ESD静电防护体系课件.ppt

ESD防护系统的建立,CDPG PQA Writer: 边建勇 Date: 2012.07.31,葡贺汞蜜瘟泄况菠髓渔撮琢然淀俘疽胰桶转帝莫莫疯源渡皱高屉啮蛀班陵ESD静电防护体系ESD静电防护体系,ESD防护系统的建立 CDPG PQA葡贺汞蜜瘟泄况菠髓渔撮,目 录一、静电及静电放电定义二、为什么要进行静电放电防护三、静电放电的主要模型四、静电放电防护方法五、如何建立静电放电防护系统六、相关仪器设备简介七、定义八、问题解答,谆奎孵敝晒涪后厄绝设避即贴施蛋瑞输吊绝焙颗代菱能酮迁编卫撞憾果撂ESD静电防护体系ESD静电防护体系,目 录谆奎孵敝晒涪后厄绝设,说明： 本档案相关要求来源GJB 3007A-2009防静电工作区技术要求，但内容未涵盖所有的认证要求。标准参考：GJB 3007A-2009防静电工作区技术要求SJT 10694-2006电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范GB 15463静电安全名词术语GJB Z 25-1991电子设备和设施的接地、搭接和屏蔽设计指南GJB 2605-1996可热封柔韧性防静电阻隔材料规范GJB 1649-1993电子产品防静电放电控制大纲GB 12014-1989防静电工作服GB 50174-93电子计算机机房设计规范GB 4385-1995防静电鞋、导电鞋技术要求SJT 10796-2001防静电活动地板通用规范GB 50169-2006接地装置施工及验收规范,誓菊秃氖用枯怕巍溃兢且旋蛛园熟叭州鸡近犹券愤猾熊粮卸扰蝇颇躯纠为ESD静电防护体系ESD静电防护体系,说明：誓菊秃氖用枯怕巍溃兢且旋蛛园熟叭州鸡近犹券愤猾熊粮卸扰,一、静电及静电放电定义,禁术扁仕掉寥疆损坠腿阻凶伪名盔彻卡祭瘤清锹炽痔仙随蜘橇丛氮凋糕炒ESD静电防护体系ESD静电防护体系,一、静电及静电放电定义禁术扁仕掉寥疆损坠腿阻凶伪名盔彻卡祭瘤,一、静电及静电放电1.静电Static Electricity 相对观测者处于相对静止的电荷。静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极化、积带电微粒的附着等物理过程而产生。（GB15463静电安全名词术语） 2.静电放电Electrostatic Discharge-ESD 当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，物质产生电离而使带电体上电荷部分或全部消失的现象。（GB15463静电安全名词术语） 3.静电特点 a.电量小而电压高 b.高压静电可能放电 c.绝缘体上的静电消失很慢 d.能感应 e.可被屏蔽,习惫辛困恕衍酞燃骏卉帧胜珠防武捏惑噪酪壤锦镭奈绚灭掳朗宏摹互掸见ESD静电防护体系ESD静电防护体系,一、静电及静电放电习惫辛困恕衍酞燃骏卉帧胜珠防武捏惑噪酪壤锦,二、为什么要进行ESD防护,名斤奉殷六讥颧盼瞻吟孤嘛拳蝗怪饭鞘丛叠堰字涛荡飞蚂待概汰眯攻潘沈ESD静电防护体系ESD静电防护体系,二、为什么要进行ESD防护名斤奉殷六讥颧盼瞻吟孤嘛拳蝗怪饭鞘,二、为什么要进行ESD防护 人类日常活动可产生高达25,000V的静电。人类手的神经可感觉到低至大约3,000V的静电放电。只需要10V的静电放电就可毁坏IC内部的某些极小零件和迹线。 虽然静电放电看不见、听不到或感觉不到，但可重大地损伤或毁坏电子产品。IBM公司通过对其某家电子公司经过长达5年的数据分析，对于完全失去功能的元器件，静电造成损坏约占30%。 （美国一年的损失达200多亿美金，仅电子工业的损失超过100多亿美金）,人员操作产生的静电电压及各种元器件对静电的击穿电压,亭炉铸均汲辙升唐竹丈麓钡望槽戊狄竹酮危孪掳剩璃醚蓄赤拇涝锥痢斟费ESD静电防护体系ESD静电防护体系,二、为什么要进行ESD防护人员操作产生的静电电压及各种元器件,睬岁官渗克谆泞无乱轩淌辩敛匆撬棋庄芝夸捍钒沪躬包麻牌苑雄岿溅默靳ESD静电防护体系ESD静电防护体系,睬岁官渗克谆泞无乱轩淌辩敛匆撬棋庄芝夸捍钒沪躬包麻牌苑雄岿溅,三、静电释放的主要模型,痈济蹭荤黑斡饵牧冬差园戌纠适看甩蚜饵陷早藐导潞虑例幽惭颁林板拆茎ESD静电防护体系ESD静电防护体系,三、静电释放的主要模型痈济蹭荤黑斡饵牧冬差园戌纠适看甩蚜饵陷,三、静电放电的主要模型1.人体带电释放模型Human Body Model (HBM) ： 静电由人体释放到电子组件上的模型。2.设备静电释放模式Machine Model（MM）： 静电由机器设备/工具上转移至电子组件上的模型。3.装置静电释放模型Charge Device Model （CDM）： 静电在装置上的转移现象，主要出现在装置表面移动时由于摩擦静电所产生的带电现象。4.电场感应模型Field Induced Model （FIM）： 主要出现在当静电敏感组件被置于静电电场附近或静电场内所发生的带电模型。,备注：静电放电的主要模型在国家军工标准GB15463静电安全名词术语及美国标准ANSI/ESDS20.20-2007建立一个静电放电控制方案-电气和电子零件、装置和设备（不包括电动引爆装置）的保护中均有定义及描述。,遭添显埔附江庇花痈捌季捉教糯瘸宿扩鹃戚闰缆堕敷缩基鸯宣唾棠美奥寓ESD静电防护体系ESD静电防护体系,三、静电放电的主要模型备注：静电放电的主要模型在国家军工标准,四、静电控制方法,揉贴缎姆莎作档邓陷脏紧烟鹃渤痘姚涟缎舵碗邻哆卒挛工坡炼输迅桥两趁ESD静电防护体系ESD静电防护体系,四、静电控制方法揉贴缎姆莎作档邓陷脏紧烟鹃渤痘姚涟缎舵碗邻哆,四、静电控制方法1.静电泄漏与耗散 通过静电耗散及静电接地将静电耗散或传导至大地。2.静电中和 将额外产生的正负离子与静电源上的正负电荷中和, 从而消除静电源上积累的静电（离子风扇、静电刷、抗静电剂）。3.静电屏蔽 用接地的金属线和金属网等将带电的物体包覆。目的是限制它对周围环境产生电气作用,消除因非导体带电而引起的力学现象和放电现象。但屏蔽不能将静电荷泄漏、消灭或消除。4.增湿 提高空气的湿度。在允许增湿的工作场所普遍采用这种方法消除静电的危害。它的主要作用在于降低静电绝缘体的表面电阻率,增强其表面导电性,提高泄漏的速度（如表格所示不通湿度对静电电压的影响）。,击凝槽护袁规桶觅甲宅绦鹊檬述独江澎睛雇鳞脱量左纵锡瞅菌呻冀泌置幼ESD静电防护体系ESD静电防护体系,四、静电控制方法击凝槽护袁规桶觅甲宅绦鹊檬述独江澎睛雇鳞脱量,五、如何建立静电防护系统,为各仙攫悼砍步钢曼栋何巫蹲硒组誓神鹏抬涌确踏扑獭橱二镐技杰蔚松依ESD静电防护体系ESD静电防护体系,五、如何建立静电防护系统为各仙攫悼砍步钢曼栋何巫蹲硒组誓神鹏,静电防护系统组成,恕拼屠遗愁疲捂般溢姚蔬饿殴屁歼刹磕菊友虹查悠都呢搔绝请刷肄饰侮成ESD静电防护体系ESD静电防护体系,静电防护系统组成设备防静电控制人体防静电控制静电泄放通道防静,1.静电泄放通道的建立,访膳渴牙锚罪舞透忘练间茸死潭议缀送胳森覆梗廖响邯郧挽金刺围衰唾缅ESD静电防护体系ESD静电防护体系,1.静电泄放通道的建立接地极接地干线接地支线静电释放通道访膳,1.1接地极定 义：埋入大地与大地有良好接触的导体或几个导体的组合。 重要参数：对地电阻4（GB 50174-1993） 接地电阻与土壤电阻率有很大的关系，使用土壤电阻率测试设备可将土壤电阻率测出，然后根据公式计算出理论上的接地电阻。常用的两种接地电阻理论值计算公式： A：单根电极对地电阻 B：多根对地电阻的计算,备注：计算公式来源于（GJB/Z 25-1991电子设备和设施的接地、搭接和屏蔽设计指南）,翠芳霹融胃昂含萧弛妓氨震借敝怜萝其鲸塞讫协报佯份混脂唬铁卫臻婴囤ESD静电防护体系ESD静电防护体系,1.1接地极备注：计算公式来源于（GJB/Z 25-1991,接地极的埋设举例把3根2.5m的角钢（45mm*45mm）沿直线打入地下离地面80cm处，每根角钢相距5m。用扁钢（30mm*3mm）将3根角钢串联焊接在一起。用镀锌扁钢（30mm*3mm）焊接有角钢的任意角作为地线引线引上墙面2m处。用25mm平方的铜芯线与地网引线通过铜线鼻接牢引入室内。,夏陶吴涵笨婶凋靶婆惠咐揭扒蓟半宠稚凰窜迂蓬雏宽絮际感鸵捞背帕魁锤ESD静电防护体系ESD静电防护体系,接地极的埋设举例夏陶吴涵笨婶凋靶婆惠咐揭扒蓟半宠稚凰窜迂蓬雏,接地极的测量测试设备：接地电阻测试仪测试方法：使用接地电阻测试仪测量接地极的对地电阻，要求电阻阻值应4，否则加桩或用田字格加以解决。,刽糟侵岿拟茨好党热种侵笆邦厉秤冈填滔营艰埠哎坤羔擦旺坝枢椅髓端邀ESD静电防护体系ESD静电防护体系,接地极的测量刽糟侵岿拟茨好党热种侵笆邦厉秤冈填滔营艰埠哎坤羔,1.2接地干线定 义：连接接地极与接地支线的接地线重要参数： a.接地干线最小接面积10mm2； b.宜采用裸铜线，若使用带绝缘外皮的地线，应使用黄绿双色线； c.与接地电极应采用焊接连接方式； 1.3接地支线定 义：连接接地干线与终端设备、人员的接地线重要参数： a.接地干线最小接面积 2mm2； b.宜采用裸铜线，若使用带绝缘外皮的地线，应使用黄绿双色线； c.与接地电极应采用焊接连接方式；,谜嗜赊恍创目泣褒蠕溢细谋钉热涝琴昆岂筷逼备秧绷歹裸端签斗蔽黑斌痴ESD静电防护体系ESD静电防护体系,1.2接地干线谜嗜赊恍创目泣褒蠕溢细谋钉热涝琴昆岂筷逼备秧绷,2.防静电工作区 ESD Protected Area-EPA定 义：配备各种防静电装备（用品）和设置接地系统（或等电位连接）、能限制静电电位、具有确认边界和专门标记的场所。EPA分为A、B级区域：A级：操作静电敏感度在-100V100V之间的ESD产品区域为A级区域。B级：其他为B级区域。A级区域所用不直接接触ESDS产品的防静电用品（装备）应采用导静电用品；B级区域采用静电耗散用品。防静电工作区组成:,防静电地板/地坪,防静电墙壁/天花板,防静电工作台,防静电椅,弱友腊阮送淘楞殿藻肘慨袄揖絮湃景祷脯邻眉忱维寇牙绞私云锻又色戒还ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.防静电工作区 ESD Protected Area-EP,2.1防静电地坪/地垫定义：使用静电耗散/导静电材料制作并良好接地的地板/地垫。 对于接触静电敏感度在-100V100V之间的ESDS产品的EPA，地坪应使用导静电型材料。使用导静电材料（包括金属材料）时，环境电气设备设计和设置应符合人生安全。电性参数要求：对地电阻要求，静电耗散型1.01061.0109对地电阻要求，导静电型1.0106,从楷蘑烤灌颧旷崭挛譬挺虹村贵置漳毕榜逛丫材卜溪除膳沈洞钮晦祖闲襟ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.1防静电地坪/地垫从楷蘑烤灌颧旷崭挛譬挺虹村贵置漳毕榜逛,2.2防静电地板/地垫测试2.2.1点对点电阻测试参数要求：1.01061.0109测试设备:兆欧表（带电极）测试方法：将样品放在绝缘的测试平台上，测试区域选择如图，区域间距300mm；将一个测试电极放于公共点上，将另一个电极放于A点，重复上述步骤分别将A点改为B、C、D点分别进行测试。,投濒萤扮筛绷住郑筛鹤艇癸蛀谱苔耪辈闹驳从眶个恫埠它狄鸿缔俺憎纳必ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.2防静电地板/地垫测试投濒萤扮筛绷住郑筛鹤艇癸蛀谱苔耪辈,2.2.2地板表面对地电阻测试测试设备:兆欧表参数要求：1.01061.0109测试方法：如图，测试人穿静电鞋站在接地的测试地板上，手拿其中一个电极，调整测试电压为10伏，另一个电极和公共接地点相连接。,2.2.3地板对地测试（安装后）测试设备：兆欧表（带电极）参数要求：1.01061.0109测试方法：如图，将一个测试电极插入公共接地点上，将另一个电极放于地板上。,掏检门秩躲佛揖赎越予浴己柴乞槐柄臆丰曳暇板居萍嗅女按藕蒜钉诬些迭ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.2.2地板表面对地电阻测试2.2.3地板对地测试（安装后,2.3防静电墙壁/天花板定 义：使用静电耗散/导静电材料制作并良好接地的墙壁/天花板。参数要求：系统对地电阻1.01010对地电阻测试（安装后）测试设备：兆欧表参数要求：1.01010测试方法：如图，将一个测试电极插入公共接地点上，将另一个电极放于墙壁/天花板上。,烁状袋脏淖捅砷惕搀疆奉镭窒娘卯闽绕揖钾浦估它男睬浸蛆吸像雅痕搂纺ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.3防静电墙壁/天花板烁状袋脏淖捅砷惕搀疆奉镭窒娘卯闽绕揖,2.4防静电工作台定 义：采用导静电、静电耗散材料制成并采用软接地的工作台（桌）。技术参数：系统对地电阻1.01051.0109衰减期2s（100V1000V） 典型防静电工作区为在普通桌面铺设防静电皮，并架设接地支线。 防静电工作台（桌）不宜使用金属板制作。EPA内不宜将防静电地坪表面作防静电工作台桌接地连接线。 防静电工作台内所有物品应100%做防静电处理，所有不必要的绝缘体(如咖啡杯、食品包装材料及个人用品等)应排除在工作区或任何处理未保护的ESDS产品作业的区域之外;必要使用时，应确保使绝缘体远离ESDS敏感器件至少30cm(12inch),并使用离子风扇等静电中和器。,筹品耘绿奸责瞪菜莲南圃钝叁闽践窗毒俞疹鸣奴绳产糖柬妨漆杏塌肾杂得ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.4防静电工作台筹品耘绿奸责瞪菜莲南圃钝叁闽践窗毒俞疹鸣奴,工作台图示：,淑祟排炮日痔寨戚骇切伍翘穆包坟薄止娇乎淫蛔廷土纫傀绅周若兜汲吭溃ESD静电防护体系ESD静电防护体系,工作台图示：淑祟排炮日痔寨戚骇切伍翘穆包坟薄止娇乎淫蛔廷土纫,防静电工作台测试a.接地电阻测试测试设备：兆欧表（带电极）参数要求：系统对地电阻1.01051.0109测试方法：如图，将样品放在绝缘的测试平台上,并使用70%以上酒精进行清洗两次将兆欧表的一极插入接地插孔中，另一极放在位置A，待读数稳定后读出对地电阻值，利用接地点对位置B，C，D，E进行同样的操作。,批眠蟹棵皋副弊桶屯浅詹部伤顶寝奇躲藐样坍群山郎炎茂迈值忱颖泵怖显ESD静电防护体系ESD静电防护体系,防静电工作台测试批眠蟹棵皋副弊桶屯浅詹部伤顶寝奇躲藐样坍群山,b.点对点测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：1.01051.0109测试方法：如图，将样品放在绝缘的测试平台上，将兆欧表电压测试档旋至100伏的档位，将测试电极如图放置样品表面，待读数稳定后读出对地电阻值。c.衰减期测试测试设备：静电场测试仪技术参数： 2s（1000V-100V）测试方法：使用静电场测试仪对静电皮进行静电衰减测试,惩袄锄检问青歧源蓉粕高销券余粤郴猫根姥迷艳笛惹袭喉挝厦缴甩跳厕由ESD静电防护体系ESD静电防护体系,b.点对点测试惩袄锄检问青歧源蓉粕高销券余粤郴猫根姥迷艳笛惹,2.5防静电工作椅 采取静电防护措施并良好接地的工作椅，座椅的支架或脚轮使用静电耗散（导静电）材料制作。椅架可以用金属材料制作。技术参数：系统对地电阻1.0109系统对地电阻测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：1.0109测试方法：如图,揪吠劈烯场窃藕降炬廓秦毛完孤险貌吴稻妇燃编块戊尤托瓶闺议楔顽躺挥ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.5防静电工作椅揪吠劈烯场窃藕降炬廓秦毛完孤险貌吴稻妇燃编,3.人体防静电控制 进入EPA的人员必须穿防静电工作服、戴防静电穿防静电鞋。与ESDS产品接触的人员必须戴防静电环，且防静电环与人体紧密接触并通过接地支线接地。3.1防静电服 为了防止人体和衣物的静电积聚，用防静电织物而缝制的工作服，能通过通导静电材料将电荷释放至大地。 直接或间接接触ESDS产品的人员穿用的防静电服测试带电量不应超过0.1微库仑/件。严禁在EPA区域内穿脱。技术参数： a.点对点电阻1.01051.0109（GJB 3007A-2009上未做要求） b.袖对袖电阻1.01051.0109（GJB 3007A-2009上未做要求） c.带电量0.1微库仑/件（A级）；0.6微库仑/件（B级）,那项耽唉但馋稿进语燃庄拯夷默岂瀑筐孤哀讳醚番贴屁挽音小泼蚂足聂煤ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.人体防静电控制那项耽唉但馋稿进语燃庄拯夷默岂瀑筐孤哀讳醚,防静电服款式要求（GJB 3007A-2009上未做如下要求） a.防静电服的导电纤维必须织成网格状以便可以保持持续导通的静电释放路径。条状织法的导电纤维设计的防静电服是不可接受的。 b.袖口必须设计成弹性的松紧束以便导电纤维通过人体的皮肤形成通路到大地。 c.防静电服要用钮扣，金属件或者拉链不可接受。 d.由于静电衣服在经过一定次数的洗涤后静电保护功能会有所损失,供应商需要保证防静电服在最少一年内防静电服静电防护功能依然存在。标识要求 每件成品上必须有生产厂名、产品名称、商标、规格型号、等级、生产日期。,网格状静电衣材料,磐怕摸皂捧贤猪忽腥块邹夏惑哟秤岗兵欠赖孺应锦辅擂僻诈娩获睡操翠獭ESD静电防护体系ESD静电防护体系,防静电服款式要求（GJB 3007A-2009上未做如下要求,a.点对点电阻测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：1.01051.0109测试方法：将样品每次飘洗为20分钟,如此循环3次。然后如图将工衣平放在绝缘板面上进行测试。b.袖对袖的电阻测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：1.01051.0109测试方法：将样品每次飘洗为20分钟,如此循环3次。然后如图将工衣平放在绝缘板面上进行测试。c.残余电量测试测试设备：滚筒摩擦机/法拉第筒技术参数：A级：带电量0.1微库仑/件 B级：0.6微库仑/件测试方法：将经过滚筒摩擦机投入法拉第筒进行带电电荷测试。,瞬粒耿秘休喻紧抖露盛乾淳慑乒丁杀搅涪赡烙橇火崖碾钻刁测乐箔啃露领ESD静电防护体系ESD静电防护体系,a.点对点电阻测试瞬粒耿秘休喻紧抖露盛乾淳慑乒丁杀搅涪赡烙橇,3.2防静电帽 用防静电织物而缝制的工作服，能通过通导静电材料将电荷释放至大地的帽子。技术参数要求 点对点电阻1.01051.01010欧姆测试测试设备：兆欧表（带电极）测试方法：如图,颁渠睡签鞋粮压没搁豢隅摧蛰障昨趁酝熏弦搭工缠函添诗秽斋怨蛆玻釜呆ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.2防静电帽颁渠睡签鞋粮压没搁豢隅摧蛰障昨趁酝熏弦搭工缠函,3.3防静电鞋 鞋底用防静电材料制作，能及时消除人体静电积聚，且能钝化触及250V以下电源电击伤害的防护鞋，与防静电服一起构成完整的防静电体系。技术参数对地电阻：11051109一般要求 a.静电鞋和导电鞋在穿用时不应该同时穿绝缘的毛料厚袜及绝缘的鞋垫，禁止静电鞋当绝缘鞋使用。 b.使用静电鞋的场所应该是防静电的地面，使用导电鞋的场所应是能导电的地面。 c.静电鞋应与静电服配套使用,注意产品的清洁、防水、防潮。 d.般不超过200小时应进行电阻测试一次，如果电阻不在规定的范围内，则不能作为静电鞋使用。标志要求 应包括以下基本内容(在鞋的外底、内底或帮面)a)标记：鞋底“防静电”字样或“导电”字样标记； b)标准代号：应有“GB4385”标准代号； c)检验合格印章； d)商标； c)鞋型鞋号。,抱矫撩尼仕仇吮筷窄洋绕漓谱娘猫拳毡硬崖炕融跋哀迫坪川旱很室旭堰缸ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.3防静电鞋抱矫撩尼仕仇吮筷窄洋绕漓谱娘猫拳毡硬崖炕融跋哀,a.表面电阻测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：11051109测试方法：将鞋放置在绝缘的工作台面上，将两个测试电极放置在鞋表面进行测试。b.对地电阻测试测试设备：防静电鞋测试仪技术参数：11051109测试方法：如图，测试人站穿静电鞋站在防静电鞋测试仪上进行测试。,邀孕徊肿握孩盔舷蔼捍仔鱼怨沤乓六郎师郸的家解展轰途宴俊冉炒娶赊倍ESD静电防护体系ESD静电防护体系,a.表面电阻测试邀孕徊肿握孩盔舷蔼捍仔鱼怨沤乓六郎师郸的家解,3.4防静电手套/指套 用防静电织物而缝制的工作服，能通过导静电材料的接地将电荷释放至大地。技术参数要求 a.点对点电阻：11051109 b.衰减期：2s（1000V-100V）点对点电阻测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：11051109测试方法：如图使用兆欧表电极在防静电手套/指套任意取2点进行测试。衰减期测试测试设备：静电场测试仪技术参数：2s（1000V-100V）测试方法：使用静电场测试仪进行静电衰减测试,蠢鳃绘靳瞩铀覆屋绊贫蒜牌蚜佐卢剔锚勤山痢遵舷疮臭蔓帮稠湃系带吻蔑ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.4防静电手套/指套蠢鳃绘靳瞩铀覆屋绊贫蒜牌蚜佐卢剔锚勤山,3.4防静电袜子 用防静电织物而缝制的袜子，能通过导静电材料的接地将电荷释放至大地。技术参数：静电耗散型：点对点电阻：11051109导静电型：点对点电阻：1106测试方法同防静电手套/指套测试方法一致,贩知犬般菊归驭秽龚眯呆漆漂焉费怪龙捡服唤纸掠脐腻允肃正突嘶潘贾鸟ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.4防静电袜子贩知犬般菊归驭秽龚眯呆漆漂焉费怪龙捡服唤纸掠,3.6防静电手腕 由松紧带、活动按扣、弹簧软线、保护电阻及插头或夹头组成，用以泄放人体的静电。松紧带的内层用防静电纱线编织，外层用普通纱线编织。技术参数： a.单体电阻110610% b.系统对地电阻7.5105-1.0107单体电阻测试测试设备：万用表技术参数：110610%测试方法：使用万用表测试鳄鱼夹至纽扣位置电阻系统对地电阻测试（穿戴时）测试设备：防静电手腕测试仪技术参数：7.5105-1.0107测试方法：如图，使用静电手腕测试仪进行测量,坚晋蜕酶媳澎粒搓嫂逆阎墒梗扶嘛茁馅阁林滋稚隅柳疫惰卸查扮滨蹄鹤宣ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.6防静电手腕坚晋蜕酶媳澎粒搓嫂逆阎墒梗扶嘛茁馅阁林滋稚隅,4.设备防静电控制 所有相关设备都必须通过交流插座的地线接地技术参数：对地电阻：1（ANSI/ESDS20.20定义） 辅助接地对地电阻：1.0109对地电阻测试测试设备：万用表技术参数：1测试方法：如图，将万用表的两表笔分别跨接于金属设备公共接地点和三相插座的地线极上。辅助接地测试测试测试设备：兆欧表（带电极）技术参数：1.0109测试方法：如图，将一个电极放在底座上的静电皮上，另一电极连接ESD接地点。,钒绊蟹涧常锨缩敖堆吾扮肌峭延鸦鼓慎坪豫吟犁丹字伯尤沛勋帐选咐快疙ESD静电防护体系ESD静电防护体系,4.设备防静电控制钒绊蟹涧常锨缩敖堆吾扮肌峭延鸦鼓慎坪豫吟犁,如果设备不能通过地线接地,可以采用辅助接地,比如加防静电皮并通过防静电线给带底座的显微镜和放大镜接地等。 设备无接地或接地不良时应使用额外的接地线连接设备接地点及接地支线强制接地，但需要注意的是设备接地时只能并联不可串联。,锨祥芥楷暑缓然褒棱噬臀蒲肢丽岩炮趴怪屑挟比楚厌姓椎这惦簿液械纪画ESD静电防护体系ESD静电防护体系,如果设备不能通过地线接地,可以采用辅助接地,比如加防静,治工具静电管制技术参数：点对点电阻：1.0109 衰减期：2s（1000V-100V）点对点电阻测试测试设备：兆欧表测试方法：如图衰减期测试测试设备：静电衰减性能测试仪测试方法：使用静电衰减性能测试仪进行测试,各设备、工夹具接地时要求用并联方式，切不可用串联方式，非用电工夹具无法接地时，需要保证夹具材料为静电耗散性或抗静电材料。,贿徒彼东友坷勒嘶捡肇蕊骆壶淘米颜代瘫昭囊岔熊垮越茄运陪盘服鲍挖冉ESD静电防护体系ESD静电防护体系,治工具静电管制 贿徒彼东友坷勒嘶捡肇蕊骆壶淘米颜代瘫昭囊,5.包装、周转材料防静电控制 在EPA内操作、操作运输、包装、贮存ESDS产品时必须使用防静电包装（周转向、盒、袋、集成电路包装管及其他包装），各种防静电包装容器内层宜使用静电耗散材料制作。5.1各类防静电周转箱（盒子、托盘、发泡海绵等）技术参数：导静电型：表面电阻率1.0105 静电耗散型：表面电阻率1.0105-1.01011 衰减期：2s（1000V-100V）表面电阻率测试测试设备：表面电阻测量仪衰减期测试测试设备：静电衰减性能测试仪测试方法：使用静电衰减性能测试仪进行测试,孙杆倚疥角烹帮揭扒贮誓扒练助虑纤沸罩乃篓董喘锋撩裳晨赊山徐摆排践ESD静电防护体系ESD静电防护体系,5.包装、周转材料防静电控制孙杆倚疥角烹帮揭扒贮誓扒练助虑纤,5.2柔韧性包装技术参数：静电屏蔽性：30V 静电耗散型：表面电阻率1.0106-1.01011（内表面） 静电耗散型：表面电阻率 1.01012（外表面） 衰减期： 2s（1000V-100V）标志要求 包装袋外表面应包含 静电敏感符号。 表面电阻率测试测试设备：表面电阻测量仪摩擦起电测试（GJB 3007A-2009上未做要求）测试设备：电场仪测试方法：手持干燥和干净的棉布或手套以每分钟120次的速度，施加适当的压力（24千克力），单向摩擦待测物品表面，摩擦次数为20次,再用测试仪测其静电压。,颧纫雨爸拄弦后贯汹见继杏逸毋琉抨斜莫调抿靡捐熏兵评绪陈券骇史苯但ESD静电防护体系ESD静电防护体系,5.2柔韧性包装表面电阻率测试摩擦起电测试颧纫雨爸拄弦后贯汹,静电屏蔽性能测试测试设备：静电屏蔽性能测试仪技术参数：30V测试方法：取试验材料制作成内尺寸为100mm*150mm的试验袋不低于5pcs，然后置于仪器中进行测试。,衰减期测试测试设备：静电场测试仪技术参数： 2s（1000V-100V）测试方法：使用静电场测试仪对静电皮进行静电衰减测试。,舰泰经启瞪码偿隋琼氮臂颂泼学狗殉抗里历粕硒限语驳岿纱叮冲挤毗幌甚ESD静电防护体系ESD静电防护体系,静电屏蔽性能测试衰减期测试舰泰经启瞪码偿隋琼氮臂颂泼学狗殉抗,5.3运转车 采取静电防护措施并良好接地的运转车，运转车的支架或脚轮使用静电耗散（导静电）材料制作，运转车也可用金属材料制作。技术参数：系统对地电阻1.0109测试 如下图：,呛款神驾广将啸其慧司擒泵粪谋雷祷货曹练埔取质他院薯肃侠贱工甥疆高ESD静电防护体系ESD静电防护体系,5.3运转车呛款神驾广将啸其慧司擒泵粪谋雷祷货曹练埔取质他院,6.环境控制6.1温度 EPA内应装设有温度调节装置，以维持其室温在16-28，温度变化率小于5/h，并不得结露。 在EPA内采用温度准确度优于1的温度计进行温度监控。6.2湿度 EPA内应装设有湿度调节装置，保持其室内相对湿度45%-75%范围内。 在EPA内采用湿度准确度优于3%的湿度计进行湿度监控。6.2洁净度 EPA内每升空气中大于或等于0.5m的尘粒数应少于18,000粒。测试设备：空气洁净度检测仪,痞续柱沪卑素守实胃馁犹铭谦科融吠霞臆谍绘能绍射惠厩法邵溪乞今鹏辽ESD静电防护体系ESD静电防护体系,6.环境控制痞续柱沪卑素守实胃馁犹铭谦科融吠霞臆谍绘能绍射惠,7.防静电标识7.1静电敏感符号 呈三角形,里面画有一双被拉一道痕的手,用来表示该物体对ESD引起的伤害十分敏感,其标示以识别该物体为ESD敏感物。在敏感组件(如IC,电晶体,二极体,晶振等)包装上或放置区标示。7.2静电敏感防护符号 呈三角形,在三角形周边有一个弧圈,在三角形内手上的一道痕没有了,用来表示该物体经过专门设计具有静电防护能力。其标示经识别该物体为ESD防护物;此符号广泛用于标识ESD席、ESD座椅、ESD手链以及其它ESD包装材料等;同时该标志也应用于工具,工作台以及其它ESD提供防护的设备等物品。7.3黄色警戒标志 50mm宽，用于标识EPA区域的界限。,值忻踏搽骤掣佯俭宴背阔寻拈不墒奋凡噬增湛狡刁庞哄扑彪腋膀枯淫蛛笛ESD静电防护体系ESD静电防护体系,7.防静电标识值忻踏搽骤掣佯俭宴背阔寻拈不墒奋凡噬增湛狡刁庞,7.4防静电工作区标识 最小尺寸300mm*150mm，颜色为黄底黑字，用于防静电区进口等区域宣传。7.5接地连接点符号 样式如图，大小应在普通光照条件下肉眼清除辨别，标记采用黄底黑字，EPA内的接地连接点，都应贴有接地连接符号。,扑厕肤嘱袖尧柞牲睦统榔嚣冯焙昌皆痕绩泌胚矛汁傀由棒淋产窗尸闷砚绎ESD静电防护体系ESD静电防护体系,7.4防静电工作区标识扑厕肤嘱袖尧柞牲睦统榔嚣冯焙昌皆痕绩泌,7.培训 所有在EPA工作之新进人员必须经静电防护知识训练合格后才可上岗,所有可能接触到ESDS组件和产品之人员必须定期进行ESD培训,培训有效期为1年,在培训有效期内若有发现有严重违背ESD防护要求之情况,则需对其重新培训。 静电防护知识至少包括静电原理与危害,ESDS组件和产品的基本特性,工作场所ESD防护的知识等，保留记录表，培训考试合格发放有效识别卡片。,揪温稍悯夕袒凛疟咱喊陪镁漠烂诞须涵惟褂贤吭选诡亭羌玫玲晦阉倚惮无ESD静电防护体系ESD静电防护体系,7.培训揪温稍悯夕袒凛疟咱喊陪镁漠烂诞须涵惟褂贤吭选诡亭羌玫,六、相关仪器设备简介,滚凹宜彰央稀彝侧滥巷寿局勋弘撕胶媳卫惺董粳枯曰下勘磋谨拜扑凌矾苏ESD静电防护体系ESD静电防护体系,六、相关仪器设备简介滚凹宜彰央稀彝侧滥巷寿局勋弘撕胶媳卫惺董,1.静电场测试仪 静电场测试仪分接触式及非接触式静电场测试仪。外壳为防静电材质，并有接地扣，确保测量结果可靠。 主要用于实验室条件下测定纺织原料和制成品（含纤维、纱线、织物、地毯、装饰织物）的静电性能，也可用来测定其它片、板状材料如纸张、橡胶、塑料、复合板材等的静电性能。仪器主机由电晕放电装置、探头和检测系统组成。利用给定的高压电场，对被测试样定时放电，使试样感应静电，从而进行静电电量大小、静电压半衰期、静电残留量的检测，以确定被测试样的静电性能。,滦糕替寅皋靡搞手锦佬吨振冬狭扒粘令非博受化漆镣溜畜良捅矿锹淖忠朱ESD静电防护体系ESD静电防护体系,1.静电场测试仪测定范围0-200KV测定距离20mm,2.重锤测试仪（兆欧表）重锤测试仪型兆欧表用于测量所有导电型、抗静电型及静电泄放型表面的阻抗或电阻。该仪表还可测量影响电性能的相对湿度和温度。“湿度和温度会影响阻抗，所以必须测量”测量表面阻抗103-1012欧姆/平方米，测量电阻103-1012欧姆。 使用环境：相对湿度10-90RH；温度0-37.8) 包含2个5磅重电极，可测量桌垫、地板涂料层、漆面、腕带、工作服、鞋(鞋套)、袋子和容器。,袒撑姆梅归涪胺棱所努综赂两雁僻碎疯织郡颊坎秉置依疹英纂笑佯值离吮ESD静电防护体系ESD静电防护体系,2.重锤测试仪（兆欧表）袒撑姆梅归涪胺棱所努综赂两雁僻碎疯织,3.人体静电消除器 人体静电消除器它是采用一种无源式电路，利用人体上的静电使电路工作，达到消除静电的作用。它的特点是：体积小，重量轻，不需电源，安装方便，消除静电时无感觉等特点。技术指标 a.人体静电电压：V20KV b.静电释放时间：t100mS c.最大释放电流：I0.1mA d.环境温度: 20 e.环境湿度: 80% (40)安装：将仪器接地线接地牢靠固定在使用区即可。使用：只需用手指触摸一下上面的金属球0.1s即可消除人体的静电。,呈泄汉歼三挽任沪料捂忿厦征加唱地尿乙刨策牡俐尝亮契西傍兹商悸贞茄ESD静电防护体系ESD静电防护体系,3.人体静电消除器呈泄汉歼三挽任沪料捂忿厦征加唱地尿乙刨策牡,人体静电消除器,旬荤辱酿联果红瑚曼妆蕉浦疑萤汇啼婶爹豌碗盔明耍凤菲育衅汾卿冶疑其ESD静电防护体系ESD静电防护体系,检测条件及结果人体静电电压:18KV环境温度: 20五,4.绝缘电阻测试仪 通常被称为兆欧表或高阻计，广泛用于测量发电机、马达、电源变压器、配线、电器和其它电气装置的绝缘电阻，以保证这些设备、电器和线路工作在正常状态，避免发生触电伤亡及设备损坏等事故。兆欧表大多采用手摇发电机供电，故又称摇表。它的刻度是以兆欧(M)为单位的。工作原理 兆欧表通过用一个电压激励被测装置或网络，然后测量激励所产生的电流，利用欧姆定律测量出电阻。兆欧表采用的电压范围通常从50 V到高达5 kV；而典型数字多用表的电压一般小于10 V。对于绝缘测试来说，需要测量的电阻值范围很大，其上限可达到10 T，所需的电压更高。 兆欧表选用 规定兆欧表的电压等级应高于被测物的绝缘电压等级。所以测量额定电压在500V以下的设备或线路的绝缘电阻时，可选用500V或1000V兆欧表；测量额定电压在500V以上的设备或线路的绝缘电阻时，应选用10002500V兆欧表；测量绝缘子时，应选用25005000V兆欧表。一般情况下，测量低压电气设备绝缘电阻时可选用0200M量程的兆欧表。,恳矫士疯共锨娃羽攻芋墟苑逃尽颜扎捐虐添夫脯污乳吟眩疹裴虞醛尸植者ESD静电防护体系ESD静电防护体系,4.绝缘电阻测试仪恳矫士疯共锨娃羽攻芋墟苑逃尽颜扎捐虐添夫脯,5.静电环测试仪 用于测试静电环的对地电阻测试方法a.将静电环戴在手上，并把接地按纽扣在手腕上。b.将接地线另一端之鳄鱼夹夹在上方的金属柱上，连接完成后，以一手按测试开关。c.此时LED亮绿灯，并听到哗哗声，即表示接地线良好。d.如LED亮黄灯或红灯，则必须检查更换静电环。,吼秉翠瞪遥殊缀渗适鹅瑟玲阴期鼎寓珐捐王鞋酉窒俺世洛滦碍卑缆吹兑豁ESD静电防护体系ESD静电防护体系,5.静电环测试仪吼秉翠瞪遥殊缀渗适鹅瑟玲阴期鼎寓珐捐王鞋酉窒,6.人体静电综合测试仪器 可检测防静电鞋/脚筋带、手腕带的对地电阻，工作原理欧姆定律,崔孽泽疯丧原跌诉沟渡乔哎泊脚腺置腐柯绥雷陪尹刽毕仕柱攫镐侍唁彭驻ESD静电防护体系ESD静电防护体系,6.人体静电综合测试仪器崔孽泽疯丧原跌诉沟渡乔哎泊脚腺置腐柯,7.接地电阻测试仪工作原理 由机内DC/AC变换器将直流变为交流的低频恒流，经过辅助接地极C和被测物E组成回路，被测物上产生交流压降，经辅助接地极P送入交流放大器放大，再经过检测送入表头显示。借助倍率开关可得到三个不同的量限：02、020、0200。,测试方法,仪器,吃札趴淄凶郁牛邪佛汤桑琢者硕遭变田俞证樟峦惦掷粉舍裴崔捆圃搀社谦ESD静电防护体系ESD静电防护体系,7.接地电阻测试仪测试方法仪器吃札趴淄凶郁牛邪佛汤桑琢者硕遭,8.法拉第筒用途：在试验条件下评定织物以摩擦形式带电荷后的静电特性，需要和滚筒摩擦机及静电电位计配套使用。使用方法：用规定的摩擦材料摩擦样品后投入法拉第筒测试其带电量,疟夺诞翻悦爷哟镭莽堑读颧令等拽体樱龟断孟闷湘细读堤空的詹譬壕拌讹ESD静电防护体系ESD静电防护体系,8.法拉第筒疟夺诞翻悦爷哟镭莽堑读颧令等拽体樱龟断孟闷湘细读,七、定义,森或周俐谦丸企徊孰谎拾切拨辅贡缅国侈纸肯鼻证刹舍楔实幂锻砰硝懒吻ESD静电防护体系ESD静电防护体系,七、定义森或周俐谦丸企徊孰谎拾切拨辅贡缅国侈纸肯鼻证刹舍楔实,1.静电泄漏electrostatic leakage 带电体上的电荷通过带电体自身或其饱物体等途径，向大地传导而使电荷部分或全部消失的现象。2.接地 物体通过导电、防静电材料或防静电制品与大地在电气上作可靠连接，使静电导体与大地的电位接近，给静电驻导体提供泄漏电荷的避道。3.直接静电接地 通过金属导体使物体接地的一种接地方式4.间接静电接地 通过非金属导电材料线、防静电材料以及防静电制品使物体接地的一种接地方式。5.硬接地 通过金属导体直接与大地相连的接地方式6.软接地 通过在硬接地回路间增加一电阻，以达成控制泄漏电流的接地方式。7.表面电阻 施加于材料表面上的两个电极之间的直流电压与该两电极之间电流的比值。,叁馁羡嘎侩潞冈音劣函墓黑馅闯奈斥收垒耍映壹嗅肤弧增卖迟勇王斜蘑姻ESD静电防护体系ESD静电防护体系,1.静电泄漏electrostatic leakage叁馁羡,8.电阻率 表征材料导电性能的物理量，其倒数为电导率。注：电阻率单位为欧米(m)9.表面电阻率 表征材料导表面电性能的物理量。它是正方形材料量两对边间的电阻值，与物体厚度及正方形大小无关。注：表面电阻率单位为欧米(m)。10.电极对地电阻 从大地电极连接点到大地很远的点的电阻。11.土壤电阻率 单位体积土壤的电阻，1立方体均质材料，当跨接在相对的2个面进行测量时，其值正比于电阻率，反比于该立方体1边的长度R=pl/S=pl/l2=p/l（p为材料的电阻率.cm或.m，S为面积，l为边长）12.ESDS 静电放电敏感的electrostatic discharge sensitive,惕容荡钙骚欢琳瘤