高精度光学元件面形干涉检测技术进展课件.ppt

,中国科学院光电技术研究所先进光誉矸制中心高精度光学无验测术进晨报告人:侯溪光电技术研究所先进光学研制中心2019-9-5,目录心1、概述心2、国内外高精度面形检测技术现状和发長趋势心3、高精度面形干涉检测技术进長4、结语,概述,火型望远镜空间望远镜ICEPlanets Origins of Life现代光学工程向”一火一小”两个方向发展大中“大”:大口徑大相对口径拼接离轴非赇面轻质量高艚度“小”:亚纳米级高精度面形低中高频粗糙度大型地基望远铙、空间望远镜、惯性约袁聚变装置、深紫外和极紫外投影曝光糸统已经成为现代光学工程的典型代表。IE.inm rmsDUV光剡机EUV光刻机,仿真检测技制造技x系统集术成高端光学糸统研制需要高精度检测披术,而高精度检测技术支據光学糸统精确仿真、确定性制造和糸统集成。,纳來制造原子级确定性制造工的极端0.1m1mm0.1mm自上而下毛细血管101m0.110nmDNA大小分原子大小19401960198020002020,制造与检圆密不可分“ If you can measure ii, you can make it.Kenneth Goldberg, Center for X-Ray Optics,Lawrence Berkeley National Laboratory, CA, USA没有检测,就没有控制,更没有确定性加工检测到多高加工到多高光学制造精度受到相应检测精度的限制,高精度光学元件制造与检测相辅相成用不同的救火倍率以覆盖堂个中频破段Rms表面误差基础如工Figure10umMSFR10nm用不问的精度提升扫描范匮Ex 10 Lateral Frequency um1以覆盖整录终成形Wavelength um个高频段镛心、厚度、曲枣率操、表而堯痛、炊表画破坏检呦非球面朴儀检测制造与检测的集成模型及软件,揿心关健技术高精度面形检故才abm时5-10nmsIm2聪mmInmlnm0.1nm rms?挑战极限1懒W2m4的2mTaking Optical Precision to the Extreme,Mark Bigelow& Noreen Harned, 2019, ASML OPTICS,从本质上讲,纳米级甚至亚纳米级高精度面形检测基于超高重复性的集光机电算为一体的干涉仪,通过减小参考波前误差,隔离、抑恻、分离或补悽校正糸统和随机误差实现高精度测量。当前核心任务:提升复位精度,实现制造和检测的有效闭环提升绝对检测精度,实现设计与检测的有效闭环,