焊接，承包商需在現場提供臨時之無塵作業環境，所有管線或管件之預製作業應在該無塵環境中進行。4.3.1.4. 承包商需提供QC儀器廠商最近三個月內之校正報告，測試報告及校正資料需負責工程師核可方可使用。4.3.2. 安裝作業4.3.2.1. GN2、PN2、PO2、CDA等管線接至機台前，需裝設隔膜閥、調壓器、壓力表及過濾器，詳細安裝數量及位置請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)指示辦理。4.3.2.2. 所有焊接機具須能提供給十組以上人員同時使用；QC機具須能提供給三組以上人員同時使用，QC機具應至少包括氦測漏機、Particle counter及露點偵測機。4.3.2.3. 承包商進行管線支撐設計，應至少每1.2 m即設計一組支撐，並於施作前，提送相關設計資料、圖面，供業主審閱核准；如遇現場需求，承包商得視實際狀況增加支撐數量。4.3.2.4. 切管作業：a) 管徑15 A以下，可以用手動切斷器；管徑15 A以上，需使用電動管車刀切斷，不能使用一般鋸弓。切管完後，管壁內外皆有毛邊，須用刮刀剷除毛邊。b) 管件預作處理前(切管或組管)，須持續以GN2吹淨。4.3.2.5. 彎管作業：1/2”以下配管採彎管配管，若因現場因素無法執行，則一律使用Elbow施工；彎管需使用合適之彎管器，不可使用手彎。4.3.2.6. 焊接作業：a) 承包商需於每日工程開始前於現場製作二份各種不同管徑之標準焊道樣品，以供未來現場Test Piece目視檢察比對之標準。b) 承包商需於下列時機，當場施作Test Piece，不可先行施作，並須紀錄焊接參數，經QA/QC人員檢驗確認合格後，施工承商才能開始施工。1. 每日焊接開始前及結束後。2. 改變管徑大小、鎢棒更換、焊接程式變更後。3. 焊接工作中斷超過一小時或變更電源後。4. 任何有缺陷之焊接情況發生後。c) 本次氣體管線二次配工程均採用自動軌道氬焊(auto-orbital TIG)技術施工。5. 其他說明5.1. 依業主之廠務單位提出之需求作為施工依據。5.2. 配合業主系統運轉之需求施工，若發生趕工情形，須配合加班或增派人力，以如期完工。5.3. 管線沖淨所需任何裝備及各項安全必須之設施裝備，均由承包商自行負責提供。5.4. Hook up時，機台已有定位位置但尚未定位時，氣體配管承商需先配置高架地板下方，待Move in機台定位後即馬上配管連上機台。5.5. 需購買一台2瓶式的氣瓶架供應He。該氣瓶櫃須具有auto-switch和auto-purge功能，依據氣體壓力、鋼瓶重量及氣體性質自動切換鋼瓶，其採用兩段式，第一段警告，第二段自動切換。控制盤面顯示訊號包含氣體供應狀況、氣瓶重量、壓力顯示、all alarm及running status等功能；控制系統採用可程式化邏輯控制(PLC)，能自動及手動控制並能與氣體偵測系統(Gas Detection System)相容；所有管線銜接應為自動焊接及VCR gasket Compression Seals；氣瓶架歧管閥件上應有Gasket Filter及After Filter；得標商應於現場進行氣瓶架之功能測試，現場測試其氦測漏率應1X10-9atm-cc/sec。5.6. 承包商需提供氣體站內SiH4房之防爆照明燈具、室內空調設施(房間尺寸10x3x4.5 m，溫度控制範圍1525，氣瓶櫃排氣量需與系統承包商確認)，及該房間之排氣系統。5.7. 廠商須於收到PO後一周內派人至SinoMOS(或陪同Tools Refurbish人員)清查Tools實際數量及Tie in點數量及尺寸，以利實際備料。6. 驗收標準6.1. 外觀檢查：6.1.1. 所有管路是否依照圖面施工，並依照規範清楚貼上管路標示。6.1.2. 目視檢查焊道寬度及高度，焊道寬度應不得超過5倍管壁厚度。6.1.3. 目視檢查應不得有任何氣孔、夾渣或龜裂。6.2. 管線試壓：6.2.1. 承包商應協調廠務工程師，利用最接近之PN2接點，配接臨時性管線作為試壓所需氣源。試驗壓力應以設計壓力之1.1倍或業主指定之壓力試驗之，試驗時間需至少4小時。6.2.2. 壓力試驗應使用圓盤式或電子式壓力紀錄器作成詳細記錄，同時現場應安裝4”錶面之壓力指示計作為參考。紀錄項目並應包括管線之識及壓力下降的情形，試壓使用的流壓，試驗之日期，時間及雙方試驗人員，並送業主存查。6.2.3. 試驗前後之壓力差，在經過溫度校正後，誤差應不得大於1%。6.2.4. 試壓後排放管內壓力，並應保持吹淨狀態，或使管內保持0.5 kg/cm2以上壓力，同時須注意安全，防止缺氧。6.3. 氦測漏檢驗：6.3.1. 承包商需針對所有VMB、VMP、PH2及specialty gas管線進行氦測漏試驗。6.3.2. 氦測漏率應1x10-9 atm-cc/sec。6.4. 水分含量測試：6.4.1. 承包商應使用PN2作為purge gas，並連續紀錄水分含量變化，以觀察其下降趨勢及作為是否合格之依據。6.4.2. 各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理：氣體種類應測試位置水分含量要求GN2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。100 ppbCDA 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。DP-70PN2、PO2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。10 ppb其他製程氣體有機台Tie-in點前10 ppb6.5. Particle含量測試：6.5.1. 承包商應使用PN2作為purge gas，測試前應先以PN2執行cycle purge至少30次。6.5.2. 測試時間需至少10分鐘，測試壓力為6090 psig，測試流速為7 m/s。6.5.3. 各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理：氣體種類應測試位置Particle含量要求GN2、CDA 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。10 pcs/scf (> 0.1 µm)PN2、PO2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。1 pcs/scf (> 0.1 µm)其他製程氣體機台Tie-in點前1 pcs/scf (> 0.1 µm)6.6. 氧氣含量測試：6.6.1. 承包商應使用PN2作為purge gas，並連續紀錄氧氣含量變化，以觀察其下降趨勢及作為是否合格之依據。6.6.2. 各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理：氣體種類應測試位置氧氣含量要求GN2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。100 ppbPN2 每段支管末端。 所有機台Tie-in點前。10 ppb其他製程氣體機台Tie-in點前10 ppb6.7. 驗收時需檢附各項測試報告及竣工ISO圖面。7. 保固期限自驗收合格後保固期限一年。附件一Bulk Gas Take-off ListTAKE-OFFTAKE-OFFTool機台流量機台接機台接NOTENO.尺寸LPM頭尺寸頭型式GN55011/2"CV-etcher/QC LabCV-etcher55 3/8"DECAP(QC)-1/8"ETCHER(QC)-1/4"GN55021/2"9F19F125 1/4"9F1120 3/8"9F1120 3/8"GN55031/2"9F29F2120 3/8"9F2120 3/8"GN55041/2"8F8F55 3/8"8F50 3/8"8F50 3/8"GN55051/2"WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)55 3/8"WJ-999(2)55 3/8"GN55061/2"SPAREGN55071/2"ND-6200ND-620020 1/4"ND-620020 1/4"GN55081/2"NOVELLUSNOVELLUS20 1/4"NOVELLUS20 1/4"GN55091/2"SPAREGN55101/2"SPAREGN55111/2"SPAREGN55121/2"SPAREGN55131/2"AMI 8330CAMI 8330C3 1/4"AMI 8330C3 1/4"AMI 8330C3 1/4"AMI 8330C3 1/4"GN55141/2"SPAREGN55151/2"AMI 8330DAMI 8330D3 1/4"AMI 8330D3 1/4"AMI 8330D3 1/4"AMI 8330D3 1/4"GN55161/2"AMI 8330BAMI 8330B3 1/4"AMI 8330B3 1/4"AMI 8330B3 1/4"AMI 8330B3 1/4"GN55171/2"SPAREGN55181/2"LAM 590A/PSC-4LAM 590A10 1/2"LAM 590A3 1/2"LAM 590A3 1/4"LAM 590A1 1/2"PSC-43 1/4"PSC-43 1/4"GN55191/2"LAM 590C/BLAM 590C10 1/2"LAM 590C3 1/2"LAM 590C3 1/4"LAM 590C1 1/2"LAM 590B10 1/2"LAM 590B3 1/2"LAM 590B3 1/4"LAM 590B1 1/2"GN55201/2"LAM 4420A/B/S6000LAM 4420A10 3/8"LAM 4420A10 3/8"LAM 4420A3 1/4"LAM 4420A3 1/4"LAM 4420B10 3/8"LAM 4420B10 3/8"LAM 4420B3 1/4"LAM 4420B3 1/4"S6000-1/4"GN55211/2"SPAREGN55221/2"LAM 490C/BLAM 490C10 1/2"LAM 490C3 1/2"LAM 490C3 1/4"LAM 490C1 1/2"LAM 490B10 1/2"LAM 490B3 1/2"LAM 490B3 1/4"LAM 490B1 1/2"GN55231/2"LAM 490ALAM 490A10 1/2"LAM 490A3 1/2"LAM 490A3 1/4"LAM 490A1 1/2"GN55241/2"Tegal900A/B(位置未定)Tegal900A3 1/4"Tegal900A3 1/4"Tegal900B3 1/4"Tegal900B3 1/4"GN55251/2"SPAREGN55261/2"SPAREGN55271/2"H2H2-3/8"H2-3/8"GN55281/2"HF170 3/8"GN55291/2"SPAREGN55301/2"H1H1-3/8"H1-3/8"GN55311/2"H3170 3/8"GN55321/2"SPAREGN65011/2"7F7F55 3/8"7F150 3/8"GN65021/2"7F7F150 3/8"7F150 3/8"GN65031/2"6F55 3/8"GN65041/2"SPAREGN65051/2"SPAREGN65061/2"SOG-27 3/8"GN65071/2"SPAREGN65081/2"SPAREGN65091/2"SPAREGN65101/2"AMI 8310B/AAMI 8310A3 1/4"AMI 8310A3 1/4"AMI 8310A3 1/4"AMI 8310A3 1/4"AMI 8310B3 1/4"AMI 8310B3 1/4"AMI 8310B3 1/4"AMI 8310B3 1/4"GN65111/2"SPAREGN65121/2"MATRIX(1)/(2)MATRIX(1)3 1/2"MATRIX(2)3 1/2"GN65131/2"LAM 4520LAM 452010 3/8"LAM 452010 3/8"LAM 45203 1/4"LAM 45203 1/4"GN65141/2"SPAREGN65151/2"SPAREGN65161/2"PSC-5PSC-53 1/4"PSC-53 1/4"GN65171/2"SPAREGN65181/2"PSC-3/1PSC-33 1/4"PSC-33 1/4"PSC-13 1/4"PSC-13 1/4"GN65191/2"SPAREGN65201/2"SPAREGN65211/2"SPAREGN65221/2"SPAREGN65231/2"SPAREGN65241/2"CDO 1/2/3(位置未定)CDO 1-1/4"CDO 2-1/4"CDO 3-1/4"GN65251/2"SPAREGN75011/2"SPAREGN75021/2"5F/4F5F55 3/8"4F55 3/8"GN75031/2"3F55 3/8"GN75041/2"SPAREGN75051/2"CR-1991 1/2"GN75061/2"CR-1991 1/2"GN75071/2"STEPPER14/COATER7/8STEPPER1420 1/4"COATER7/8-3/8"GN75081/2"CR-3991 1/2"GN75091/2"STEPPER13/8STEPPER1320 1/4"STEPPER820 1/4"STEPPER720 1/4"STEPPER320 1/4"GN75101/2"SPAREGN75111/2"CR-3991 1/2"GN75121/2"STEPPER12/6/2STEPPER1220 1/4"STEPPER620 1/4"STEPPER220 1/4"GN75131/2"SPAREGN75141/2"STEPPER11/5/1STEPPER1120 1/4"STEPPER520 1/4"STEPPER120 1/4"GN75151/2"SPAREGN75161/2"OBM/M3OBM30 1/4"M3170 1/4"M3170 1/4"GN75171/2"UL-2/AN1UL-2-3/8"AN145 3/8"