NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程.docx
-
资源ID:1937971
资源大小:3.28MB
全文页数:6页
- 资源格式: DOCX
下载积分:16金币
友情提示
2、PDF文件下载后,可能会被浏览器默认打开,此种情况可以点击浏览器菜单,保存网页到桌面,就可以正常下载了。
3、本站不支持迅雷下载,请使用电脑自带的IE浏览器,或者360浏览器、谷歌浏览器下载即可。
4、本站资源下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩,下载后原文更清晰。
5、试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓。
|
NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程.docx
NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程TCO涂层玻璃玻璃磨边机玻璃清洗第一次激光刻划玻璃清洗负载气体箱 玻璃衬底 动力梯 负载箱气体箱 负载箱 预热炉非晶/微晶沉积的PECVD系统冷却炉涂敷薄膜硅的玻璃衬底二次激光刻划ZnO/Al Ag沉积溅射系统三次激光刻划层压6